Deponado de maldikaj filmoj estas fundamenta procezo uzata en la duonkonduktaĵa industrio, same kiel en multaj aliaj kampoj de materialscienco kaj inĝenierarto. Ĝi implikas la kreadon de maldika tavolo de materialo sur substrato. La deponitaj filmoj povas havi vastan gamon da dikecoj, de nur kelkaj atomtavoloj ĝis pluraj mikrometroj dikaj. Ĉi tiuj filmoj povas servi multajn celojn, kiel ekzemple elektraj konduktiloj, izoliloj, optikaj tegaĵoj aŭ protektaj bariloj.
Jen la ĉefaj metodoj uzataj por deponado de maldikaj filmoj:
Fizika Vapora Deponado (PVD)
Ŝprucado: Alt-energia jonfasko estas uzata por frapi atomojn de cela materialo, kiu poste deponiĝas sur la substraton.
Vaporiĝo:** La materialo estas varmigita en vakuo ĝis ĝi vaporiĝas, kaj poste la vaporo kondensiĝas sur la substrato.
Atomtavola Deponado (ALD)
ALD estas tekniko, kie filmo estas kreskigita sur substrato po unu atomtavolo. Ĝi estas tre kontrolita kaj povas krei tre precizajn kaj konformajn filmojn.
Molekula Radio-Epitaksio (MBE)
MBE estas epitaksa kreskotekniko, kie faskoj de atomoj aŭ molekuloj estas direktitaj sur varmigitan substraton por formi kristalan maldikan filmon.
Avantaĝoj de Maldika Filma Deponado
Plibonigita funkcieco: Filmoj povas provizi novajn ecojn al la substrato, kiel ekzemple gratvundrezisto aŭ elektra konduktiveco.
Reduktita materiala uzado: Ĝi ebligas la kreadon de kompleksaj aparatoj kun minimuma materiala uzado, reduktante kostojn.
Adaptado: Filmoj povas esti adaptitaj por havi specifajn mekanikajn, elektrajn, optikajn aŭ kemiajn ecojn.
Aplikoj
Duonkonduktaĵaj aparatoj: Transistoroj, integraj cirkvitoj, kaj mikroelektromekanikaj sistemoj (MEMS).
Optikaj tegaĵoj: Kontraŭreflektaj kaj alt-reflektaj tegaĵoj sur lensoj kaj sunĉeloj.
Protektaj tegaĵoj: Por malhelpi korodon aŭ eluziĝon de iloj kaj maŝinaro.
Biomedicinaj aplikoj: Tegaĵoj sur medicinaj enplantaĵoj aŭ medikamentenhavaj sistemoj.
La elekto de deponadtekniko dependas de la specifaj postuloj de la apliko, inkluzive de la tipo de materialo deponota, la dezirataj filmecoj, kaj la kostolimoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 15-a de aŭgusto 2024