PRODUKTA PRISKRIBO

Ekipaĵa Avantaĝo

1. Skalebla Funkcia Agordo

Uzante modulan arkitekturan dezajnon, ĝi subtenas amasajn rapidajn produktadreĝimojn, permesante rapidan aldonon, forigon kaj reorganizadon de funkciaj ĉambroj. La aranĝo de la produktadlinio povas esti flekseble adaptita laŭ produktadbezonoj.

2. Solvo de Preciza Tegaĵo

Novige uzante malgrand-angulan rotaciantan celŝprutadan teknologion kombinitan kun optimumigita magnetkampa solvo por atingi efikan plenigon de tra-truaj strukturoj.

3. Adopto de Rotacianta Cela Strukturo

Ĉi tiu strukturo ŝparas perdon de tegaĵmaterialo kaj plibonigas la utiligon de la cela materialo. Ĝi ankaŭ reduktas la ciklon de cela anstataŭigo, tiel plibonigante la produktadan efikecon.

4. Avantaĝoj de Proceza Kontrolo

Per la optimumigo de magnetronaj ŝprucparametroj kaj duflanka sinkrona deponteknologio, la tega efikeco de kompleksaj strukturaj komponantoj estas signife plibonigita, dum la materiala perdofteco estas reduktita.

Apliko:Kapabla prepari diversajn unu-elementajn metalajn filmtavolojn kiel Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, ktp. Ĝi estas vaste uzata en duonkonduktaĵaj elektronikaj komponantoj, kiel DPC-ceramikaj substratoj, ceramikaj kondensatoroj, termistoroj, LED-ceramikaj krampoj, ktp.