Πλεονέκτημα εξοπλισμού
1. Κλιμακούμενη Λειτουργική Διαμόρφωση
Χρησιμοποιώντας έναν αρθρωτό σχεδιασμό αρχιτεκτονικής, υποστηρίζει λειτουργίες μαζικής παραγωγής ταχείας παραγωγής, επιτρέποντας την γρήγορη προσθήκη, αφαίρεση και αναδιοργάνωση λειτουργικών θαλάμων. Η διάταξη της γραμμής παραγωγής μπορεί να προσαρμοστεί με ευελιξία ανάλογα με τις ανάγκες παραγωγής.
2. Λύση τεχνολογίας ακριβούς επίστρωσης
Καινοτόμος χρήση τεχνολογίας ψεκασμού περιστρεφόμενου στόχου μικρής γωνίας σε συνδυασμό με βελτιστοποιημένη λύση μαγνητικού πεδίου για την επίτευξη αποτελεσματικής πλήρωσης δομών διαμπερών οπών.
3. Υιοθέτηση Δομής Περιστρεφόμενου Στόχου
Αυτή η δομή εξοικονομεί απώλεια υλικού επικάλυψης και βελτιώνει την αξιοποίηση του υλικού-στόχου. Επίσης, μειώνει τον κύκλο αντικατάστασης του στόχου, ενισχύοντας έτσι την αποδοτικότητα της παραγωγής.
4. Πλεονεκτήματα ελέγχου διεργασιών
Μέσω της βελτιστοποίησης των παραμέτρων ψεκασμού μαγνητρόνου και της τεχνολογίας σύγχρονης εναπόθεσης διπλής όψης, η απόδοση επίστρωσης σύνθετων δομικών στοιχείων βελτιώνεται σημαντικά, ενώ μειώνεται ο ρυθμός απώλειας υλικού.
Εφαρμογή:Ικανό να παρασκευάζει διάφορα στρώματα μεταλλικής μεμβράνης ενός στοιχείου όπως Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, κ.λπ. Χρησιμοποιείται ευρέως σε ηλεκτρονικά εξαρτήματα ημιαγωγών, όπως κεραμικά υποστρώματα DPC, κεραμικούς πυκνωτές, θερμίστορ, κεραμικά στηρίγματα LED, κ.λπ.