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Der Einsatz mechanischer Pumpen in Vakuumbeschichtungsanlagen

Artikelquelle: Zhenhua Vakuum
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Veröffentlicht:22-11-07

Mechanische Pumpen, auch Vorstufenpumpen genannt, gehören zu den am häufigsten eingesetzten Niedervakuumpumpen. Sie verwenden Öl zur Aufrechterhaltung der Dichtwirkung und nutzen mechanische Methoden, um das Volumen des Saugraums in der Pumpe kontinuierlich zu verändern. Dadurch wird das Gasvolumen im gepumpten Behälter kontinuierlich erweitert, um ein Vakuum zu erzeugen. Es gibt viele Arten mechanischer Pumpen. Die gängigsten sind Schieberpumpen, Kolbenpumpen, Festschieberpumpen und Drehschieberpumpen.

Komponenten mechanischer Pumpen
Mechanische Pumpen werden häufig zum Pumpen trockener Luft verwendet, können jedoch keine Gase mit hohem Sauerstoffgehalt sowie explosive und korrosive Gase pumpen. Mechanische Pumpen werden im Allgemeinen zum Pumpen von Permanentgasen verwendet, haben jedoch keine gute Wirkung auf Wasser und Gas und können daher kein Wasser und Gas pumpen. Die Hauptteile einer Drehschieberpumpe sind Stator, Rotor und Splitter. Der Rotor befindet sich im Stator, hat jedoch eine andere Achse als der Stator, wie zwei innere Tangentialkreise. Der Rotorschlitz ist mit zwei Splitterstücken ausgestattet, wobei das mittlere der beiden Splitterstücke mit einer Feder ausgestattet ist, um sicherzustellen, dass die Splitter fest an der Innenwand des Stators befestigt sind.
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Funktionsprinzip einer mechanischen Pumpe
Seine beiden Splitter spielen abwechselnd zwei Rollen: Einerseits saugen sie Gas vom Einlass an, andererseits komprimieren sie das bereits angesaugte Gas und lassen das Gas aus der Pumpe ab. Bei jedem Rotationszyklus des Rotors führt die Pumpe zwei Ansaug- und zwei Ablassvorgänge durch.
Wenn sich die Pumpe kontinuierlich im Uhrzeigersinn dreht, saugt die Drehschieberpumpe kontinuierlich Gas durch den Einlass an und lässt es durch den Auslass ab, um den Behälter zu pumpen. Um das Endvakuum der Pumpe zu verbessern, wird der Pumpenstator in Öl getaucht, sodass die Lücken und gefährlichen Räume an jeder Stelle häufig mit ausreichend Öl gefüllt werden. So dient das Öl einerseits als Schmiermittel und andererseits zum Abdichten und Blockieren der Lücken und gefährlichen Räume, um zu verhindern, dass Gasmoleküle durch verschiedene Kanäle in den Raum mit niedrigem Druck zurückströmen.
Der Druckverlusteffekt einer mechanischen Pumpe hängt auch von der Motordrehzahl und der Riemenspannung ab. Wenn der Motorriemen relativ locker ist und die Motordrehzahl sehr niedrig ist, wird auch der Druckverlusteffekt der mechanischen Pumpe schlimmer. Daher müssen wir die Pumpe häufig warten und Stichprobenprüfungen durchführen. Auch die Öldichtwirkung der mechanischen Pumpe muss häufig Stichprobenprüfungen unterzogen werden. Zu wenig Öl führt zu keiner Dichtwirkung und führt zu Leckagen an der Pumpe. Zu viel Öl führt zu einer Verstopfung der Ansaugöffnung und kann keine Luft ansaugen und entlüften. Im Allgemeinen kann der Ölstand 0,5 cm unter der Markierung liegen.

Rootspumpe mit mechanischer Pumpe als Vorstufenpumpe
Rootspumpe: Eine mechanische Pumpe mit zwei synchron rotierenden Doppel- oder Mehrflügelrotoren. Da sie prinzipiell dem Roots-Gebläse ähnelt, wird sie auch als Roots-Vakuumpumpe bezeichnet. Sie verfügt über ein hohes Saugvermögen im Druckbereich von 100–1 Pa. Sie gleicht die Nachteile der mechanischen Pumpe aus, die sich aus der unzureichenden Entlüftungskapazität in diesem Druckbereich ergeben. Diese Pumpe kann nicht mit Luft arbeiten und die Luft auch nicht direkt absaugen. Ihre Aufgabe besteht lediglich darin, den Druckunterschied zwischen Einlass- und Auslassöffnung zu erhöhen. Der Rest wird zur Vervollständigung der mechanischen Pumpe benötigt. Daher muss sie mit einer mechanischen Pumpe als Vorstufe ausgestattet sein.

Vorsichtsmaßnahmen und Wartung mechanischer Pumpen

Beim Einsatz mechanischer Pumpen sind folgende Punkte zu beachten.
1. Die mechanische Pumpe sollte an einem sauberen und trockenen Ort installiert werden.
2. Die Pumpe sollte sauber und trocken gehalten werden. Das Öl in der Pumpe hat eine dichtende und schmierende Wirkung und sollte daher entsprechend der angegebenen Menge hinzugefügt werden.
3. Das Pumpenöl muss regelmäßig ausgetauscht werden. Beim Austausch muss zuerst das Altöl entsorgt werden. Der Zyklus beträgt mindestens drei bis sechs Monate und erfordert einen Austausch.
4. Befolgen Sie die Anweisungen zum Anschließen des Kabels.
5. Die mechanische Pumpe muss vor dem Abschalten das Lufteinlassventil schließen, dann die Stromversorgung ausschalten und das Luftventil öffnen, damit die Luft durch den Lufteinlass in die Pumpe gelangt.
6. Wenn die Pumpe in Betrieb ist, darf die Öltemperatur 75 °C nicht überschreiten, da sie sonst aufgrund der Viskosität des Öls zu niedrig ist und zu einer schlechten Abdichtung führt.
7. Überprüfen Sie von Zeit zu Zeit die Riemenspannung der mechanischen Pumpe, die Drehzahl des Motors, die Drehzahl des Rootspumpenmotors und die Dichtwirkung des Dichtrings.

– Dieser Artikel wird von Guangdong Zhenhua Technology, einem Hersteller von Vakuumbeschichtungsanlagen, veröffentlicht.


Beitragszeit: 07.11.2022