Die Filmschicht in der Verdampfungsquelle kann durch Heizverdampfung Membranpartikel in Form von Atomen (oder Molekülen) in den Gasphasenraum überführen. Durch die hohe Temperatur der Verdampfungsquelle erhalten die Atome oder Moleküle auf der Membranoberfläche genügend Energie, um die Oberflächenspannung zu überwinden und von der Oberfläche zu verdampfen. Diese verdampften Atome oder Moleküle liegen im Vakuum, also im Gasphasenraum, gasförmig vor. Metallische oder nichtmetallische Materialien.
In einer Vakuumumgebung können die Erwärmungs- und Verdampfungsprozesse von Membranmaterialien verbessert werden. Die Vakuumumgebung verringert den Einfluss des atmosphärischen Drucks auf den Verdampfungsprozess, wodurch dieser einfacher wird. Bei atmosphärischem Druck muss das Material einem höheren Druck ausgesetzt werden, um den Widerstand des Gases zu überwinden, während dieser im Vakuum stark reduziert ist, wodurch das Material leichter verdampft. Beim Aufdampfbeschichtungsprozess sind die Verdampfungstemperatur und der Dampfdruck des Verdampfungsquellenmaterials wichtige Faktoren bei der Auswahl des Verdampfungsquellenmaterials. Bei einer Cd(Se, S)-Beschichtung liegt die Verdampfungstemperatur üblicherweise zwischen 1000 und 2000 °C. Daher muss ein Verdampfungsquellenmaterial mit geeigneter Verdampfungstemperatur gewählt werden. Beispielsweise hat Aluminium bei atmosphärischem Druck eine Verdampfungstemperatur von 2400 °C, unter Vakuumbedingungen sinkt seine Verdampfungstemperatur jedoch erheblich. Dies liegt daran, dass sich im Vakuum keine atmosphärischen Moleküle befinden, sodass die Aluminiumatome oder -moleküle leichter von der Oberfläche verdampfen können. Dieses Phänomen ist ein wichtiger Vorteil für die Vakuumverdampfung. In einer Vakuumatmosphäre lässt sich das Filmmaterial leichter verdampfen, sodass dünne Filme bei niedrigeren Temperaturen gebildet werden können. Die niedrigere Temperatur reduziert die Oxidation und Zersetzung des Materials und trägt so zur Herstellung hochwertigerer Filme bei.
Während der Vakuumbeschichtung wird der Druck, bei dem sich die Dämpfe des Filmmaterials in einem Feststoff oder einer Flüssigkeit ausgleichen, als Sättigungsdampfdruck bei dieser Temperatur bezeichnet. Dieser Druck spiegelt das dynamische Gleichgewicht von Verdampfung und Kondensation bei einer gegebenen Temperatur wider. Typischerweise ist die Temperatur in anderen Teilen der Vakuumkammer viel niedriger als die Temperatur der Verdampfungsquelle, wodurch verdampfende Membranatome oder -moleküle leichter in anderen Teilen der Kammer kondensieren können. In diesem Fall erreicht der Dampfdruck im dynamischen Gleichgewicht den Sättigungsdampfdruck, wenn die Verdampfungsrate höher ist als die Kondensationsrate. Das bedeutet, dass in diesem Fall die Zahl der verdampfenden Atome oder Moleküle gleich der Zahl der kondensierenden Atome oder Moleküle ist und das dynamische Gleichgewicht erreicht ist.
–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsanlagenGuangdong Zhenhua
Veröffentlichungszeit: 27. September 2024