Парга әйләнү чыганагындагы пленка катламы җылыту парга әйләнү чыганагындагы мембрана кисәкчәләрен атомнар (яки молекулалар) рәвешендә газ фазасы киңлегенә кертә ала. Парга әйләнү чыганагының югары температурасында мембрана өслегендәге атомнар яки молекулалар өслек киеренкелеген җиңеп, өслектән парга әйләнер өчен җитәрлек энергия алалар. Бу парга әйләнгән атомнар яки молекулалар вакуумда, ягъни газ фазасы киңлегендә газ халәтендә булалар. Металл яки металл булмаган материаллар.
Вакуум мохитендә мембрана материалларының җылыту һәм парга әйләнү процессларын яхшыртырга мөмкин. Вакуум мохите атмосфера басымының парга әйләнү процессына йогынтысын киметә, парга әйләнү процессын җиңеләйтә. Атмосфера басымында, газ каршылыгын җиңү өчен материалга зуррак басым ясарга кирәк, ә вакуумда бу каршылык сизелерлек кими, бу материалның парга әйләнүен җиңеләйтә. Парга әйләндерү каплавы процессында парга әйләндерү температурасы һәм пар басымы парга әйләндерү чыганагы материалын сайлауда мөһим фактор булып тора. Cd (Se, s) каплавы өчен аның парга әйләнү температурасы гадәттә 1000 ~ 2000 ℃ тәшкил итә, шуңа күрә сезгә парга әйләнү температурасына туры килә торган парга әйләндерү чыганагы материалын сайларга кирәк. Мәсәлән, 2400 ℃ атмосфера басымындагы парга әйләнү температурасында алюминий, ләкин вакуум шартларында аның парга әйләнү температурасы сизелерлек төшәчәк. Бу вакуум тоткарлыгында атмосфера молекулалары булмау сәбәпле, алюминий атомнары яки молекулалары өслектән җиңелрәк парга әйләнергә мөмкин. Бу күренеш вакуум парга әйләндерү каплавы өчен мөһим өстенлек булып тора. Вакуум атмосферасында пленка материалын парга әйләндерү җиңелрәк була, шуңа күрә түбән температураларда юка пленкалар барлыкка килергә мөмкин. Бу түбән температура материалның оксидлашуын һәм таркалуын киметә, шулай итеп югарырак сыйфатлы пленкалар әзерләүгә өлеш кертә.
Вакуум каплау вакытында, каты яки сыек матдәдә пленка материалы парлары тигезләнгән басым шул температурадагы туендырылган пар басымы дип атала. Бу басым билгеле бер температурада парга әйләнү һәм конденсациянең динамик тигезлеген чагылдыра. Гадәттә, вакуум камерасының башка өлешләрендәге температура парга әйләнү чыганагы температурасыннан күпкә түбәнрәк була, бу парга әйләнүче мембрана атомнары яки молекулалары өчен камераның башка өлешләрендә конденсацияләнүне җиңеләйтә. Бу очракта, әгәр парга әйләнү тизлеге конденсация тизлегеннән зуррак булса, динамик тигезлектә пар басымы туендырылган пар басымына җитәчәк. Ягъни, бу очракта парга әйләнүче атомнар яки молекулалар саны конденсацияләнүче санга тигез, һәм динамик тигезлеккә ирешелә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 27 сентябре