Буулануу булагынын жылытуусундагы пленка катмары мембрана бөлүкчөлөрүн атомдор (же молекулалар) түрүндө газ фазасынын мейкиндигине киргизе алат. Буулануу булагынын жогорку температурасында мембрананын бетиндеги атомдор же молекулалар беттик чыңалуудан арылууга жана беттен бууланууга жетиштүү энергия алышат. Бул бууланган атомдор же молекулалар вакуумда, башкача айтканда, газ фазасынын мейкиндигинде газ абалында болот. Металл же металл эмес материалдар.
Вакуумдук чөйрөдө мембраналык материалдардын ысытуу жана буулануу процесстерин жакшыртууга болот. Вакуумдук чөйрө атмосфералык басымдын буулануу процессине тийгизген таасирин азайтып, буулануу процессин жүргүзүүнү жеңилдетет. Атмосфералык басымда газдын каршылыгын жеңүү үчүн материалга чоң басым жасалышы керек, ал эми вакуумда бул каршылык бир топ төмөндөйт, бул материалдын бууланышын жеңилдетет. Буулануу менен каптоо процессинде буулануу булагы материалынын буулануу температурасы жана буу басымы буулануу булагы материалын тандоодо маанилүү фактор болуп саналат. Cd (Se, s) каптоо үчүн анын буулануу температурасы адатта 1000 ~ 2000 ℃ болот, андыктан сиз ылайыктуу буулануу температурасы бар буулануу булагы материалын тандашыңыз керек. Мисалы, атмосфералык басымдагы буулануу температурасы 2400 ℃ болгон алюминий сыяктуу, бирок вакуум шарттарында анын буулануу температурасы бир топ төмөндөйт. Себеби вакуумдук тоскоолдукта атмосфералык молекулалар жок, ошондуктан алюминий атомдору же молекулалары бетинен оңой бууланат. Бул кубулуш вакуумдук буулануу менен каптоо үчүн маанилүү артыкчылык болуп саналат. Вакуумдук атмосферада пленка материалынын буулануусу оңой болот, ошондуктан төмөнкү температурада жука пленкалар пайда болушу мүмкүн. Бул төмөнкү температура материалдын кычкылдануусун жана ажыроосун азайтып, жогорку сапаттагы пленкаларды даярдоого өбөлгө түзөт.
Вакуумдук каптоо учурунда пленка материалынын буулары катуу же суюктукта тең салмактуу болгон басым ошол температурадагы каныккан буу басымы деп аталат. Бул басым берилген температурадагы буулануунун жана конденсациянын динамикалык тең салмактуулугун чагылдырат. Адатта, вакуумдук камеранын башка бөлүктөрүндөгү температура буулануу булагынын температурасынан бир топ төмөн болот, бул буулануучу мембрана атомдорунун же молекулаларынын камеранын башка бөлүктөрүндө конденсацияланышын жеңилдетет. Бул учурда, эгерде буулануу ылдамдыгы конденсация ылдамдыгынан жогору болсо, анда динамикалык тең салмактуулукта буу басымы каныккан буу басымына жетет. Башкача айтканда, бул учурда буулануучу атомдордун же молекулалардын саны конденсациялануу санына барабар болот жана динамикалык тең салмактуулукка жетишилет.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 27-сентябры