Булану көзіндегі пленка қабаты газ фазасы кеңістігіне атомдар (немесе молекулалар) түріндегі мембраналық бөлшектерді енгізе алады. Булану көзінің жоғары температурасында мембрана бетіндегі атомдар немесе молекулалар беттік керілуді жеңіп, бетінен булануға жеткілікті энергия алады. Бұл буланған атомдар немесе молекулалар вакуумда, яғни газ фазасы кеңістігінде газ тәрізді күйде болады. Металл немесе металл емес материалдар.
Вакуумдық ортада мембраналық материалдардың қыздыру және булану процестерін жақсартуға болады. Вакуумдық орта атмосфералық қысымның булану процесіне әсерін азайтады, бұл булану процесін жеңілдетеді. Атмосфералық қысымда материал газдың кедергісін жеңу үшін үлкен қысымға ұшырауы керек, ал вакуумда бұл кедергі айтарлықтай төмендейді, бұл материалдың булануын жеңілдетеді. Буландыру жабыны процесінде булану көзі материалының булану температурасы мен бу қысымы булану көзі материалын таңдауда маңызды фактор болып табылады. Cd (Se, s) жабыны үшін оның булану температурасы әдетте 1000 ~ 2000 ℃ аралығында болады, сондықтан сізге қолайлы булану температурасы бар булану көзі материалын таңдау керек. Мысалы, атмосфералық қысымдағы булану температурасы 2400 ℃ болған кезде алюминий, бірақ вакуум жағдайында оның булану температурасы айтарлықтай төмендейді. Себебі вакуумдық бітелуде атмосфералық молекулалар болмайды, сондықтан алюминий атомдары немесе молекулалары бетінен оңай булануы мүмкін. Бұл құбылыс вакуумдық булану жабыны үшін маңызды артықшылық болып табылады. Вакуумдық атмосферада пленка материалының булануы оңайырақ болады, сондықтан төмен температурада жұқа пленкалар пайда болуы мүмкін. Бұл төмен температура материалдың тотығуын және ыдырауын азайтады, осылайша жоғары сапалы пленкалар дайындауға ықпал етеді.
Вакуумдық жабын кезінде пленка материалының булары қатты немесе сұйық денеде тепе-теңдікке жететін қысым сол температурадағы қанығу буының қысымы деп аталады. Бұл қысым берілген температурадағы булану мен конденсацияның динамикалық тепе-теңдігін көрсетеді. Әдетте, вакуумдық камераның басқа бөліктеріндегі температура булану көзінің температурасынан әлдеқайда төмен болады, бұл буланатын мембраналық атомдардың немесе молекулалардың камераның басқа бөліктерінде конденсациялануын жеңілдетеді. Бұл жағдайда, егер булану жылдамдығы конденсация жылдамдығынан жоғары болса, онда динамикалық тепе-теңдікте бу қысымы қанығу буының қысымына жетеді. Яғни, бұл жағдайда буланатын атомдар немесе молекулалар саны конденсацияланатын санға тең болады және динамикалық тепе-теңдік орнайды.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 27 қыркүйек