Isıtmalı buharlaştırma kaynağındaki film tabakası, membran parçacıklarını atom (veya molekül) formunda gaz fazına dönüştürebilir. Buharlaştırma kaynağının yüksek sıcaklığı altında, membran yüzeyindeki atomlar veya moleküller, yüzey gerilimini aşmak ve yüzeyden buharlaşmak için yeterli enerjiye sahip olurlar. Bu buharlaşan atomlar veya moleküller, vakumda, yani gaz fazında gaz halinde bulunurlar. Bu işlem metalik veya metalik olmayan malzemeler için de geçerlidir.
Vakum ortamında, membran malzemelerinin ısıtma ve buharlaşma süreçleri iyileştirilebilir. Vakum ortamı, atmosfer basıncının buharlaşma süreci üzerindeki etkisini azaltarak buharlaşma işlemini kolaylaştırır. Atmosfer basıncında, malzemenin gaz direncini aşmak için daha yüksek basınca maruz kalması gerekirken, vakumda bu direnç büyük ölçüde azalır ve malzemenin buharlaşması kolaylaşır. Buharlaştırma kaplama işleminde, buharlaşma kaynağı malzemesinin seçiminde buharlaşma sıcaklığı ve buhar basıncı önemli bir faktördür. Cd (Se, S) kaplama için buharlaşma sıcaklığı genellikle 1000 ~ 2000 ℃ arasındadır, bu nedenle uygun buharlaşma sıcaklığına sahip bir buharlaşma kaynağı malzemesi seçmeniz gerekir. Örneğin, alüminyumun atmosfer basıncındaki buharlaşma sıcaklığı 2400 ℃'dir, ancak vakum koşullarında buharlaşma sıcaklığı önemli ölçüde düşer. Bunun nedeni, vakumda atmosferik moleküllerin engelleyici etkisinin olmamasıdır, böylece alüminyum atomları veya molekülleri yüzeyden daha kolay buharlaşabilir. Bu olgu, vakumlu buharlaştırma kaplama için önemli bir avantajdır. Vakum ortamında, film malzemesinin buharlaşması daha kolay hale gelir, böylece daha düşük sıcaklıklarda ince filmler oluşturulabilir. Bu düşük sıcaklık, malzemenin oksidasyonunu ve bozunmasını azaltarak daha yüksek kaliteli filmlerin hazırlanmasına katkıda bulunur.
Vakum kaplama sırasında, film malzemesinin buharlarının katı veya sıvı halde dengeye ulaştığı basınca, o sıcaklıktaki doygun buhar basıncı denir. Bu basınç, belirli bir sıcaklıkta buharlaşma ve yoğunlaşmanın dinamik dengesini yansıtır. Tipik olarak, vakum odasının diğer kısımlarındaki sıcaklık, buharlaşma kaynağının sıcaklığından çok daha düşüktür; bu da buharlaşan membran atomlarının veya moleküllerinin odanın diğer kısımlarında yoğunlaşmasını kolaylaştırır. Bu durumda, buharlaşma hızı yoğunlaşma hızından daha büyükse, dinamik dengede buhar basıncı doygun buhar basıncına ulaşır. Yani, bu durumda buharlaşan atom veya molekül sayısı yoğunlaşan atom veya molekül sayısına eşittir ve dinamik denge sağlanır.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 27 Eylül 2024