PRODUKTBESCHREIBUNG
Die Anlage integriert Magnetronsputtern und Widerstandsverdampfungstechnologie und bietet eine Lösung zum Beschichten einer Vielzahl unterschiedlicher Substrate.
Die experimentelle Beschichtungsanlage wird hauptsächlich an Universitäten und wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen eingesetzt und erfüllt vielfältige experimentelle Anforderungen. Die Anlage ist mit verschiedenen Strukturzielen ausgestattet und kann flexibel an die wissenschaftliche Forschung und Entwicklung in verschiedenen Bereichen angepasst werden. Zur Auswahl stehen Magnetron-Sputtersysteme, Kathodenbogensysteme, Elektronenstrahlverdampfungssysteme, Widerstandsverdampfungssysteme, CVD, PECVD, Ionenquellen, Vorspannungssysteme, Heizsysteme und dreidimensionale Vorrichtungen. Kunden können entsprechend ihren unterschiedlichen Bedürfnissen auswählen.
Die Geräte zeichnen sich durch ein schönes Erscheinungsbild, eine kompakte Bauweise, eine geringe Grundfläche, einen hohen Automatisierungsgrad, eine einfache und flexible Bedienung, eine stabile Leistung und eine einfache Wartung aus.
Das Gerät kann auf Kunststoff, Edelstahl, galvanisierte Hardware/Kunststoffteile, Glas, Keramik und andere Materialien angewendet werden. Einfache Metallschichten wie Titan, Chrom, Silber, Kupfer, Aluminium oder Metallverbindungsfilme wie TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC können hergestellt werden.
Optionale Modelle
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |
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