PRODUKTBESCHREIBUNG

Die Beschichtungsanlage ist modular aufgebaut, wodurch die Kammer je nach Prozess- und Effizienzanforderungen vergrößert und beidseitig beschichtet werden kann. Das ist flexibel und praktisch. Ausgestattet mit einem Ionenreinigungssystem, einem Schnellheizsystem und einem DC-Magnetron-Sputtersystem ermöglicht sie die effiziente Abscheidung einfacher Metallbeschichtungen. Die Anlage zeichnet sich durch hohe Taktfrequenz, bequemes Spannen und hohe Effizienz aus.

Die Beschichtungslinie ist mit einer Ionenreinigung und einem Hochtemperatur-Backsystem ausgestattet, sodass die Haftung des abgeschiedenen Films verbessert wird. Das Kleinwinkel-Sputtern mit rotierendem Target eignet sich gut für die Abscheidung des Films auf der Innenfläche kleiner Öffnungen.

1. Das Gerät hat eine kompakte Struktur und eine kleine Grundfläche.
2. Das Vakuumsystem ist mit einer Molekularpumpe zur Luftabsaugung ausgestattet und verbraucht wenig Energie.
3. Die automatische Rückgabe des Materialregals spart Arbeitskräfte.
4. Die Prozessparameter können zurückverfolgt werden und der Produktionsprozess kann im gesamten Prozess überwacht werden, um die Verfolgung von Produktionsfehlern zu erleichtern.
5. Die Beschichtungslinie verfügt über einen hohen Automatisierungsgrad. Sie kann mit dem Manipulator verwendet werden, um die vorderen und hinteren Prozesse zu verbinden und die Arbeitskosten zu senken.