Die horizontale ITO/ISI-Beschichtungsanlage ist eine große planare Magnetron-Sputteranlage mit modularem Design für zukünftige Erweiterungen und Modernisierungen. Ausgestattet mit mehreren Gruppen großer Magnetronkathoden, ermöglicht sie die Kombination mehrerer Membranstrukturen. Die vollautomatische Steuerung und das hochstabile Übertragungssystem gewährleisten eine nahtlose Anbindung an den Manipulator und somit einen kontinuierlichen und stabilen Linienbetrieb. Hohe Produktionsgeschwindigkeit und -kapazität zeichnen die Anlage aus.
Die Beschichtungsanlage eignet sich für die Abscheidung von ITO, AZO, TCO und anderen transparenten leitfähigen Schichten sowie von elementaren Metallen wie Ti, Ag, Cu, Al, Cr, Ni und weiteren Materialien. Sie findet hauptsächlich Anwendung in Smart-Home-Panels, Displays, Touchscreens, Fahrzeugglas, Photovoltaikmodulen und anderen Produkten.