Die Anlage ist in vertikaler Modulbauweise gefertigt und verfügt über mehrere Zugangstüren, die die unabhängige Installation und Wartung der Kavität, die Montage und zukünftige Erweiterungen ermöglichen. Ein vollständig geschlossenes Fördersystem für gereinigtes Material verhindert die Kontamination des Werkstücks. Das Werkstück kann ein- oder beidseitig beschichtet werden, hauptsächlich zur Abscheidung von optischen Farbfilmen oder Metallfilmen.
Die Beschichtungskammer der Anlage hält den Hochvakuumzustand über einen längeren Zeitraum aufrecht, was zu geringeren Verunreinigungen im Gas, einer hohen Reinheit der Beschichtung und einem guten Brechungsindex führt. Das vollautomatische, geschlossene Regelungssystem Speedflo optimiert die Schichtabscheidungsrate. Die Prozessparameter sind nachverfolgbar, und der gesamte Produktionsprozess kann überwacht werden, um Produktionsfehler frühzeitig zu erkennen. Die Anlage zeichnet sich durch einen hohen Automatisierungsgrad aus. In Kombination mit einem Manipulator lassen sich die vorderen und hinteren Prozessschritte verbinden, wodurch die Arbeitskosten gesenkt werden.
Die Beschichtungsproduktionslinie kann zum Beschichten von Nb verwendet werden.2O5, SiO2, TiO2Es besteht aus Kupfer, Chrom, Titan, Edelstahl, Silber und anderen Oxiden sowie einfachen Metallen. Es wird hauptsächlich im optischen Farbfilmverfahren durch die Überlagerung von Metallen und optischen Materialien eingesetzt. Es eignet sich für flache Produkte aus Glas, Polycarbonat, Titan, Edelstahl, Silber und anderen Materialien.HAUSTIERund anderen Materialien. Es findet breite Anwendung in PET-Folien/Verbundplatten, Glasabdeckungen, Bildschirmen und anderen Produkten.