Mae dyddodiad ffilm denau yn broses sylfaenol a ddefnyddir yn y diwydiant lled-ddargludyddion, yn ogystal ag mewn llawer o feysydd eraill o wyddoniaeth a pheirianneg deunyddiau. Mae'n cynnwys creu haen denau o ddeunydd ar swbstrad. Gall y ffilmiau a ddyddodir fod ag ystod eang o drwch, o ddim ond ychydig o haenau atomig i sawl micrometr o drwch. Gall y ffilmiau hyn wasanaethu llawer o ddibenion, megis dargludyddion trydanol, inswleidyddion, haenau optegol, neu rwystrau amddiffynnol.
Dyma'r prif ddulliau a ddefnyddir ar gyfer dyddodiad ffilm denau:
Dyddodiad Anwedd Ffisegol (PVD)
Ysbeiddio: Defnyddir trawst ïon egni uchel i guro atomau oddi ar ddeunydd targed, sydd wedyn yn dyddodi ar y swbstrad.
Anweddiad:** Caiff y deunydd ei gynhesu mewn gwactod nes ei fod yn anweddu, ac yna mae'r anwedd yn cyddwyso ar y swbstrad.
Dyddodiad Haen Atomig (ALD)
Mae ALD yn dechneg lle mae ffilm yn cael ei thyfu ar swbstrad un haen atomig ar y tro. Mae'n cael ei reoli'n fanwl a gall greu ffilmiau manwl gywir a chydffurfiol iawn.
Epitacsi Trawst Moleciwlaidd (MBE)
Mae MBE yn dechneg twf epitacsial lle mae trawstiau o atomau neu foleciwlau yn cael eu cyfeirio at swbstrad wedi'i gynhesu i ffurfio ffilm denau grisialog.
Manteision Dyddodiad Ffilm Denau
Ymarferoldeb gwell: Gall ffilmiau ddarparu priodweddau newydd i'r swbstrad, fel ymwrthedd i grafiadau neu ddargludedd trydanol.
Defnydd llai o ddeunyddiau: Mae'n caniatáu creu dyfeisiau cymhleth gyda'r defnydd lleiaf o ddeunyddiau, gan leihau costau.
Addasu: Gellir teilwra ffilmiau i gael priodweddau mecanyddol, trydanol, optegol neu gemegol penodol.
Cymwysiadau
Dyfeisiau lled-ddargludyddion: Transistorau, cylchedau integredig, a systemau microelectromecanyddol (MEMS).
Haenau optegol: Haenau gwrth-adlewyrchol ac adlewyrchol iawn ar lensys a chelloedd solar.
Haenau amddiffynnol: I atal cyrydiad neu draul ar offer a pheiriannau.
Cymwysiadau biofeddygol: Gorchuddion ar fewnblaniadau meddygol neu systemau dosbarthu cyffuriau.
Mae'r dewis o dechneg dyddodiad yn dibynnu ar ofynion penodol y cais, gan gynnwys y math o ddeunydd i'w ddyddodi, y priodweddau ffilm a ddymunir, a'r cyfyngiadau cost.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Awst-15-2024