Nanášení tenkých vrstev je základní proces používaný v polovodičovém průmyslu, stejně jako v mnoha dalších oblastech materiálové vědy a inženýrství. Zahrnuje vytvoření tenké vrstvy materiálu na substrátu. Nanesené vrstvy mohou mít širokou škálu tlouštěk, od několika atomových vrstev až po několik mikrometrů. Tyto vrstvy mohou sloužit mnoha účelům, například jako elektrické vodiče, izolanty, optické povlaky nebo ochranné bariéry.
Zde jsou hlavní metody používané pro nanášení tenkých vrstev:
Fyzikální depozice z plynné fáze (PVD)
Naprašování: Vysokoenergetický iontový paprsek se používá k odražení atomů z cílového materiálu, který se poté usazuje na substrát.
Odpařování:** Materiál se zahřívá ve vakuu, dokud se neodpaří, a poté pára kondenzuje na substrátu.
Atomová vrstvená depozice (ALD)
ALD je technika, při které se na substrátu vytváří film, atomární vrstva po atomu. Je vysoce kontrolovaná a umožňuje vytvářet velmi přesné a konformní filmy.
Molekulární paprsková epitaxe (MBE)
MBE je epitaxní růstová technika, při které jsou paprsky atomů nebo molekul směrovány na zahřátý substrát za vzniku krystalického tenkého filmu.
Výhody nanášení tenkých vrstev
Vylepšená funkčnost: Fólie mohou substrátu poskytnout nové vlastnosti, jako je odolnost proti poškrábání nebo elektrická vodivost.
Snížená spotřeba materiálu: Umožňuje vytvářet složitá zařízení s minimální spotřebou materiálu, což snižuje náklady.
Přizpůsobení: Fólie lze upravit tak, aby měly specifické mechanické, elektrické, optické nebo chemické vlastnosti.
Aplikace
Polovodičové součástky: tranzistory, integrované obvody a mikroelektromechanické systémy (MEMS).
Optické povlaky: Antireflexní a vysoce reflexní povlaky na čočkách a solárních článcích.
Ochranné nátěry: Pro prevenci koroze nebo opotřebení nástrojů a strojů.
Biomedicínské aplikace: Povlaky na lékařských implantátech nebo systémech pro podávání léků.
Volba techniky nanášení závisí na specifických požadavcích aplikace, včetně typu nanášeného materiálu, požadovaných vlastností filmu a cenových omezení.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 15. srpna 2024