Zařízení integruje technologii magnetronového naprašování a odporového napařování a poskytuje řešení pro povlakování různých substrátů.
Experimentální povlakovací zařízení se používá hlavně na univerzitách a ve vědeckovýzkumných institucích a může splňovat řadu experimentálních požadavků. Pro zařízení jsou vyhrazeny různé strukturální cíle, které lze flexibilně konfigurovat tak, aby splňovaly požadavky vědeckého výzkumu a vývoje v různých oblastech. Lze vybrat magnetronový naprašovací systém, katodový obloukový systém, systém elektronového paprskového napařování, systém odporového napařování, CVD, PECVD, iontový zdroj, systém předpětí, topný systém, trojrozměrný upínací přípravek atd. Zákazníci si mohou vybrat podle svých různých potřeb.
Zařízení se vyznačuje krásným vzhledem, kompaktní konstrukcí, malou podlahovou plochou, vysokým stupněm automatizace, jednoduchým a flexibilním provozem, stabilním výkonem a snadnou údržbou.
Zařízení lze aplikovat na plasty, nerezovou ocel, galvanicky pokovené kovové díly / plastové díly, sklo, keramiku a další materiály. Lze připravit jednoduché kovové vrstvy, jako je titan, chrom, stříbro, měď, hliník, nebo filmy z kovových sloučenin, jako je TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*V600(mm) | φ600*V800(mm) | φ800*V1000(mm) |