Výhoda vybavení
1. Škálovatelná funkční konfigurace
Díky modulární architektuře podporuje režimy hromadné a rychlé výroby, což umožňuje rychlé přidávání, odebírání a reorganizaci funkčních komor. Uspořádání výrobní linky lze flexibilně upravovat podle potřeb výroby.
2. Řešení technologie přesného lakování
Inovativní využití technologie naprašování s rotujícím terčem v malém úhlu v kombinaci s optimalizovaným řešením magnetického pole pro dosažení efektivního vyplňování struktur s průchozími otvory.
3. Zavedení struktury rotujících cílů
Tato struktura snižuje ztráty povlakového materiálu a zlepšuje využití materiálu terče. Zkracuje také cyklus výměny terče, čímž zvyšuje efektivitu výroby.
4. Výhody řízení procesů
Optimalizací parametrů magnetronového naprašování a technologií oboustranného synchronního nanášení se výrazně zlepšuje účinnost povlakování složitých strukturálních součástí a zároveň se snižuje míra ztráty materiálu.
Aplikace:Je schopen připravovat různé vrstvy kovových filmů z jednoho prvku, jako jsou Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni atd. Je široce používán v polovodičových elektronických součástkách, jako jsou keramické substráty DPC, keramické kondenzátory, termistory, keramické držáky LED atd.