La deposició de pel·lícules primes és un procés fonamental que s'utilitza en la indústria dels semiconductors, així com en moltes altres àrees de la ciència i l'enginyeria de materials. Implica la creació d'una capa fina de material sobre un substrat. Les pel·lícules dipositades poden tenir una àmplia gamma de gruixos, des d'unes poques capes atòmiques fins a diversos micròmetres de gruix. Aquestes pel·lícules poden servir per a moltes finalitats, com ara conductors elèctrics, aïllants, recobriments òptics o barreres protectores.
Aquests són els principals mètodes utilitzats per a la deposició de pel·lícules primes:
Deposició física de vapor (PVD)
Pulverització catòdica: s'utilitza un feix d'ions d'alta energia per desprendre àtoms d'un material objectiu, que després es diposita sobre el substrat.
Evaporació:** El material s'escalfa al buit fins que s'evapora i, a continuació, el vapor es condensa sobre el substrat.
Deposició de Capes Atòmiques (ALD)
L'ALD és una tècnica en què es fa créixer una pel·lícula sobre un substrat capa atòmica cada vegada. Està altament controlada i pot crear pel·lícules molt precises i conformals.
Epitàxia de feix molecular (MBE)
L'MBE és una tècnica de creixement epitaxial on es dirigeixen feixos d'àtoms o molècules sobre un substrat escalfat per formar una pel·lícula fina cristal·lina.
Avantatges de la deposició de pel·lícules primes
Funcionalitat millorada: les pel·lícules poden proporcionar noves propietats al substrat, com ara la resistència a les ratllades o la conductivitat elèctrica.
Reducció de l'ús de materials: Permet la creació de dispositius complexos amb un ús mínim de materials, reduint costos.
Personalització: Les pel·lícules es poden adaptar per tenir propietats mecàniques, elèctriques, òptiques o químiques específiques.
Aplicacions
Dispositius semiconductors: transistors, circuits integrats i sistemes microelectromecànics (MEMS).
Recobriments òptics: Recobriments antireflectants i d'alta reflexió en lents i cèl·lules solars.
Recobriments protectors: Per evitar la corrosió o el desgast d'eines i maquinària.
Aplicacions biomèdiques: recobriments en implants mèdics o sistemes d'administració de fàrmacs.
L'elecció de la tècnica de deposició depèn dels requisits específics de l'aplicació, incloent-hi el tipus de material a dipositar, les propietats desitjades de la pel·lícula i les restriccions de cost.
–Aquest article ha estat publicat perfabricant de màquines de recobriment al buitGuangdong Zhenhua
Data de publicació: 15 d'agost de 2024