Taloženje tankih filmova je fundamentalni proces koji se koristi u industriji poluprovodnika, kao i u mnogim drugim oblastima nauke o materijalima i inženjerstva. Uključuje stvaranje tankog sloja materijala na podlozi. Taloženi filmovi mogu imati širok raspon debljina, od samo nekoliko atomskih slojeva do nekoliko mikrometara debljine. Ovi filmovi mogu služiti u mnoge svrhe, kao što su električni provodnici, izolatori, optički premazi ili zaštitne barijere.
Evo glavnih metoda koje se koriste za nanošenje tankih filmova:
Fizičko taloženje iz parne faze (PVD)
Raspršivanje: Visokoenergetski ionski snop se koristi za odbijanje atoma sa ciljanog materijala, koji se zatim taloži na podlogu.
Isparavanje:** Materijal se zagrijava u vakuumu dok ne ispari, a zatim se para kondenzuje na podlozi.
Taloženje atomskog sloja (ALD)
ALD je tehnika u kojoj se film uzgaja na podlozi, atomski sloj po atom. Visoko je kontrolirana i može stvoriti vrlo precizne i konformne filmove.
Molekularna epitaksija snopa (MBE)
MBE je epitaksijalna tehnika rasta u kojoj se snopovi atoma ili molekula usmjeravaju na zagrijanu podlogu kako bi se formirao tanki kristalni film.
Prednosti taloženja tankih filmova
Poboljšana funkcionalnost: Filmovi mogu podlozi dati nova svojstva, kao što su otpornost na ogrebotine ili električna provodljivost.
Smanjena upotreba materijala: Omogućava stvaranje složenih uređaja uz minimalnu upotrebu materijala, smanjujući troškove.
Prilagođavanje: Filmovi se mogu prilagoditi tako da imaju specifična mehanička, električna, optička ili hemijska svojstva.
Aplikacije
Poluprovodnički uređaji: tranzistori, integrisana kola i mikroelektromehanički sistemi (MEMS).
Optički premazi: Antirefleksni i visokoreflektirajući premazi na sočivima i solarnim ćelijama.
Zaštitni premazi: Za sprječavanje korozije ili habanja alata i mašina.
Biomedicinske primjene: Premazi na medicinskim implantatima ili sistemima za isporuku lijekova.
Izbor tehnike nanošenja zavisi od specifičnih zahtjeva primjene, uključujući vrstu materijala koji se nanosi, željena svojstva filma i ograničenja troškova.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 15. avg. 2024.