OPIS PROIZVODA

Prednost opreme

1. Skalabilna funkcionalna konfiguracija

Koristeći modularni arhitektonski dizajn, podržava masovne brze načine proizvodnje, omogućavajući brzo dodavanje, uklanjanje i reorganizaciju funkcionalnih komora. Raspored proizvodne linije može se fleksibilno prilagoditi potrebama proizvodnje.

2. Rješenje za tehnologiju preciznog premazivanja

Inovativna upotreba tehnologije raspršivanja rotirajućih meta pod malim uglom u kombinaciji s optimiziranim rješenjem magnetskog polja za postizanje efikasnog popunjavanja struktura kroz rupe.

3. Usvajanje strukture rotirajućeg cilja

Ova struktura smanjuje gubitak materijala za premazivanje i poboljšava iskorištenje materijala mete. Također smanjuje ciklus zamjene mete, čime se povećava efikasnost proizvodnje.

4. Prednosti kontrole procesa

Optimizacijom parametara magnetronskog raspršivanja i tehnologijom dvostranog sinhronog nanošenja, značajno se poboljšava efikasnost premazivanja složenih strukturnih komponenti, a smanjuje se stopa gubitka materijala.

Primjena:Sposoban za pripremu različitih slojeva metalnih filmova od jednog elementa kao što su Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni, itd. Široko se koristi u poluprovodničkim elektronskim komponentama, kao što su DPC keramičke podloge, keramički kondenzatori, termistori, keramički nosači LED dioda, itd.