Нанясенне тонкіх плёнак — гэта фундаментальны працэс, які выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці, а таксама ў многіх іншых галінах матэрыялазнаўства і інжынерыі. Ён прадугледжвае стварэнне тонкага пласта матэрыялу на падкладцы. Атрыманыя плёнкі могуць мець шырокі дыяпазон таўшчыні, ад некалькіх атамных пластоў да некалькіх мікраметраў. Гэтыя плёнкі могуць служыць для розных мэт, такіх як электрычныя праваднікі, ізалятары, аптычныя пакрыцці або ахоўныя бар'еры.
Вось асноўныя метады, якія выкарыстоўваюцца для нанясення тонкіх плёнак:
Фізічнае асаджэнне з паравой фазы (PVD)
Распыленне: Высокаэнергетычны іённы пучок выкарыстоўваецца для выбівання атамаў з мэтавага матэрыялу, які затым асядае на падкладку.
Выпарэнне:** Матэрыял награваецца ў вакууме да выпарэння, а затым пара кандэнсуецца на падкладцы.
Атамнае пластовае нанясенне (ALD)
ALD — гэта тэхніка, пры якой плёнка вырошчваецца на падкладцы, пласт за пластом. Яна вельмі кантралюемая і дазваляе ствараць вельмі дакладныя і канформныя плёнкі.
Малекулярна-прамянёвая эпітаксія (MBE)
МБЭ — гэта тэхніка эпітаксіяльнага росту, пры якой пучкі атамаў або малекул накіроўваюцца на нагрэтую падкладку для ўтварэння тонкай крышталічнай плёнкі.
Перавагі нанясення тонкіх плёнак
Пашыраная функцыянальнасць: плёнкі могуць надаць падкладцы новыя ўласцівасці, такія як устойлівасць да драпін або электраправоднасць.
Зніжэнне выкарыстання матэрыялаў: гэта дазваляе ствараць складаныя прылады з мінімальным выкарыстаннем матэрыялаў, зніжаючы выдаткі.
Налада: Плёнкі можна наладзіць, каб яны мелі пэўныя механічныя, электрычныя, аптычныя або хімічныя ўласцівасці.
Прыкладанні
Паўправадніковыя прыборы: транзістары, інтэгральныя схемы і мікраэлектрамеханічныя сістэмы (МЭМС).
Аптычныя пакрыцці: антыблікавыя і высокаблікавыя пакрыцці на лінзах і сонечных элементах.
Ахоўныя пакрыцці: для прадухілення карозіі або зносу інструментаў і абсталявання.
Біямедыцынскія прымянення: пакрыцці на медыцынскіх імплантатах або сістэмах дастаўкі лекаў.
Выбар метаду нанясення залежыць ад канкрэтных патрабаванняў да прымянення, у тым ліку ад тыпу матэрыялу, які трэба нанесці, жаданых уласцівасцей плёнкі і абмежаванняў па кошце.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 15 жніўня 2024 г.