Nazik təbəqənin çökməsi yarımkeçiricilər sənayesində, eləcə də materialşünaslığın və mühəndisliyin bir çox digər sahələrində istifadə olunan əsas prosesdir. Bu, bir substratda nazik bir material təbəqəsinin yaradılmasını nəzərdə tutur. Yatırılan filmlər bir neçə atom təbəqəsindən bir neçə mikrometr qalınlığa qədər geniş qalınlığa malik ola bilər. Bu filmlər elektrik keçiriciləri, izolyatorlar, optik örtüklər və ya qoruyucu maneələr kimi bir çox məqsədə xidmət edə bilər.
İncə filmin çökməsi üçün istifadə olunan əsas üsullar bunlardır:
Fiziki Buxar Çöküntüsü (PVD)
Püskürtmə: Yüksək enerjili bir ion şüası atomları hədəf materialdan vurmaq üçün istifadə olunur, daha sonra substratın üzərinə çökür.
Buxarlanma:** Material buxarlanana qədər vakuumda qızdırılır və sonra buxar substratda kondensasiya olunur.
Atom qatının çökməsi (ALD)
ALD bir filmin substratda bir dəfə bir atom qatında böyüdüldüyü bir texnikadır. O, yüksək səviyyədə idarə olunur və çox dəqiq və uyğun filmlər yarada bilir.
Molekulyar Şüa Epitaksiyası (MBE)
MBE, atomların və ya molekulların şüalarının kristal nazik bir film yaratmaq üçün qızdırılan substrata yönəldildiyi epitaksial böyümə üsuludur.
İncə filmin çökdürülməsinin üstünlükləri
Təkmil funksionallıq: Filmlər substrata cızılma müqaviməti və ya elektrik keçiriciliyi kimi yeni xüsusiyyətlər təmin edə bilər.
Azaldılmış material istifadəsi: Bu, minimum material istifadəsi ilə mürəkkəb cihazların yaradılmasına, xərclərin azaldılmasına imkan verir.
Fərdiləşdirmə: Filmlər xüsusi mexaniki, elektrik, optik və ya kimyəvi xassələrə uyğunlaşdırıla bilər.
Proqramlar
Yarımkeçirici cihazlar: Tranzistorlar, inteqral sxemlər və mikroelektromexaniki sistemlər (MEMS).
Optik örtüklər: Linzalar və günəş batareyaları üzərində əks əks etdirən və yüksək əks etdirən örtüklər.
Qoruyucu örtüklər: Alətlər və mexanizmlər üzərində korroziyanın və ya aşınmanın qarşısını almaq üçün.
Biotibbi tətbiqlər: Tibbi implantlar və ya dərman ötürmə sistemləri üzərində örtüklər.
Çökmə texnikasının seçimi tətbiqin xüsusi tələblərindən, o cümlədən çökdürüləcək materialın növündən, arzu olunan film xüsusiyyətlərindən və xərc məhdudiyyətlərindən asılıdır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 15 avqust 2024-cü il