ترسيب الأغشية الرقيقة عملية أساسية تُستخدم في صناعة أشباه الموصلات، بالإضافة إلى العديد من مجالات علوم وهندسة المواد الأخرى. تتضمن هذه العملية تكوين طبقة رقيقة من مادة على ركيزة. تتفاوت سماكة الأغشية المرسبة، من بضع طبقات ذرية إلى عدة ميكرومترات. تُستخدم هذه الأغشية لأغراض متعددة، مثل الموصلات الكهربائية، والعوازل، والطلاءات البصرية، والحواجز الواقية.
وفيما يلي الطرق الرئيسية المستخدمة لترسيب الأغشية الرقيقة:
الترسيب الفيزيائي للبخار (PVD)
الرشح: يتم استخدام شعاع أيوني عالي الطاقة لإخراج الذرات من المادة المستهدفة، والتي تترسب بعد ذلك على الركيزة.
التبخر: يتم تسخين المادة في الفراغ حتى تتبخر، ثم يتكثف البخار على الركيزة.
ترسيب الطبقة الذرية (ALD)
ALD هي تقنية تُنمّي فيها طبقة رقيقة على ركيزة، طبقة ذرية واحدة في كل مرة. تتميز هذه التقنية بتحكم دقيق، ويمكنها إنتاج أغشية دقيقة ومتوافقة للغاية.
الترابط الجزيئي الشعاعي (MBE)
MBE هي تقنية نمو طبقي حيث يتم توجيه حزم من الذرات أو الجزيئات إلى ركيزة ساخنة لتشكيل طبقة رقيقة بلورية.
مزايا ترسيب الأغشية الرقيقة
وظائف محسنة: يمكن للأفلام توفير خصائص جديدة للركيزة، مثل مقاومة الخدش أو التوصيل الكهربائي.
استخدام مواد أقل: يسمح بإنشاء أجهزة معقدة باستخدام الحد الأدنى من المواد، مما يقلل التكاليف.
التخصيص: يمكن تصميم الأفلام بحيث تتمتع بخصائص ميكانيكية أو كهربائية أو بصرية أو كيميائية محددة.
التطبيقات
الأجهزة شبه الموصلة: الترانزستورات، والدوائر المتكاملة، والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS).
الطلاءات البصرية: طلاءات مضادة للانعكاس وعالية الانعكاس على العدسات والخلايا الشمسية.
الطلاءات الواقية: لمنع التآكل أو التآكل في الأدوات والآلات.
التطبيقات الطبية الحيوية: الطلاء على الغرسات الطبية أو أنظمة توصيل الأدوية.
يعتمد اختيار تقنية الترسيب على المتطلبات المحددة للتطبيق، بما في ذلك نوع المادة المراد ترسيبها، وخصائص الفيلم المطلوبة، والقيود المفروضة على التكلفة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ١٥ أغسطس ٢٠٢٤