ቀጭን ፊልም የማስቀመጫ ቴክኖሎጂ

ቀጭን ፊልም ማስቀመጥ በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ እንዲሁም በሌሎች በርካታ የቁሳቁስ ሳይንስ እና ምህንድስና ዘርፎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውል መሠረታዊ ሂደት ነው። በንጥረ ነገሮች ላይ ቀጭን ንጣፍ መፍጠርን ያካትታል. የተቀመጡት ፊልሞች ከጥቂት የአቶሚክ ንብርብሮች እስከ ብዙ ማይክሮሜትሮች ድረስ ሰፋ ያለ ውፍረት ሊኖራቸው ይችላል። እነዚህ ፊልሞች እንደ ኤሌክትሪክ ማስተላለፊያዎች፣ ኢንሱሌተሮች፣ ኦፕቲካል ሽፋኖች ወይም መከላከያ መሰናክሎች ያሉ ብዙ ዓላማዎችን ሊያገለግሉ ይችላሉ።

ቀጭን ፊልም ለማስቀመጥ የሚያገለግሉ ዋና ዘዴዎች እዚህ አሉ
አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ (PVD)
መበተን፡- ከፍተኛ ኃይል ያለው ion beam አተሞችን ከታለመው ቁሳቁስ ለመንኳኳት ይጠቅማል፣ ከዚያም ወደ ንብረቱ ላይ ይቀመጣል።
ትነት:** ቁሱ እስኪተን ድረስ በቫኪዩም ውስጥ ይሞቃል, ከዚያም ትነት በንጣፉ ላይ ይጨመቃል.
የአቶሚክ ንብርብር ክምችት (ALD)
ኤኤልዲ ፊልም በአንድ ጊዜ አንድ አቶሚክ ንብርብር በአንድ ወለል ላይ የሚበቅልበት ዘዴ ነው። በጣም ቁጥጥር የሚደረግበት እና በጣም ትክክለኛ እና ተስማሚ ፊልሞችን መፍጠር ይችላል።
ሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE)
MBE የአተሞች ወይም ሞለኪውሎች ጨረሮች ወደ ሞቃት ወለል ላይ ተመርተው ክሪስታል ስስ ፊልም የሚፈጥሩበት ኤፒታክሲያል የእድገት ዘዴ ነው።
የቀጭን ፊልም አቀማመጥ ጥቅሞች
የተሻሻለ ተግባር፡ ፊልሞች እንደ የጭረት መቋቋም ወይም የኤሌትሪክ ኮንዳክሽን የመሳሰሉ አዳዲስ ባህሪያትን ለቅጽበቱ ሊያቀርቡ ይችላሉ።
የተቀነሰ የቁሳቁስ አጠቃቀም፡- ውስብስብ መሣሪያዎችን በትንሹ የቁሳቁስ አጠቃቀም ለመፍጠር ያስችላል፣ ወጪን ይቀንሳል።
ማበጀት፡- ፊልሞች የተወሰነ መካኒካል፣ ኤሌክትሪክ፣ ኦፕቲካል ወይም ኬሚካላዊ ባህሪያት እንዲኖራቸው ሊበጁ ይችላሉ።
መተግበሪያዎች
ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች፡- ትራንዚስተሮች፣ የተቀናጁ ወረዳዎች እና ማይክሮኤሌክትሮሜካኒካል ሲስተሞች (MEMS)።
የኦፕቲካል ሽፋኖች: ፀረ-አንጸባራቂ እና ከፍተኛ አንጸባራቂ ሽፋኖች በሌንሶች እና በፀሃይ ህዋሶች ላይ.
መከላከያ ሽፋኖች፡- ዝገትን ለመከላከል ወይም በመሳሪያዎች እና ማሽኖች ላይ ለመልበስ።
ባዮሜዲካል አፕሊኬሽኖች፡- በሕክምና ተከላዎች ወይም በመድኃኒት አቅርቦት ሥርዓቶች ላይ ሽፋን።
የማስቀመጫ ዘዴ ምርጫ የሚወሰነው በመተግበሪያው ልዩ መስፈርቶች ላይ ነው, ይህም የሚቀመጠው ቁሳቁስ ዓይነት, የሚፈለገው የፊልም ባህሪያት እና የወጪ ገደቦችን ጨምሮ.

- ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ