Dunfilmafsetting is 'n fundamentele proses wat in die halfgeleierbedryf, sowel as in baie ander gebiede van materiaalwetenskap en -ingenieurswese, gebruik word. Dit behels die skep van 'n dun lagie materiaal op 'n substraat. Die neergesette films kan 'n wye reeks diktes hê, van net 'n paar atoomlae tot etlike mikrometer dik. Hierdie films kan baie doeleindes dien, soos elektriese geleiers, isolators, optiese bedekkings of beskermende versperrings.
Hier is die hoofmetodes wat gebruik word vir dunfilmafsetting:
Fisiese Dampafsetting (PVD)
Verstuiwing: 'n Hoë-energie ioonstraal word gebruik om atome van 'n teikenmateriaal af te slaan, wat dan op die substraat neerslaan.
Verdamping:** Die materiaal word in 'n vakuum verhit totdat dit verdamp, en dan kondenseer die damp op die substraat.
Atoomlaagafsetting (ALD)
ALD is 'n tegniek waar 'n film een atoomlaag op 'n slag op 'n substraat gekweek word. Dit word hoogs beheer en kan baie presiese en konforme films skep.
Molekulêre Straal Epitaksie (MBE)
MBE is 'n epitaksiale groeitegniek waar strale van atome of molekules op 'n verhitte substraat gerig word om 'n kristallyne dun film te vorm.
Voordele van dunfilmafsetting
Verbeterde funksionaliteit: Films kan nuwe eienskappe aan die substraat gee, soos krasbestandheid of elektriese geleidingsvermoë.
Verminderde materiaalverbruik: Dit maak die skep van komplekse toestelle met minimale materiaalverbruik moontlik, wat koste verminder.
Aanpassing: Films kan aangepas word om spesifieke meganiese, elektriese, optiese of chemiese eienskappe te hê.
Toepassings
Halfgeleiertoestelle: Transistors, geïntegreerde stroombane en mikro-elektromeganiese stelsels (MEMS).
Optiese bedekkings: Anti-reflektiewe en hoogs-reflektiewe bedekkings op lense en sonselle.
Beskermende bedekkings: Om korrosie of slytasie op gereedskap en masjinerie te voorkom.
Biomediese toepassings: Bedekkings op mediese inplantings of geneesmiddelafleweringstelsels.
Die keuse van afsettingstegniek hang af van die spesifieke vereistes van die toepassing, insluitend die tipe materiaal wat neergelê moet word, die verlangde filmeienskappe en die kostebeperkings.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 15 Augustus 2024