Nínú àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí afẹ́fẹ́,àwọn fíìmù tín-rí ... gbé àwọn ìpèníjà àti àwọn ohun tí ó yẹ kí ó wà ní ipa lórí ìṣètò ẹ̀rọ, ìṣàkóso ìlànà, àti àwọn ọgbọ́n ìfipamọ́. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn irú ìbòrí méjèèjì gbára lé ìṣàkóso pípéye ti sisanra fíìmù, stoichiometry, àti àtọ́ka refractive, àwọn iṣẹ́ opitika wọn ń fa àwọn ìbéèrè ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ lórí àwọn ànímọ́ plasma, ìṣọ̀kan ìfipamọ́, àti àwọn ètò ìtọ́jú inú-ipò.
Àwọn ìbòrí tí ó ní àwọ̀ tí ó ní àwọ̀ tí ó ga jùlọ sábà máa ń jẹ́ àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ dielectric index tí ó ga àti kékeré, tàbí àwọn fíìmù irin, tí a ṣe láti mú kí àwọ̀ náà pọ̀ sí i lórí àwọn ìwọ̀n ìgbì omi pàtó kan. Láti ṣe àṣeyọrí àwọ̀ tí a fẹ́ nílò ìṣàkóso pípéye ti ìwọ̀n ìpele lórí ìtòlẹ́sẹẹsẹ àwọn nanometers àti àwọ̀ tí ó ní àwọ̀ tí ó dúró ṣinṣin jákèjádò àpò náà. Nítorí náà, àwọn ohun èlò tí a lò fún àwọn ìbòrí HR gbọ́dọ̀ pèsè ìṣàkóso ìwọ̀n ìpele fíìmù tí ó tayọ, ìpínkiri plasma kan náà, àti ìlò ibi-afẹ́de gíga. A sábà máa ń lo àwọn ètò ìfọ́mọ́ra magnetron oní-pupọ tàbí àwọn ìlà PVD oníná electron, tí ó lè fi àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ tí ó ní ihò díẹ̀ sílẹ̀ pẹ̀lú ìfàmọ́ra díẹ̀. Ìwọ̀n agbára gíga àti ìwọ̀n ìforúkọsílẹ̀ tí ó dúró ṣinṣin ṣe pàtàkì láti yẹra fún àbùkù, ìkójọpọ̀ wàhálà, tàbí ìfọ́mọ́ra kékeré tí yóò ba àwọ̀ náà jẹ́. Ní àfikún, àwọn ọ̀nà ìtọ́jú in-situ ti o ti ní ìlọsíwájú, bíi monitoring optical tàbí quartz crystal microbalance (QCM), ni a ṣepọ láti ṣetọju iṣakoso fẹlẹfẹlẹ tí ó péye lórí àwọn ìyípo ìforúkọsílẹ̀ púpọ̀.
Ní ìyàtọ̀ sí èyí, àwọn ìbòrí tí ó ní ìfàmọ́ra díẹ̀ tàbí tí ó ní ìfàmọ́ra díẹ̀ máa ń fẹ́ dín ìfàmọ́ra kù nípasẹ̀ ìdènà ìparun tí a ṣàkóso. Àwọn ìbòrí AR sábà máa ń nílò àwọn ojú ilẹ̀ tí ó mọ́lẹ̀ gan-an, àwọn àmì ìfàmọ́ra tí a ti tò, àti àwọn ibi ìtújáde tí ó kéré jù. Ohun èlò fún àwọn ìbòrí AR tẹnu mọ́ ìyípo substrate, ìpínkiri gaasi kan náà, àti ìtújáde agbára kékeré láti rí i dájú pé ojú ilẹ̀ náà mọ́lẹ̀ dáadáa àti àmì ìfàmọ́ra kan náà. A lè lo ìtújáde ìfàmọ́ra tàbí ìtújáde tí a fi ion ṣe ìrànlọ́wọ́ láti mú kí stoichiometry dára síi àti láti dín ìdààmú tí ó kù kù. A ń ṣàkóso ìbàjẹ́ yàrá àti ìwọ̀n gaasi tí ó kù dáadáa, nítorí pé ìdàpọ̀ díẹ̀ ti atẹ́gùn, ọrinrin, tàbí hydrocarbons lè mú kí ìfàmọ́ra tàbí ìtújáde optical pọ̀ sí i, èyí tí yóò dín iṣẹ́ ìfàmọ́ra ìbòrí náà kù.
Iyatọ akọkọ ninu apẹrẹ ẹrọ laarin awọn ibora HR ati AR wa ni iwọntunwọnsi laarin agbara ifipamọ, iṣọkan pilasima, ati deede iṣakoso ilana. Awọn eto ibora HR ṣe pataki fun fifi agbara giga, ifipamọ agbara giga pẹlu abojuto sisanra fẹlẹfẹlẹ deede lati ṣaṣeyọri ifihan ti o pọju, lakoko ti awọn eto ibora AR ṣe pataki fun ibajẹ kekere, ifipamọ iṣọkan pupọ lati ṣetọju didan dada ati itankale ti o kere ju. Pẹlupẹlu, agbara fifuye, mimu substrate, ati iṣakoso ooru gbọdọ wa ni ibamu si iru ibora kọọkan; awọn akopọ multilayer ti o ni afihan giga n ṣe agbejade ẹru ooru ti o pọ si, ti o nilo itutu ti nṣiṣe lọwọ ati iṣakoso wahala, lakoko ti awọn ibora AR nilo awọn agbegbe mimọ pupọ ati iṣakoso agbara ion deede.
Ní ṣókí, bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn ìbòrí tó ní àwọ̀ tó ga àti èyí tó ní àwọ̀ tó kéré ní ìrísí máa ń pín àwọn ìpìlẹ̀ ìpamọ́ ohun èlò tó wọ́pọ̀, àwọn iṣẹ́ wọn ló ń darí àwọn ètò ẹ̀rọ pàtàkì, àwọn ọgbọ́n ìṣàkóso iṣẹ́, àti àwọn ètò ìmójútó. Lílóye àwọn ìyàtọ̀ wọ̀nyí ṣe pàtàkì fún àṣeyọrí iṣẹ́ ìrísí tó ṣe, àtúnṣe, àti ìdúróṣinṣin pípẹ́ ti àwọn fíìmù tó tinrin nínú àwọn ohun èlò tó ń béèrè fún bí àwọn dígí opitika, lẹ́ńsì, àwọn ẹ̀rọ photonic, àti àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfihàn.
-Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́olupese ẹrọ ti a fi n bo igbaleẸ̀rọ ìfọṣọ Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-13-2026