A cikin fasahar shafa fenti,fina-finai masu sirara masu haske (HR) da kuma fina-finai masu haske marasa haske (AR) suna gabatar da ƙalubale da buƙatu daban-daban waɗanda ke tasiri kai tsaye ga ƙirar kayan aiki, sarrafa tsari, da dabarun adanawa. Duk da cewa nau'ikan murfin guda biyu sun dogara ne akan daidaitaccen sarrafa kauri na fim, stoichiometry, da ma'aunin refractive, ayyukan gani suna haifar da buƙatu daban-daban akan halayen plasma, daidaiton adanawa, da tsarin sa ido a cikin wuri.
Rufin da ke da ƙarfin haske yawanci yana ƙunshe da layukan dielectric masu tsayi da ƙananan masu ƙarfin haske, ko fina-finan ƙarfe, waɗanda aka tsara don haɓaka ƙarfin haske akan takamaiman kewayon tsayin tsayi. Cimma nasarar hasken da ake so yana buƙatar daidaitaccen iko na kauri na Layer akan tsari na nanometers da daidaitaccen ma'aunin haske a cikin tarin. Saboda haka, kayan aikin da ake amfani da su don rufin HR dole ne su samar da ingantaccen iko na kauri na fim, rarrabawar plasma iri ɗaya, da ingantaccen amfani da manufa. Sau da yawa ana amfani da tsarin sputtering na magnetron mai manufa da yawa ko layukan PVD na katakon lantarki, waɗanda ke da ikon ajiye yadudduka masu yawa, marasa ramuka tare da ƙarancin sha. Yawan ƙarfin lantarki mai yawa da ƙimar ajiyar iska mai ƙarfi suna da mahimmanci don guje wa lahani, tarin damuwa, ko ƙananan fashewa waɗanda zasu lalata ƙarfin haske. Bugu da ƙari, an haɗa dabarun sa ido na zamani, kamar sa ido na gani ko ma'aunin ma'aunin kristal na quartz (QCM), don kula da daidaitaccen iko na Layer akan zagayowar ajiyar iska da yawa.
Sabanin haka, rufin da ba shi da haske ko kuma hana haske yana da nufin rage haske ta hanyar tsangwama mai lalatawa. Rufin AR sau da yawa yana buƙatar saman da ya yi santsi sosai, ma'aunin haske mai kyau, da kuma ƙananan cibiyoyin warwatsewa. Kayan aiki don rufin AR suna mai da hankali kan juyawar substrate, rarraba iskar gas iri ɗaya, da kuma ajiyar ƙarancin kuzari don tabbatar da santsi a saman da ma'aunin haske iri ɗaya. Ana iya amfani da sputtering mai amsawa ko ajiyar ion don inganta stoichiometry da rage damuwa da ta rage. Gurɓatar ɗakin da matakan iskar gas da suka rage ana sarrafa su sosai, domin ko da ƙaramin haɗakar iskar oxygen, danshi, ko hydrocarbons na iya ƙara sha ko warwatsewar gani, wanda ke rage aikin hana haske na rufin.
Babban bambanci a cikin ƙirar kayan aiki tsakanin murfin HR da AR yana cikin daidaito tsakanin kuzarin ajiya, daidaiton plasma, da daidaiton sarrafa tsari. Tsarin murfin HR yana ba da fifiko ga ajiyar mai yawa, mai ƙarfi tare da sa ido kan kauri mai kyau don cimma matsakaicin haske, yayin da tsarin murfin AR yana ba da fifiko ga ƙarancin lalacewa, ajiyar mai iri ɗaya don kiyaye santsi na saman da ƙarancin warwatsewa. Bugu da ƙari, dole ne a daidaita ƙarfin kaya, sarrafa substrate, da sarrafa zafi ga kowane nau'in rufi; tarin mai haske mai yawa yana samar da ƙarin nauyin zafi mai tarin yawa, yana buƙatar sarrafa sanyaya mai aiki da damuwa, yayin da murfin AR yana buƙatar yanayi mai tsabta da sarrafa makamashin ion daidai.
A taƙaice, kodayake duka rufin da ke da ƙarfin haske da kuma ƙarancin haske suna da tushe na ajiye iska, ayyukansu na gani suna tsara tsarin kayan aiki na musamman, dabarun sarrafa tsari, da tsarin sa ido. Fahimtar waɗannan bambance-bambancen yana da mahimmanci don cimma aikin gani da aka tsara, sake samarwa, da kwanciyar hankali na dogon lokaci na siraran fina-finai a cikin aikace-aikace masu wahala kamar madubai na gani, ruwan tabarau, na'urorin photonic, da fasahar nuni.
-An buga wannan labarin ne ta hannunƙera kayan aikin rufin injin injinInjin tsabtace Zhenhua
Lokacin Saƙo: Maris-13-2026