Tiknoolajiyada dahaarka faakuumka,filimada khafiifka ah ee iftiimiya sare (HR) iyo kuwa iftiimiya hoose (AR) waxay soo bandhigaan caqabado iyo shuruudo kala duwan oo si toos ah u saameeya naqshadeynta qalabka, xakamaynta habka, iyo istaraatiijiyadaha dhigista. In kasta oo labada nooc ee dahaarka ay ku tiirsan yihiin xakamaynta saxda ah ee dhumucda filimka, stoichiometry, iyo tusmada refractive, shaqooyinkooda indhaha waxay ku soo rogaan baahiyo kala duwan astaamaha balaasmaha, isku mid ahaanshaha dhigista, iyo nidaamyada la socodka gudaha.
Dahaarka sare ee milicsiga leh badanaa wuxuu ka kooban yahay lakabyo kala duwan oo ah tusmada iftiinka sare iyo kan hoose ee dielectric, ama filimaan bir ah, oo loogu talagalay in lagu kordhiyo milicsiga marka loo eego heerarka hirarka gaarka ah. Gaaritaanka milicsiga la rabo waxay u baahan tahay xakameyn sax ah oo dhumucda lakabka ah iyadoo loo eegayo nanometers iyo tusmada milicsiga joogtada ah inta lagu jiro xidhmada. Sidaas darteed, qalabka loo isticmaalo dahaarka HR waa inuu bixiyaa xakamaynta dhumucda filimka ee gaarka ah, qaybinta balaasmaha oo isku mid ah, iyo hufnaanta isticmaalka bartilmaameedka sare. Nidaamyada isku-buufinta magnetron-ka ee bartilmaameedka badan ama khadadka PVD ee shucaaca elektarooniga ah ayaa badanaa la isticmaalaa, kuwaas oo awood u leh inay dhigaan lakabyo cufan, dalool yar oo leh nuugid yar. Cufnaanta awoodda sare iyo heerarka dhigista xasilloon ayaa muhiim u ah in laga fogaado cilladaha, ururinta walbahaarka, ama dildilaaca yar ee wax u dhimi kara milicsiga. Intaa waxaa dheer, farsamooyinka kormeerka ee horumarsan ee goobta, sida kormeerka indhaha ama dheelitirka kiristaalka quartz (QCM), ayaa lagu daray si loo ilaaliyo xakamaynta lakabka saxda ah ee wareegyada dhigista badan.
Taas bedelkeeda, dahaarka milicsiga hooseeya ama ka hortagga milicsiga wuxuu ujeeddadiisu tahay inuu yareeyo milicsiga iyada oo loo marayo faragelinta burburka la xakameeyey. Dahaarka AR badanaa wuxuu u baahan yahay dusha sare ee aad u siman, tusmooyinka milicsiga ee la qiimeeyay, iyo xarumaha firidhsan ee ugu yar. Qalabka dahaarka AR wuxuu xoogga saarayaa wareegga substrate-ka, qaybinta gaaska isku midka ah, iyo kaydinta tamarta yar si loo hubiyo simanaanta dusha sare iyo tusmada milicsiga ee isku midka ah. Firidhaynta falcelinta leh ama dhigista ion-ka ee lagu caawiyo ayaa loo isticmaali karaa in lagu wanaajiyo stoichiometry loona yareeyo walbahaarka harsan. Wasakhowga qolka iyo heerarka gaaska harsan ayaa si adag loo xakameeyaa, maadaama xitaa isku darka yar ee oksijiinta, qoyaanka, ama hydrocarbons ay kordhin karaan nuugista indhaha ama kala firdhinta, taasoo yaraynaysa waxqabadka ka hortagga milicsiga ee dahaarka.
Kala duwanaanshaha ugu weyn ee naqshadeynta qalabka ee u dhexeeya dahaarka HR iyo AR wuxuu ku jiraa dheelitirka u dhexeeya tamarta dhigista, isku mid ahaanshaha balaasmaha, iyo saxnaanta xakamaynta habka. Nidaamyada dahaarka HR waxay mudnaanta siiyaan dhigista cufnaanta sare, tamar sare leh iyadoo la kormeerayo dhumucda lakabka saxda ah si loo gaaro soo-jeedinta ugu badan, halka nidaamyada dahaarka AR ay mudnaanta siiyaan dhigista hoose, dhigista aadka u siman si loo ilaaliyo simanaanta dusha sare iyo kala firdhinta ugu yar. Intaa waxaa dheer, awoodda culeyska, maaraynta substrate-ka, iyo maaraynta kulaylka waa in loo habeeyaa nooc kasta oo dahaar ah; xidhmooyinka lakabka badan ee milicsiga sare leh waxay soo saaraan culays kuleyl oo badan oo isku dhafan, oo u baahan qaboojin firfircoon iyo maaraynta walbahaarka, halka dahaarka AR ay u baahan yihiin jawi aad u nadiif ah iyo xakamaynta tamarta ion-ka saxda ah.
Marka la soo koobo, inkastoo labada dahaadh ee milicsiga sare leh iyo kuwa milicsiga hooseeya labaduba ay wadaagaan aasaaska kaydinta faakuumka ee caadiga ah, shaqooyinkooda indhaha ayaa go'aamiya habaynta qalabka gaarka ah, istaraatiijiyadaha xakamaynta habka, iyo nidaamyada la socodka. Fahmidda kala duwanaanshahan ayaa lagama maarmaan u ah gaaritaanka waxqabadka indhaha ee loogu talagalay, dib-u-soo-saarista, iyo xasilloonida muddada-dheer ee filimada khafiifka ah ee codsiyada adag sida muraayadaha indhaha, muraayadaha indhaha, aaladaha sawir-qaadista, iyo teknoolojiyada bandhigga.
-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Maarso-13-2026