I nā ʻenehana uhi vacuum,nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi kiʻekiʻe-noʻonoʻo (HR) a me nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi haʻahaʻa-noʻonoʻo (AR) hōʻike i nā pilikia a me nā koi kūikawā e hoʻopili pololei ana i ka hoʻolālā lako, ka kaohi hana, a me nā hoʻolālā waiho ʻana. ʻOiai ʻo nā ʻano uhi ʻelua e hilinaʻi nei i ka kaohi pololei o ka mānoanoa o ke kiʻiʻoniʻoni, stoichiometry, a me ka refractive index, kau kā lākou mau hana optical i nā koi like ʻole ma nā ʻano plasma, ke ʻano o ka waiho ʻana, a me nā ʻōnaehana nānā in-situ.
ʻO ka maʻamau, ʻo nā uhi ʻālohilohi kiʻekiʻe e hana ʻia me nā papa dielectric index refractive kiʻekiʻe a haʻahaʻa, a i ʻole nā kiʻiʻoniʻoni metala, i hoʻolālā ʻia e hoʻonui i ka reflectivity ma luna o nā pae nalu kikoʻī. ʻO ka hoʻokō ʻana i ka reflectivity i makemake ʻia e pono ai ka kaohi pololei o ka mānoanoa o ka papa ma ke ʻano o nā nanometers a me ka index refractive kūlike ma loko o ka stack. No laila, pono nā lako i hoʻohana ʻia no nā uhi HR e hāʻawi i ka kaohi mānoanoa o ka kiʻiʻoniʻoni, ka hoʻolaha plasma like, a me ka pono hoʻohana kiʻekiʻe. Hoʻohana pinepine ʻia nā ʻōnaehana sputtering magnetron multi-target a i ʻole nā laina PVD beam electron, hiki ke waiho i nā papa dense, haʻahaʻa-porosity me ka liʻiliʻi o ka absorption. He mea koʻikoʻi ka density mana kiʻekiʻe a me nā helu deposition paʻa e pale aku i nā hemahema, ka hōʻiliʻili stress, a i ʻole ka micro-cracking e hoʻopilikia i ka reflectivity. Eia kekahi, ua hoʻohui ʻia nā ʻano hana nānā in-situ holomua, e like me ka nānā ʻana optical a i ʻole ka quartz crystal microbalance (QCM), e mālama i ka kaohi papa pololei ma luna o nā pōʻaiapuni deposition he nui.
I ka hoʻohālikelike ʻana, ʻo nā uhi haʻahaʻa-reflective a i ʻole anti-reflection e manaʻo e hōʻemi i ka reflection ma o ka hoʻopilikia luku i kāohi ʻia. Pono pinepine nā uhi AR i nā ʻili laumania loa, nā ʻōkuhi refractive i hoʻopaʻa ʻia, a me nā kikowaena hoʻopuehu liʻiliʻi. Hoʻoikaika nā lako no nā uhi AR i ka hoʻohuli substrate, ka hoʻolaha like ʻana o ke kinoea, a me ka waiho ʻana o ka ikehu haʻahaʻa e hōʻoia i ka laumania o ka ʻili a me ka ʻōkuhi refractive like. Hiki ke hoʻohana ʻia ka reactive sputtering a i ʻole ka ion-assisted deposition e hoʻomaikaʻi i ka stoichiometry a hōʻemi i ke koʻikoʻi koena. Hoʻomalu paʻa ʻia ka haumia o ke keʻena a me nā pae kinoea koena, ʻoiai ʻo ka hoʻohui liʻiliʻi ʻana o ka oxygen, ka makū, a i ʻole nā hydrocarbons hiki ke hoʻonui i ka optical absorption a i ʻole ka hoʻopuehu ʻana, e hōʻemi ana i ka hana anti-reflective o ka uhi.
ʻO ka ʻokoʻa nui i ka hoʻolālā lako ma waena o nā uhi HR a me AR aia i ke kaulike ma waena o ka ikehu deposition, ka like ʻana o ka plasma, a me ka pololei o ke kaohi ʻana i ke kaʻina hana. Hoʻoikaika nā ʻōnaehana uhi HR i ka deposition kiʻekiʻe-density, kiʻekiʻe-energy me ka nānā ʻana i ka mānoanoa o ka papa e hoʻokō i ka reflectivity kiʻekiʻe loa, ʻoiai ʻo nā ʻōnaehana uhi AR e hoʻoikaika i ka deposition haʻahaʻa-pōʻino, like loa e mālama i ka laumania o ka ʻili a me ka liʻiliʻi o ka hoʻopuehu ʻana. Eia kekahi, pono e hoʻopilikino ʻia ka hiki ke ukana, ka lawelawe ʻana i ka substrate, a me ka hoʻokele thermal i kēlā me kēia ʻano uhi; hoʻoulu nā stacks multilayer reflective kiʻekiʻe i ka ukana thermal cumulative hou aʻe, e koi ana i ka hoʻoluʻu hana a me ka hoʻokele stress, ʻoiai ʻo nā uhi AR e koi ana i nā wahi maʻemaʻe loa a me ka kaohi ikehu ion pololei.
I ka hōʻuluʻulu manaʻo, ʻoiai ʻo nā uhi ʻōlinolino kiʻekiʻe a me nā uhi ʻōlinolino haʻahaʻa e kaʻana like i nā kumu hoʻokaʻawale vacuum like, ʻo kā lākou hana optical e kuhikuhi i nā hoʻonohonoho lako kūikawā, nā hoʻolālā kaohi kaʻina hana, a me nā ʻōnaehana nānā. He mea nui ka hoʻomaopopo ʻana i kēia mau ʻokoʻa no ka hoʻokō ʻana i ka hana optical i hoʻolālā ʻia, ka hana hou ʻana, a me ke kūpaʻa lōʻihi o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi i nā noi koi e like me nā aniani optical, nā aniani, nā mea photonic, a me nā ʻenehana hōʻike.
-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala emea hana lako uhi vacuumʻO Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Malaki-13-2026