ويڪيوم ڊپوزيشن ۾ اعليٰ عڪاسي ڪندڙ ۽ گهٽ عڪاسي ڪندڙ ڪوٽنگن جي وچ ۾ سامان جو فرق

ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي ۾،هاءِ ريفليڪٽو (HR) ۽ لو ريفليڪٽو (AR) پتلي فلمون مختلف چئلينج ۽ گهرجون پيش ڪن ٿيون جيڪي سڌو سنئون سامان جي ڊيزائن، پروسيس ڪنٽرول، ۽ جمع ڪرڻ جي حڪمت عملي تي اثر انداز ٿين ٿيون. جڏهن ته ٻنهي قسمن جي ڪوٽنگ فلم جي ٿلهي، اسٽوچيوميٽري، ۽ ريفريڪٽو انڊيڪس جي صحيح ڪنٽرول تي ڀاڙين ٿا، انهن جا آپٽيڪل ڪم پلازما خاصيتن، جمع ڪرڻ جي هڪجهڙائي، ۽ ان-سيٽو مانيٽرنگ سسٽم تي مختلف مطالبا لاڳو ڪن ٿا.

هاءِ ريفليڪٽو ڪوٽنگ عام طور تي متبادل هاءِ ۽ لو ريفريڪٽو انڊيڪس ڊائي اليڪٽرڪ پرتن، يا ميٽالڪ فلمن تي مشتمل هونديون آهن، جيڪي مخصوص طول موج جي حدن تي ريفليڪٽوٽي کي وڌائڻ لاءِ ٺهيل هونديون آهن. گهربل ريفليڪٽوٽي حاصل ڪرڻ لاءِ نانو ميٽرن جي ترتيب تي پرت جي ٿولهه جو صحيح ڪنٽرول ۽ اسٽيڪ ۾ مسلسل ريفريڪٽو انڊيڪس جي ضرورت هوندي آهي. نتيجي طور، HR ڪوٽنگز لاءِ استعمال ٿيندڙ سامان کي غير معمولي فلم جي ٿولهه ڪنٽرول، يونيفارم پلازما ورڇ، ۽ اعليٰ ٽارگيٽ استعمال جي ڪارڪردگي فراهم ڪرڻ گهرجي. ملٽي ٽارگيٽ ميگنيٽرون اسپٽرنگ سسٽم يا اليڪٽران بيم PVD لائينون اڪثر استعمال ڪيون وينديون آهن، جيڪي گهٽ ۾ گهٽ جذب سان گهاٽي، گهٽ پورسيٽي پرتن کي جمع ڪرڻ جي قابل هونديون آهن. خرابين، دٻاءُ جي جمع ٿيڻ، يا مائڪرو ڪريڪنگ کان بچڻ لاءِ اعليٰ طاقت جي کثافت ۽ مستحڪم جمع ڪرڻ جي شرح اهم آهن جيڪي عڪاسي کي سمجهوتو ڪندا. اضافي طور تي، ترقي يافته ان-سيٽو مانيٽرنگ ٽيڪنڪ، جهڙوڪ آپٽيڪل مانيٽرنگ يا ڪوارٽز ڪرسٽل مائڪرو بيلنس (QCM)، ڪيترن ئي جمع ڪرڻ واري چڪرن تي صحيح پرت ڪنٽرول کي برقرار رکڻ لاءِ ضم ٿيل آهن.

ان جي ابتڙ، گهٽ عڪاسي ڪندڙ يا مخالف عڪاسي ڪندڙ ڪوٽنگن جو مقصد ڪنٽرول ٿيل تباهي واري مداخلت ذريعي عڪاسي کي گھٽ ڪرڻ آهي. AR ڪوٽنگن کي اڪثر انتهائي هموار سطحون، درجه بندي ٿيل اضطراري انڊيڪس، ۽ گهٽ ۾ گهٽ اسڪريٽنگ سينٽرن جي ضرورت هوندي آهي. AR ڪوٽنگن لاءِ سامان سبسٽريٽ گردش، يونيفارم گيس ورڇ، ۽ گهٽ توانائي جي جمع تي زور ڏئي ٿو ته جيئن مٿاڇري جي همواري ۽ يونيفارم ريفريڪٽو انڊيڪس کي يقيني بڻائي سگهجي. اسٽوچيوميٽري کي بهتر ڪرڻ ۽ بقايا دٻاءُ کي گھٽ ڪرڻ لاءِ رد عمل واري اسپٽرنگ يا آئن جي مدد سان جمع ڪرڻ استعمال ڪري سگهجي ٿو. چيمبر جي آلودگي ۽ بقايا گئس جي سطحن کي سختي سان ڪنٽرول ڪيو ويندو آهي، ڇاڪاڻ ته آڪسيجن، نمي، يا هائيڊرو ڪاربن جي معمولي شموليت به آپٽيڪل جذب يا اسڪريٽنگ کي وڌائي سگھي ٿي، ڪوٽنگ جي مخالف عڪاسي ڪندڙ ڪارڪردگي کي گھٽائي ٿي.

HR ۽ AR ڪوٽنگن جي وچ ۾ سامان جي ڊيزائن ۾ بنيادي فرق جمع توانائي، پلازما يڪسانيت، ۽ پروسيس ڪنٽرول جي درستگي جي وچ ۾ توازن ۾ آهي. HR ڪوٽنگ سسٽم وڌ ۾ وڌ عڪاسي حاصل ڪرڻ لاءِ پرت جي ٿلهي جي درست نگراني سان اعليٰ کثافت، اعليٰ توانائي جي جمع کي ترجيح ڏين ٿا، جڏهن ته AR ڪوٽنگ سسٽم سطح جي همواري ۽ گهٽ ۾ گهٽ ڇڪڻ کي برقرار رکڻ لاءِ گهٽ نقصان، انتهائي يڪسان جمع کي ترجيح ڏين ٿا. ان کان علاوه، لوڊ گنجائش، سبسٽريٽ هينڊلنگ، ۽ حرارتي انتظام هر ڪوٽنگ جي قسم جي مطابق هجڻ گهرجي؛ اعليٰ عڪاسي ڪندڙ ملٽي ليئر اسٽيڪ وڌيڪ مجموعي حرارتي لوڊ پيدا ڪن ٿا، جنهن کي فعال کولنگ ۽ دٻاءُ جي انتظام جي ضرورت آهي، جڏهن ته AR ڪوٽنگون الٽرا صاف ماحول ۽ صحيح آئن توانائي ڪنٽرول جي ضرورت هونديون آهن.

خلاصو، جيتوڻيڪ اعليٰ عڪاسي ڪندڙ ۽ گهٽ عڪاسي ڪندڙ ڪوٽنگون ٻئي عام ويڪيوم جمع ڪرڻ جي بنيادن کي حصيداري ڪن ٿيون، انهن جا آپٽيڪل ڪم خاص سامان جي ترتيب، پروسيس ڪنٽرول حڪمت عملي، ۽ نگراني نظام کي ترتيب ڏين ٿا. انهن فرقن کي سمجهڻ ضروري آهي ته جيئن آپٽيڪل آئينن، لينس، فوٽونڪ ڊوائيسز، ۽ ڊسپلي ٽيڪنالاجيز جهڙن گهربل ايپليڪيشنن ۾ پتلي فلمن جي ڊزائين ڪيل آپٽيڪل ڪارڪردگي، پيداواري صلاحيت، ۽ ڊگهي مدت جي استحڪام حاصل ڪري سگهجي.

-هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ سامان ٺاهيندڙزينهوا ويڪيوم