ۋاكۇئۇم چۆكمىسىدىكى يۇقىرى قايتۇرۇشچان ۋە تۆۋەن قايتۇرۇشچان قاپلاملارنىڭ ئۈسكۈنىلىرىدىكى پەرقلەر

ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىدا،يۇقىرى نۇر قايتۇرۇش (HR) ۋە تۆۋەن نۇر قايتۇرۇش (AR) نېپىز پەردىلەر ئۈسكۈنىلەرنى لايىھىلەش، جەرياننى كونترول قىلىش ۋە چۆكمە ئىستراتېگىيىسىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان ئالاھىدە خىرىسلار ۋە تەلەپلەرنى ئوتتۇرىغا قويدى. ھەر ئىككى خىل قاپلاش تۈرى پىلاستىنكا قېلىنلىقى، ستېخىئومېتىرىيە ۋە سىنىش كۆرسەتكۈچىنى ئېنىق كونترول قىلىشقا تايىنىدۇ، ئەمما ئۇلارنىڭ ئوپتىكىلىق فۇنكسىيەسى پلازما خۇسۇسىيىتى، چۆكمە بىردەكلىكى ۋە ئورنىدا كۆزىتىش سىستېمىسىغا ئوخشىمايدىغان تەلەپلەرنى قويىدۇ.

يۇقىرى نۇر قايتۇرۇشچان قاپلاملار ئادەتتە يۇقىرى ۋە تۆۋەن سىنىش كۆرسەتكۈچى دىئېلېكترىك قەۋەتلەرنىڭ ئالمىشىپ تۇرىدىغان نۇسخىسىدىن ياكى مېتال پەردىلەردىن تەركىب تاپىدۇ، بۇ قەۋەتلەر مەلۇم دولقۇن ئۇزۇنلۇقى دائىرىسىدە نۇر قايتۇرۇشچانلىقىنى ئەڭ چوڭ چەككە يەتكۈزۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن. ئارزۇ قىلىنغان نۇر قايتۇرۇشچانلىقىغا يېتىش ئۈچۈن قەۋەت قېلىنلىقىنى نانومېتىر تەرتىپىدە ئېنىق كونترول قىلىش ۋە پۈتۈن قەۋەتتىكى نۇر قايتۇرۇش كۆرسەتكۈچىنىڭ مۇقىم بولۇشى تەلەپ قىلىنىدۇ. شۇڭلاشقا، HR قاپلاملىرىغا ئىشلىتىلىدىغان ئۈسكۈنىلەر ئالاھىدە پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى كونترول قىلىش، بىردەك پلازما تەقسىملىنىشى ۋە يۇقىرى نىشان ئىشلىتىش ئۈنۈمى بىلەن تەمىنلىشى كېرەك. كۆپ نىشانلىق ماگنىترون پۈركۈش سىستېمىسى ياكى ئېلېكترون نۇرى PVD لىنىيىسى كۆپىنچە ئىشلىتىلىدۇ، ئۇلار زىچ، تۆۋەن تۆشۈكلۈك قەۋەتلەرنى ئەڭ ئاز سۈمۈرۈش بىلەن چۆكتۈرەلەيدۇ. يۇقىرى قۇۋۋەت زىچلىقى ۋە مۇقىم چۆكۈش سۈرئىتى نۇر قايتۇرۇشچانلىقىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان نۇقسانلار، بېسىم توپلىنىشى ياكى مىكرو يېرىلىشلارنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم. بۇنىڭدىن باشقا، كۆپ قېتىملىق چۆكۈش دەۋرىيلىكىدە قەۋەتنى ئېنىق كونترول قىلىش ئۈچۈن ئوپتىكىلىق كۆزىتىش ياكى كۋارتس كرىستال مىكرو تەڭپۇڭلۇقى (QCM) قاتارلىق ئىلغار ئورۇندىكى كۆزىتىش تېخنىكىلىرى بىرلەشتۈرۈلگەن.

بۇنىڭغا سېلىشتۇرغاندا، تۆۋەن چىرىشچان ياكى چىرىشقا قارشى سىرلار كونترول قىلىنىدىغان بۇزغۇنچىلىق ئارىلىشىشى ئارقىلىق چىرىشچانلىقنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈشنى مەقسەت قىلىدۇ. AR سىرلىرى كۆپىنچە ئىنتايىن سىلىق يۈزلەر، دەرىجە بويىچە سۇنۇش كۆرسەتكۈچى ۋە ئەڭ ئاز چېچىلىش مەركىزىنى تەلەپ قىلىدۇ. AR سىرلىرى ئۈچۈن ئۈسكۈنىلەر يۈزنىڭ سىلىقلىقى ۋە بىردەك چىرىش كۆرسەتكۈچىنى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن ئاساسىي قاتلامنىڭ ئايلىنىشى، بىردەك گاز تەقسىملىنىشى ۋە تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك چۆكۈشنى تەكىتلەيدۇ. رېئاكتىپ چىرىش ياكى ئىئون ياردەملىك چۆكۈش ستېخىئومېتىرىيەنى ئەلالاشتۇرۇش ۋە قالدۇق بېسىمنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈش ئۈچۈن ئىشلىتىلىشى مۇمكىن. كامېرا بۇلغىنىشى ۋە قالدۇق گاز سەۋىيەسى قاتتىق كونترول قىلىنىدۇ، چۈنكى ئوكسىگېن، نەملىك ياكى كاربون سۇ بىرىكمىلىرىنىڭ ئازراق قوشۇلۇشىمۇ ئوپتىكىلىق سۈمۈرۈش ياكى چېچىلىشنى ئاشۇرۇپ، سىرنىڭ چىرىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

HR ۋە AR قاپلىمىلىرى ئوتتۇرىسىدىكى ئۈسكۈنە لايىھىسىدىكى ئاساسلىق پەرق چۆكمە ئېنېرگىيەسى، پلازما بىردەكلىكى ۋە جەرياننى كونترول قىلىش ئېنىقلىقى ئوتتۇرىسىدىكى تەڭپۇڭلۇقتا. HR قاپلىمى سىستېمىلىرى ئەڭ يۇقىرى قايتۇرۇش ئۈنۈمىگە ئېرىشىش ئۈچۈن يۇقىرى زىچلىقتىكى، يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك چۆكمە قىلىشنى ئېنىق قەۋەت قېلىنلىقىنى نازارەت قىلىش ئارقىلىق ئالدىنقى ئورۇنغا قويىدۇ، AR قاپلىمى سىستېمىلىرى بولسا يۈزەكى سىلىقلىقنى ساقلاش ۋە ئەڭ ئاز چېچىلىشنى ساقلاش ئۈچۈن تۆۋەن زىيانلىق، يۇقىرى دەرىجىدە بىردەك چۆكمە قىلىشنى ئالدىنقى ئورۇنغا قويىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، يۈك سىغىمى، ئاساسىي قاتلامنى بىر تەرەپ قىلىش ۋە ئىسسىقلىق باشقۇرۇش ھەر بىر قاپلام تىپىغا ماسلاشتۇرۇلۇشى كېرەك؛ يۇقىرى قايتۇرۇشچان كۆپ قەۋەتلىك قاتلىمىلار تېخىمۇ كۆپ يىغىلغان ئىسسىقلىق يۈكىنى پەيدا قىلىدۇ، بۇ ئاكتىپ سوۋۇتۇش ۋە بېسىمنى باشقۇرۇشنى تەلەپ قىلىدۇ، AR قاپلىمىلىرى بولسا ئىنتايىن پاكىز مۇھىت ۋە ئېنىق ئىئون ئېنېرگىيەسىنى كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

خۇلاسە قىلىپ ئېيتقاندا، يۇقىرى نۇر قايتۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە ۋە تۆۋەن نۇر قايتۇرۇش ئىقتىدارىغا ئىگە قاپلاملارنىڭ ھەر ئىككىسى ئورتاق ۋاكۇئۇم چۆكمە ئاساسىغا ئىگە بولسىمۇ، ئۇلارنىڭ ئوپتىكىلىق فۇنكسىيەسى ئالاھىدە ئۈسكۈنىلەرنىڭ سەپلىمىسى، جەرياننى كونترول قىلىش ئىستراتېگىيىسى ۋە نازارەت قىلىش سىستېمىلىرىنى بەلگىلەيدۇ. بۇ پەرقلەرنى چۈشىنىش، ئوپتىكىلىق ئەينەك، لىنزا، فوتون ئۈسكۈنىلىرى ۋە كۆرسىتىش تېخنىكىسى قاتارلىق تەلەپچان قوللىنىشچان ساھەلەردە نېپىز پەردىلەرنىڭ لايىھەلەنگەن ئوپتىكىلىق ئىقتىدارى، قايتا ئىشلەپچىقىرىشچانلىقى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىقىغا ئېرىشىش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.

-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىجېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى