Na teknụzụ mkpuchi uzuzu,ihe nkiri dị gịrịgịrị nke na-egosipụta ike (HR) na nke na-egosipụta ike (AR) na-eweta ihe ịma aka na ihe achọrọ dị iche iche nke na-emetụta kpọmkwem nhazi akụrụngwa, njikwa usoro, na atụmatụ itinye ihe. Ọ bụ ezie na ụdị mkpuchi abụọ a dabere na njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri, stoichiometry, na ntụaka refractive, ọrụ anya ha na-etinye ihe dị iche iche na njirimara plasma, otu esi etinye ihe, na sistemụ nlekota n'ime ebe.
A na-ejikarị akwa mkpuchi dị elu na nke dị ala nke na-agbanwe agbanwe, ma ọ bụ ihe nkiri ígwè, nke e mere iji mee ka ntụgharị uche dịkwuo elu karịa oke ogologo ebili mmiri kpọmkwem. Imezu ntụgharị uche achọrọ chọrọ njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ oyi akwa na usoro nke nanometers na ntinye ntụgharị uche na-agbanwe agbanwe n'ofe ikpo ahụ. N'ihi ya, akụrụngwa eji maka mkpuchi HR ga-enye njikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri pụrụ iche, nkesa plasma otu, na arụmọrụ ojiji dị elu. A na-ejikarị sistemụ magnetron sputtering ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ ma ọ bụ ahịrị PVD nke elektrọn eme ihe, nke nwere ike itinye akwa dị oke, nke dị ala na obere nnabata. Njupụta ike dị elu na ọnụego nkwụnye ego kwụsiri ike dị oke mkpa iji zere ntụpọ, mkpokọta nrụgide, ma ọ bụ obere mgbawa nke ga-emebi ntụgharị uche. Na mgbakwunye, a na-ejikọta usoro nlekota dị elu n'ime ebe, dị ka nlekota anya ma ọ bụ quartz kristal microbalance (QCM), iji nọgide na-enwe njikwa oyi akwa ziri ezi na usoro ntinye ọtụtụ.
N'ụzọ dị iche, mkpuchi obere-reflective ma ọ bụ mgbochi-reflection na-achọ ibelata reflective site na nnyonye anya mbibi a na-achịkwa. Mkpuchi AR na-achọkarị elu dị nro nke ukwuu, ihe nrịbama refractive a na-enye ọkwa, na obere ebe mgbasa ozi. Ngwa maka mkpuchi AR na-emesi ike ntụgharị substrate, nkesa gas otu, na obere-ike nchekwa iji hụ na elu dị ire ụtọ na ihe nrịbama refractive otu. Enwere ike iji sputtering reactive ma ọ bụ ihe nkwụnye ion enyere aka iji melite stoichiometry ma belata nrụgide fọdụrụ. Mmetọ ụlọ na ọkwa gas fọdụrụnụ na-achịkwa nke ọma, ebe ọ bụ na obere ntinye nke oxygen, mmiri, ma ọ bụ hydrocarbons nwere ike ime ka nnabata anya ma ọ bụ mgbasa ozi dịkwuo elu, na-ebelata arụmọrụ mgbochi-reflective nke mkpuchi ahụ.
Ihe dị iche na nhazi akụrụngwa dị n'etiti mkpuchi HR na AR dị na nguzozi dị n'etiti ike itinye ihe, otu plasma, na nhazi njikwa usoro. Sistemụ mkpuchi HR na-ebute oke njupụta, oke ike itinye ihe na-eme ka ihe dị n'ime ya pụta ìhè nke ọma, yana nlekota ọkpụrụkpụ oyi akwa ziri ezi iji nweta oke nchapụta, ebe sistemụ mkpuchi AR na-ebute obere mmebi, oke nha nha ihe na-eme ka ihe dị n'ime ya dị ọcha iji nọgide na-adị ire ụtọ n'elu na obere mgbasa. Ọzọkwa, ikike ibu, njikwa ihe ndị dị n'ime ya, na njikwa okpomọkụ ga-abụrịrị nke ahaziri maka ụdị mkpuchi ọ bụla; stacks multilayer dị elu na-emepụta ibu okpomọkụ na-agbakọta, na-achọ ka oyi na-arụ ọrụ na njikwa nrụgide, ebe mkpuchi AR chọrọ gburugburu dị ọcha na njikwa ike ion ziri ezi.
Na nchịkọta, ọ bụ ezie na ma mkpuchi nwere oke ìhè na obere ìhè na-ekerịta ntọala nchekwa oghere, ọrụ anya ha na-achịkwa nhazi akụrụngwa pụrụ iche, atụmatụ njikwa usoro, na sistemụ nlekota. Ịghọta ọdịiche ndị a dị oke mkpa maka iru arụmọrụ anya e mere, imepụtagharị, na nkwụsi ike ogologo oge nke ihe nkiri dị gịrịgịrị na ngwa ndị siri ike dị ka enyo anya, lensị anya, ngwaọrụ fotonic, na teknụzụ ngosipụta.
-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaonye nrụpụta akụrụngwa mkpuchi ikukuZhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-13-2026