Eseesega o Meafaigaluega i le va o Ufiufi e Maualuga le Ata ma Ufiufi e Maualalo le Ata i le Fa'aputuga Vacuum

I tekinolosi ufiufi gaogao,ata manifinifi e atagia maualuga (HR) ma ata manifinifi e atagia maualalo (AR) o loʻo i ai ni luʻitau ma ni manaʻoga tulaga ese e aʻafia saʻo ai le mamanuina o masini, le puleaina o le faagasologa, ma fuafuaga o le teuina. E ui o ituaiga uma e lua o ufiufi e faʻalagolago i le puleaina saʻo o le mafiafia o le ata tifaga, stoichiometry, ma le faʻasinomaga o le refractive, ae o a latou galuega faʻapitoa e faʻamalosia ai manaʻoga eseese i uiga o le plasma, tutusa o le teuina, ma faiga e mataʻituina ai i totonu.

O ufiufi e atagia ai le maualuga e masani ona faia i ni vaega dielectric e fesuia'i i le maualuga ma le maualalo o le refractive index, po'o ni ata u'amea, ua mamanuina e fa'ateleina ai le atagia mai i luga o vaega fa'apitoa o le wavelength. O le ausiaina o le atagia mai e mana'omia ai le pulea sa'o o le mafiafia o le vaega i le fa'asologa o nanometers ma le refractive index tutusa i totonu o le fa'aputuga. O le mea lea, o masini e fa'aaogaina mo ufiufi HR e tatau ona tu'uina atu le pulea lelei o le mafiafia o le ata, tufatufaina tutusa o le plasma, ma le lelei tele o le fa'aaogaina o sini. E masani ona fa'aaogaina ni faiga fa'apipi'i magnetron e tele-sini po'o ni laina PVD o le electron beam, e mafai ona teuina ni vaega mafiafia ma maualalo le porosity ma sina mitiia itiiti. O le maualuga o le malosiaga ma le mautu o le fua faatatau o le teuina e taua tele ina ia 'alofia ai fa'aletonu, fa'aputuga o le atuatuvale, po'o le micro-cracking lea e ono fa'aleagaina ai le atagia mai. E le gata i lea, o metotia fa'apitoa i totonu o le nofoaga, e pei o le mata'ituina opitika po'o le quartz crystal microbalance (QCM), ua tu'ufa'atasia e fa'atumauina ai le pulea sa'o o le vaega i luga o le tele o ta'amilosaga o le teuina.

I se faatusatusaga, o ufiufi e maualalo le atagia mai po o ufiufi e tetee i le atagia mai o le malamalama e faʻamoemoe e faʻaitiitia le atagia mai o le malamalama e ala i le faʻalavelave faʻaleagaina e pulea. O ufiufi AR e masani ona manaʻomia ni luga e matua lamolemole, faʻailoga faʻataʻitaʻi faʻatulagaina, ma ni nofoaga faʻasalalau laiti. O meafaigaluega mo ufiufi AR e faʻamamafa ai le faʻataʻamilomilo o le substrate, tufatufaina tutusa o le kesi, ma le faʻaputuina maualalo o le malosi e faʻamautinoa ai le lamolemole o le luga ma le faʻailoga faʻataʻitaʻi tutusa. O le reactive sputtering po o le ion-assisted deposition e mafai ona faʻaaogaina e faʻaleleia atili ai le stoichiometry ma faʻaitiitia ai le mamafa o totoe. O le faʻaleagaina o potu ma le maualuga o le kesi o totoe e matua pulea lelei, aua e oʻo lava i le faʻaopoopoina o le okesene, susu, poʻo hydrocarbons e mafai ona faʻateleina ai le mitiia o le malamalama poʻo le faʻasalalauina, ma faʻaitiitia ai le faʻatinoga o le ufiufi e tetee i le atagia mai.

O le eseesega autū i le mamanuina o masini i le va o ufiufi HR ma AR o loʻo taoto i le paleni i le va o le malosi o le teuina, le tutusa o le plasma, ma le saʻo o le puleaina o le faagasologa. O faiga ufiufi HR e faamuamua le teuina maualuga, maualuga le malosi ma le mataituina saʻo o le mafiafia o vaega ina ia ausia ai le maualuga o le atagia mai, ae o faiga ufiufi AR e faamuamua le teuina maualalo le faaleagaina, maualuga le tutusa ina ia faatumauina le lamolemole o le luga ma le itiiti o le faasalalauina. E le gata i lea, o le gafatia o le avega, le taulimaina o le substrate, ma le puleaina o le vevela e tatau ona faatulagaina mo ituaiga ufiufi taitasi; o faaputuga tele-vaega e atagia mai e maua ai le tele o avega vevela faaopoopo, e manaomia ai le faamaluluina malosi ma le puleaina o le atuatuvale, ae o ufiufi AR e manaomia ai siosiomaga mama tele ma le pulea saʻo o le malosiaga ion.

I se aotelega, e ui lava o ufiufi e maualuga le atagia ma ufiufi e maualalo le atagia e tutusa le faavae o le teuina o le vacuum, o a latou galuega vaaia e faatonutonu ai faatulagaga faapitoa o masini, fuafuaga e pulea ai le faagasologa, ma faiga e mataituina ai. O le malamalama i nei eseesega e taua tele mo le ausiaina o le faatinoga vaaia ua mamanuina, toe gaosia, ma le mautu umi o ata manifinifi i talosaga faigata e pei o faata vaaia, tioata, masini photonic, ma tekinolosi faaaliga.

-O lenei tusiga na lomia egaosi oloa meafaigaluega ufiufi mo le vacuumVacuum a Zhenhua