Kusiyana kwa Zipangizo Pakati pa Zophimba Zowala Kwambiri ndi Zowala Zochepa mu Vacuum Deposition

Mu ukadaulo wopaka vacuum,mafilimu opyapyala owunikira kwambiri (HR) ndi otsika kuwunikira (AR) Pali zovuta zosiyanasiyana ndi zofunikira zomwe zimakhudza mwachindunji kapangidwe ka zida, kuwongolera njira, ndi njira zoyika. Ngakhale mitundu yonse iwiri ya zokutira imadalira kuwongolera kolondola kwa makulidwe a filimu, stoichiometry, ndi refractive index, ntchito zawo zowunikira zimapangitsa kuti pakhale zofunikira zosiyanasiyana pa mawonekedwe a plasma, kufanana kwa malo oyika, ndi machitidwe owunikira mkati.

Zophimba zowunikira kwambiri nthawi zambiri zimapangidwa ndi zigawo za dielectric zosinthika zapamwamba komanso zochepa, kapena mafilimu achitsulo, opangidwa kuti aziwunikira kwambiri pamlingo winawake wa wavelength. Kuti zitheke kuwunikira komwe kukufunika kumafuna kuwongolera bwino makulidwe a zigawo motsatira dongosolo la nanometers ndi chizindikiro chowunikira chokhazikika m'gulu lonselo. Chifukwa chake, zida zomwe zimagwiritsidwa ntchito popangira zophimba za HR ziyenera kupereka kuwongolera kwabwino kwambiri kwa makulidwe a filimu, kugawa kwa plasma kofanana, komanso kugwiritsa ntchito bwino kwambiri. Makina olumikizira ma magnetron ambiri kapena mizere ya PVD ya electron beam nthawi zambiri amagwiritsidwa ntchito, omwe amatha kuyika zigawo zokhuthala, zotsika kwambiri komanso zoyamwa pang'ono. Kuchuluka kwa mphamvu komanso kuchuluka kwa malo okhazikika ndikofunikira kwambiri kuti tipewe zolakwika, kusonkhanitsa nkhawa, kapena kusweka pang'ono komwe kungasokoneze kuwunikira. Kuphatikiza apo, njira zamakono zowunikira mkati, monga kuyang'anira kwa optical kapena quartz crystal microbalance (QCM), zimaphatikizidwa kuti zisunge kuwongolera kolondola kwa zigawo pamayendedwe angapo oyika.

Mosiyana ndi zimenezi, zophimba zowunikira pang'ono kapena zotsutsana ndi kuwala zimayesetsa kuchepetsa kuwala kudzera mu kusokoneza kowononga kolamulidwa. Zophimba za AR nthawi zambiri zimafuna malo osalala kwambiri, zizindikiro zowunikira kuwala, ndi malo ochepa obalalitsira. Zipangizo zophimba za AR zimagogomezera kuzungulira kwa substrate, kugawa kwa mpweya wofanana, ndi kuyika mphamvu zochepa kuti zitsimikizire kuti pamwamba pake pali kusalala komanso chizindikiro chowunikira kuwala chofanana. Kutulutsa mpweya wochita kuyankha kapena kuyika kwa ion-assisted kungagwiritsidwe ntchito kukonza stoichiometry ndikuchepetsa kupsinjika kotsalira. Kuipitsidwa kwa chipinda ndi kuchuluka kwa mpweya wotsalira kumayendetsedwa bwino, chifukwa ngakhale kuyika pang'ono kwa mpweya, chinyezi, kapena ma hydrocarbon kumatha kuwonjezera kuyamwa kapena kufalikira kwa kuwala, kuchepetsa magwiridwe antchito a chophimbacho.

Kusiyana kwakukulu pakupanga zida pakati pa zophimba za HR ndi AR kuli pakati pa mphamvu yoyika, kufanana kwa plasma, ndi kulondola kowongolera njira. Makina ophimba a HR amaika patsogolo kuyika kwamphamvu kwambiri, kokhala ndi kuwunika kolondola kwa makulidwe a zigawo kuti akwaniritse kuwunikira kwakukulu, pomwe makina ophimba a AR amaika patsogolo kuyika kwamphamvu kochepa, kofanana kwambiri kuti asunge kusalala kwa pamwamba ndi kufalikira kochepa. Kuphatikiza apo, mphamvu yonyamula katundu, kusamalira substrate, ndi kuyang'anira kutentha ziyenera kukonzedwa kuti zigwirizane ndi mtundu uliwonse wa zophimba; mikwingwirima yambiri yowunikira kwambiri imapanga mphamvu yochulukirapo yotenthetsera, yomwe imafuna kuziziritsa kogwira ntchito komanso kuyang'anira kupsinjika, pomwe zophimba za AR zimafuna malo oyera kwambiri komanso kuwongolera mphamvu ya ma ion molondola.

Mwachidule, ngakhale kuti zokutira zonse zowunikira kwambiri komanso zosawunikira kwenikweni zimakhala ndi maziko ofanana a vacuum deposition, ntchito zawo zowunikira zimalamulira kasinthidwe ka zida zapadera, njira zowongolera njira, ndi njira zowunikira. Kumvetsetsa kusiyana kumeneku ndikofunikira kuti tikwaniritse magwiridwe antchito a kuwala, kubwerezabwereza, komanso kukhazikika kwa nthawi yayitali kwa mafilimu owonda pakugwiritsa ntchito kofunikira monga magalasi owonera, magalasi, zida zowonera, ndi ukadaulo wowonetsera.

-Nkhaniyi yasindikizidwa ndiwopanga zida zophikira vacuumZhenhua Vacuum