Àwọn Ohun Èlò Wọ́pọ̀ Tí A Lò Nínú Àwọn Ìlànà Ìbòmọ́lẹ̀ Vacuum

1. Àkótán Àwọn Ìlànà Ìbòmọ́lẹ̀ Afẹ́fẹ́

Imọ-ẹrọ ti a bo igbalejẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ ojú ilẹ̀ tí ó dá lórí Ìsọdipúpọ̀ Afẹ́fẹ́ Ti Ara (PVD) tàbí Ìsọdipúpọ̀ Afẹ́fẹ́ Kemikali (CVD). Lábẹ́ àwọn ipò ìfàsẹ́yìn gíga, àwọn ohun èlò ìbòrí líle tàbí gáàsì ni a máa ń yípadà sí àwọn èròjà ọ̀fẹ́ nípasẹ̀ ìgbóná, ìbọn plasma, tàbí àwọn ìṣesí kẹ́míkà, lẹ́yìn náà a máa ń kó wọn sórí ojú ilẹ̀ náà láti ṣẹ̀dá fíìmù tín-tín.

Awọn ilana deede pẹlu:

Ìbòrí ìgbóná (fún àpẹẹrẹ, ìgbóná ìdènà ooru, ìgbóná ìbílẹ̀ elekitironi), Ìfọ́ Magnetron, Ìfọ́ Ion, Ìfipamọ́ Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà (CVD)

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé yíyàn ìlànà yàtọ̀ síra ní ìbámu pẹ̀lú ohun tí a lò, góńgó ìkẹyìn náà dúró ṣinṣin: ṣíṣe àṣeyọrí ìsopọ̀ gíga, ìṣọ̀kan, àti ìdúróṣinṣin fíìmù.

2. Àwọn Ẹ̀ka Àwọn Ohun Èlò Ìbòrí Afẹ́fẹ́ Wọ́pọ̀

Gẹ́gẹ́ bí iṣẹ́ fíìmù àti àwọn ìbéèrè iṣẹ́, àwọn ohun èlò ìbòrí ìgbálẹ̀ ni a pín sí àwọn ẹ̀ka wọ̀nyí:

(1) Àwọn Ohun Èlò Irin

Aluminium (Al): A nlo ni lilo pupọ fun awọn ibora ọṣọ ati awọn fẹlẹfẹlẹ afihan, gẹgẹbi ninu awọn abọ reflector ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn panẹli ọṣọ.

Titanium (Ti): A fi sinu awọn aṣọ lile tabi fun ṣiṣe awọn fiimu ohun ọṣọ buluu ati goolu.

Chromium (Cr): Yiyan PVD pataki si itanna elekitiropu ibile, ti a mọ fun imọlẹ giga ati resistance ipata.

Irin Alagbara (SUS304, SUS316, ati bẹẹ bẹẹ lọ): A lo o fun awọn awọ ti o dabi irin pẹlu resistance ti o pọ si.

Ejò (Cu), Fadaka (Ag), Wúrà (Au): A sábà máa ń lò ó nínú àwọn ìbòrí oníná, ohun ọ̀ṣọ́, àti ohun èlò ìdarí.

(2) Àwọn Ohun Èlò Seramiki àti Oxide

Silicon Dioxide (SiO₂): A máa ń lò ó nínú àwọn ìbòrí tí a fi ń dènà ìtànṣán (AR), àwọn ìpele ìdàgbàsókè ojú, àti àwọn fíìmù ìdábòbò.

Titanium Dioxide (TiO₂): Ohun èlò tí ó ní ìtọ́kasí gíga tí a sábà máa ń lò nínú àwọn ìbòrí ìdènà ojú.

Zirconium Dioxide (ZrO₂): Ó ní ìdúróṣinṣin ooru tó dára àti agbára ìfaradà gíga.

Aluminium Oxide (Al₂O₃): A mọ̀ ọ́n fún líle gíga, a sì máa ń lò ó gẹ́gẹ́ bí àwọ̀ líle tó ń dáàbò bo.

(3) Nitrides àti Carbides

Titanium Nitride (TiN): Ohun èlò ìbora wúrà tí ó wọ́pọ̀ pẹ̀lú líle àti ìdènà ìbàjẹ́ tí ó ga jùlọ.

Chromium Nitride (CrN), Zirconium Nitride (ZrN): A nlo ni lilo pupọ ninu awọn ohun elo ti a fi n bo ati awọn ohun elo ti ko le wọ.

Silikoni Carbide (SiC), Titanium Carbide (TiC): Ó yẹ fún àwọn ohun èlò líle gíga àti àwọn ohun èlò tí ó lè kojú ooru gíga.

3. Àwọn Ìlànà Yíyan Ohun Èlò àti Ìbáramu Ìlànà

Àṣeyọrí ìbòrí náà sinmi lórí ọ̀nà ìtọ́jú àti àwọn ohun èlò tí a yàn. Àwọn kókó pàtàkì tí a gbọ́dọ̀ gbé yẹ̀wò ni:

Ibamu pẹlu substrate: Awọn substrate oriṣiriṣi bii ṣiṣu, irin, ati gilasi nilo awọn ohun-ini ifọmọ fiimu kan pato.

Awọn Ohun elo Iṣẹ́: Yan awọn ohun elo ti a fi bo da lori awọn aini bii resistance oxidation, conductivity, tabi filter opitika.

Ìbámu Ìlànà: Fún àpẹẹrẹ, ìfọ́mọ́ magnetron bá àwọn irin àti oxide mu, nígbàtí ìfọ́mọ́ra bá àwọn ohun èlò tí kò ní yọ́ mu mu.

Fun apẹẹrẹ:

Nínú àwọn ìbòrí ohun ọ̀ṣọ́ tí a fi PVD ṣe fún àwọn ẹ̀yà inú ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, a ń lo Cr, Ti, àti TiN gẹ́gẹ́ bí àwọn àyípadà tí ó bá àyíká mu sí electroplating.

Nínú àwọn ìbòrí opitika tí ó ń dènà ìfàmọ́ra (AR), SiO₂ àti TiO₂ ló para pọ̀ di àpapọ̀ ohun èlò pàtàkì.

Yíyàn Ohun Èlò Ń Pinnu Dídára Fíìmù

Iṣẹ́ fíìmù tí a fi èéfín ṣe kìí ṣe pé ẹ̀rọ àti ìṣàkóso iṣẹ́ nìkan ló ní ipa lórí iṣẹ́ fíìmù náà, ṣùgbọ́n ó tún ní ipa lórí yíyàn ohun èlò náà pẹ̀lú. Yíyan ohun èlò ìbòrí tó tọ́ àti sísopọ̀ mọ́ ọ̀nà ìtọ́jú fíìmù tó yẹ jẹ́ pàtàkì láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ fíìmù tó dára jùlọ.

—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ ẹrọ ti a fi bo igbale olupese Zhenhua Vacuum