1. Sealladh farsaing air Prionnsabalan Còmhdach Falamh
Teicneòlas còmhdach falamhna theicneòlas tasgadh uachdar stèidhichte air Tasgadh Ceò Corporra (PVD) no Tasgadh Ceò Ceimigeach (CVD). Fo chumhachan falamh àrd, bidh stuthan còmhdaich cruaidh no gasach air an tionndadh gu mìrean saor tro theasachadh, bomadh plasma, no ath-bheachdan ceimigeach, agus an uairsin air an tasgadh air uachdar an t-substrate gus film tana a chruthachadh.
Tha pròiseasan àbhaisteach a’ gabhail a-steach:
Còmhdach Falmhachaidh (me, falmhachadh strì an aghaidh teirmeach, falmhachadh beam electron), Sputtering Magnetron, Plating Ion, Tasgadh Ceum Ceimigeach (CVD)
Ged a bhios an taghadh pròiseas ag atharrachadh a rèir an tagraidh, tha an amas deireannach fhathast cunbhalach: a bhith a’ coileanadh greamachadh àrd, cunbhalachd agus seasmhachd film.
2. Roinnean de stuthan còmhdach falamh cumanta
A rèir gnìomh an fhilm agus riatanasan a’ phròiseis, tha stuthan còmhdach falamh air an seòrsachadh sa mhòr-chuid sna roinnean a leanas:
(1) Stuthan Meatailt
Alùmanum (Al): Air a chleachdadh gu farsaing airson còtaichean sgeadachaidh agus sreathan meòrachail, leithid ann am bobhlaichean meòrachail chàraichean agus pannalan sgeadachaidh.
Titanium (Ti): Air a chur an sàs ann an còtaichean cruaidh no airson filmichean sgeadachaidh gorm is òir a dhèanamh.
Chromium (Cr): Roghainn eile PVD cudromach an àite electroplating traidiseanta, ainmeil airson soilleireachd àrd agus strì an aghaidh creimeadh.
Stàilinn gun smal (SUS304, SUS316, msaa.): Air a chleachdadh airson còtaichean coltach ri meatailt le strì an aghaidh caitheamh nas fheàrr.
Copar (Cu), Airgead (Ag), Òr (Au): Air a chleachdadh gu cumanta ann an còtaichean gnìomhach dealanach, sgeadachail, agus giùlain.
(2) Stuthan Ceirmeag is Ogsaid
Dà-ogsaid Shilicon (SiO₂): Air a chur an sàs ann an còtaichean an-aghaidh meòrachadh (AR), sreathan neartachaidh optigeach, agus filmichean inslitheachaidh.
Dà-ogsaid titanium (TiO₂): Stuth le clàr-amais ath-tharraingeach àrd a thathas a’ cleachdadh gu tric ann an còtaichean eadar-theachd optaigeach.
Dà-ogsaid siorconium (ZrO₂): A’ tabhann seasmhachd teirmeach sàr-mhath agus strì an aghaidh caitheamh àrd.
Ocsaid alùmanaim (Al₂O₃): Aithnichte airson cruas àrd, air a chleachdadh gu tric mar chòmhdach cruaidh dìona.
(3) Naitridean agus Cairbidean
Titanium Nitride (TiN): Stuth còmhdach sgeadachaidh òir àbhaisteach le cruas agus strì an aghaidh creimeadh nas fheàrr.
Chromium Nitride (CrN), Zirconium Nitride (ZrN): Air a chleachdadh gu farsaing ann an còmhdach innealan agus ann an tagraidhean a tha an aghaidh caitheamh.
Carbide Silicon (SiC), Carbide Titanium (TiC): Freagarrach airson tagraidhean àrd-chruas agus a tha an aghaidh teòthachd àrd.
3. Slatan-tomhais Taghaidh Stuthan agus Co-chòrdalachd Pròiseas
Tha èifeachdas còmhdach an urra ri dòigh-obrach an tasgaidh agus na stuthan a chaidh a thaghadh. Am measg nam prìomh nithean ri bheachdachadh tha:
Co-chòrdalachd fo-stratan: Feumaidh diofar fho-stratan leithid plastaig, meatailt agus glainne feartan greamachaidh film sònraichte.
Riatanasan Gnìomhach: Tagh stuthan còmhdaich stèidhichte air feumalachdan leithid strì an aghaidh ocsaideachaidh, seoltachd, no sìoladh optigeach.
Freagarrachd Pròiseas: Mar eisimpleir, tha sputtering magnetron nas co-chòrdail ri meatailtean agus ocsaidean, agus tha falmhachadh freagarrach airson stuthan aig a bheil puing leaghaidh ìosal.
Mar eisimpleir:
Ann an còtaichean sgeadachaidh stèidhichte air PVD airson co-phàirtean taobh a-staigh chàraichean, thathas a’ cleachdadh Cr, Ti, agus TiN gu farsaing mar roghainnean eile a tha càirdeil don àrainneachd an àite electroplating.
Ann an còtaichean optaigeach an-aghaidh meòrachadh (AR), is e SiO₂ agus TiO₂ am measgachadh stuthan bunaiteach.
Bidh taghadh stuthan a’ dearbhadh càileachd film
Chan e a-mhàin uidheamachd agus smachd pròiseas a tha a’ toirt buaidh air coileanadh film a tha air a thasgadh ann am falamh, ach cuideachd gu mòr air an taghadh stuthan. Tha taghadh an stuth còmhdaich cheart agus a chur còmhla ris an dòigh-obrach tasgaidh iomchaidh deatamach airson coileanadh as fheàrr a choileanadh.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach falamh neach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 27 Ògmhios 2025