1. Вакуум бүрхүүлийн зарчмуудын тойм
Вакуум бүрэх технологинь физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл химийн уурын хуримтлал (CVD) дээр суурилсан гадаргуугийн тунадасжуулалтын технологи юм. Өндөр вакуум нөхцөлд хатуу эсвэл хийн бүрхүүлийн материалыг халаах, плазмын бөмбөгдөлт эсвэл химийн урвалаар чөлөөт бөөмс болгон хувиргаж, дараа нь суурь гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.
Ердийн үйл явцуудад дараахь зүйлс орно.
Ууршилтын бүрхүүл (жишээ нь, дулааны эсэргүүцлийн ууршилт, электрон цацрагийн ууршилт), Соронзон цацалт, Ионы бүрэлт, Химийн ууршилтын тунадасжилт (CVD)
Үйл явцын сонголт нь хэрэглээнээс хамааран харилцан адилгүй байдаг ч эцсийн зорилго нь тогтвортой хэвээр байна: өндөр наалдац, жигд байдал, хальсны тогтвортой байдлыг хангах.
2. Вакуум бүрэх материалын нийтлэг ангилалууд
Киноны үйл ажиллагаа болон процессын шаардлагын дагуу вакуум бүрэх материалыг голчлон дараах ангилалд ангилдаг.
(1) Металл материал
Хөнгөн цагаан (Al): Автомашины тусгал аяга, гоёл чимэглэлийн хавтан гэх мэт гоёл чимэглэлийн бүрхүүл болон тусгал давхаргад өргөн хэрэглэгддэг.
Титан (Ti): Хатуу бүрхүүлд эсвэл цэнхэр, алтан чимэглэлийн хальс үйлдвэрлэхэд хэрэглэнэ.
Хром (Cr): Уламжлалт электролизийн гол хувилбар болох PVD нь өндөр гэрэлтэлт болон зэврэлтэнд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай.
Зэвэрдэггүй ган (SUS304, SUS316 гэх мэт): Элэгдэлд тэсвэртэй чанар сайтай металл хэлбэртэй бүрхүүлд ашигладаг.
Зэс (Cu), Мөнгө (Ag), Алт (Au): Электрон, гоёл чимэглэлийн болон дамжуулагч функциональ бүрхүүлд түгээмэл хэрэглэгддэг.
(2) Керамик ба исэлдсэн материалууд
Цахиурын давхар исэл (SiO₂): Гэрэл тусгалгүй (AR) бүрхүүл, оптик сайжруулалтын давхарга, тусгаарлагч хальсанд хэрэглэнэ.
Титаны давхар исэл (TiO₂): Оптик интерференцийн бүрхүүлд байнга ашиглагддаг өндөр хугарлын индекстэй материал.
Цирконийн давхар исэл (ZrO₂): Маш сайн дулааны тогтвортой байдал болон өндөр элэгдэлд тэсвэртэй.
Хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃): Өндөр хатуулагтай гэдгээрээ алдартай бөгөөд ихэвчлэн хамгаалалтын хатуу бүрхүүл болгон ашигладаг.
(3) Нитрид ба карбидууд
Титан нитрид (TiN): Дээд зэргийн хатуулаг, зэврэлтэнд тэсвэртэй ердийн алтан өнгийн гоёл чимэглэлийн бүрээсийн материал.
Хромын нитрид (CrN), Цирконий нитрид (ZrN): Багажны бүрээс болон элэгдэлд тэсвэртэй хэрэглээнд өргөн хэрэглэгддэг.
Цахиурын карбид (SiC), титаны карбид (TiC): Өндөр хатуулагтай, өндөр температурт тэсвэртэй хэрэглээнд тохиромжтой.
3. Материал сонгох шалгуур ба процессын нийцтэй байдал
Бүрхүүлийн үр нөлөө нь тунадасжуулалтын техник болон сонгосон материалаас хамаарна. Анхаарах гол хүчин зүйлүүд нь:
Субстратын нийцтэй байдал: Хуванцар, металл, шил зэрэг өөр өөр субстратууд нь тодорхой хальсан наалдамхай шинж чанартай байхыг шаарддаг.
Функциональ шаардлага: Исэлдэлтэд тэсвэртэй байдал, дамжуулах чанар эсвэл оптик шүүлтүүр зэрэг хэрэгцээнд үндэслэн бүрэх материалыг сонгоно.
Процессын тохиромжтой байдал: Жишээлбэл, магнетрон цацалт нь металл болон исэлтэй илүү нийцтэй байдаг бол ууршилт нь хайлах температур багатай материалд тохиромжтой.
Жишээлбэл:
Автомашины дотор эд ангиудын PVD суурьтай гоёл чимэглэлийн бүрхүүлд Cr, Ti, TiN-ийг электролизийн оронд байгаль орчинд ээлтэй хувилбар болгон өргөн ашигладаг.
Гэрлийн тусгалаас хамгаалах (AR) оптик бүрхүүлд SiO₂ ба TiO₂ нь үндсэн материалын нэгдлийг бүрдүүлдэг.
Материалын сонголт нь киноны чанарыг тодорхойлдог
Вакуумд хадгалсан хальсны гүйцэтгэл нь зөвхөн тоног төхөөрөмж болон үйл явцын хяналтаас гадна материалын сонголтоос ихээхэн хамаардаг. Зөв бүрэх материалыг сонгож, зохих хадгалалтын техниктэй хослуулах нь хальсны оновчтой ажиллагааг хангахын тулд гол түлхүүр юм.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 27