1. Gambaran Keseluruhan Prinsip Salutan Vakum
Teknologi salutan vakumialah teknologi pemendapan permukaan berdasarkan Pemendapan Wap Fizikal (PVD) atau Pemendapan Wap Kimia (CVD). Di bawah keadaan vakum yang tinggi, bahan salutan pepejal atau gas ditukar menjadi zarah bebas melalui pemanasan, pengeboman plasma atau tindak balas kimia, dan seterusnya dimendapkan ke permukaan substrat untuk membentuk filem nipis.
Proses biasa termasuk:
Salutan Penyejatan (cth., penyejatan rintangan haba, penyejatan pancaran elektron), Percikan Magnetron, Penyaduran Ion, Pemendapan Wap Kimia (CVD)
Walaupun pemilihan proses berbeza-beza bergantung pada aplikasi, matlamat utama tetap konsisten: mencapai lekatan, keseragaman dan kestabilan filem yang tinggi.
2. Kategori Bahan Salutan Vakum Biasa
Mengikut fungsi filem dan keperluan proses, bahan salutan vakum terutamanya dikelaskan kepada kategori berikut:
(1) Bahan Logam
Aluminium (Al): Digunakan secara meluas untuk salutan hiasan dan lapisan reflektif, seperti dalam mangkuk reflektor automotif dan panel hiasan.
Titanium (Ti): Digunakan dalam salutan keras atau untuk menghasilkan filem hiasan biru dan emas.
Kromium (Cr): Alternatif PVD utama kepada penyaduran elektrik tradisional, yang dikenali kerana kecerahan tinggi dan rintangan kakisan.
Keluli Tahan Karat (SUS304, SUS316, dll.): Digunakan untuk salutan rupa logam dengan rintangan haus yang dipertingkatkan.
Kuprum (Cu), Perak (Ag), Emas (Au): Biasa digunakan dalam salutan berfungsi elektronik, hiasan dan konduktif.
(2) Bahan Seramik dan Oksida
Silikon Dioksida (SiO₂): Digunakan dalam salutan anti-reflektif (AR), lapisan peningkatan optik dan filem penebat.
Titanium Dioksida (TiO₂): Bahan indeks biasan tinggi yang kerap digunakan dalam salutan gangguan optik.
Zirkonium Dioksida (ZrO₂): Menawarkan kestabilan haba yang sangat baik dan rintangan haus yang tinggi.
Aluminium Oksida (Al₂O₃): Dikenali kerana kekerasan yang tinggi, sering digunakan sebagai salutan keras pelindung.
(3) Nitrida dan Karbida
Titanium Nitrida (TiN): Bahan salutan hiasan keemasan tipikal dengan kekerasan dan rintangan kakisan yang unggul.
Kromium Nitrida (CrN), Zirkonium Nitrida (ZrN): Digunakan secara meluas dalam salutan alat dan aplikasi tahan haus.
Silikon Karbida (SiC), Titanium Karbida (TiC): Sesuai untuk aplikasi kekerasan tinggi dan tahan suhu tinggi.
3. Kriteria Pemilihan Bahan dan Keserasian Proses
Keberkesanan salutan bergantung kepada teknik pemendapan dan bahan yang dipilih. Faktor utama yang perlu dipertimbangkan termasuk:
Keserasian Substrat: Substrat yang berbeza seperti plastik, logam dan kaca memerlukan sifat lekatan filem yang khusus.
Keperluan Fungsian: Pilih bahan salutan berdasarkan keperluan seperti rintangan pengoksidaan, kekonduksian atau penapisan optik.
Kesesuaian Proses: Contohnya, percikan magnetron lebih serasi dengan logam dan oksida, manakala penyejatan sesuai untuk bahan takat lebur rendah.
Contohnya:
Dalam salutan hiasan berasaskan PVD untuk komponen dalaman automotif, Cr, Ti dan TiN digunakan secara meluas sebagai alternatif mesra alam kepada penyaduran elektrik.
Dalam salutan optik anti-pantulan (AR), SiO₂ dan TiO₂ membentuk gabungan bahan asas.
Pemilihan Bahan Menentukan Kualiti Filem
Prestasi filem yang dimendapkan vakum bukan sahaja dipengaruhi oleh peralatan dan kawalan proses tetapi juga dipengaruhi secara kritikal oleh pilihan bahan. Memilih bahan salutan yang betul dan memadankannya dengan teknik pemendapan yang sesuai adalah kunci untuk mencapai fungsi filem yang optimum.
—Artikel ini diterbitkan oleh peralatan salutan vakum pengeluar Vakum Zhenhua
Masa siaran: 27 Jun 2025