ວັດສະດຸທົ່ວໄປທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ

1. ພາບລວມຂອງຫຼັກການເຄືອບສູນຍາກາດ

ເທັກໂນໂລຢີການເຄືອບສູນຍາກາດເປັນເທັກໂນໂລຢີການວາງຊັ້ນໜ້າດິນໂດຍອີງໃສ່ການວາງຊັ້ນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ຫຼື ການວາງຊັ້ນໄອທາງເຄມີ (CVD). ພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດສູງ, ວັດສະດຸເຄືອບແຂງ ຫຼື ອາຍແກັສຈະຖືກປ່ຽນເປັນອະນຸພາກອິດສະຫຼະຜ່ານການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍພລາສມາ, ຫຼື ປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນກໍ່ຖືກວາງໄວ້ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນເພື່ອສ້າງເປັນຟິມບາງໆ.

ຂະບວນການທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ການເຄືອບລະເຫີຍ (ເຊັ່ນ: ການລະເຫີຍຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ການລະເຫີຍຂອງລຳແສງເອເລັກຕຣອນ), ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການຊຸບໄອອອນ, ການຕົກຕະກອນໄອເຄມີ (CVD)

ໃນຂະນະທີ່ການເລືອກຂະບວນການແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ເປົ້າຫມາຍສຸດທ້າຍຍັງຄົງສອດຄ່ອງ: ບັນລຸການຍຶດຕິດສູງ, ຄວາມເປັນເອກະພາບ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຟິມ.

2. ປະເພດຂອງວັດສະດຸເຄືອບສູນຍາກາດທົ່ວໄປ

ອີງຕາມໜ້າທີ່ຂອງຟິມ ແລະ ຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການ, ວັດສະດຸເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຈັດປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

(1) ວັດສະດຸໂລຫະ

ອາລູມີນຽມ (Al): ໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງສຳລັບການເຄືອບຕົກແຕ່ງ ແລະ ຊັ້ນສະທ້ອນແສງ ເຊັ່ນ: ໃນໂຖສະທ້ອນແສງລົດຍົນ ແລະ ແຜງຕົກແຕ່ງ.

ທາດໄທທານຽມ (Ti): ນຳໃຊ້ໃນການເຄືອບແຂງ ຫຼື ສຳລັບການຜະລິດຟິມຕົກແຕ່ງສີຟ້າ ແລະ ສີທອງ.

ໂຄຣມຽມ (Cr): ເປັນທາງເລືອກ PVD ທີ່ສຳຄັນແທນການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າແບບດັ້ງເດີມ, ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນດ້ານຄວາມສະຫວ່າງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.

ເຫຼັກສະແຕນເລດ (SUS304, SUS316, ແລະອື່ນໆ): ໃຊ້ສຳລັບການເຄືອບໂລຫະທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ດີຂຶ້ນ.

ທອງແດງ (Cu), ເງິນ (Ag), ຄຳ (Au): ນິຍົມໃຊ້ໃນການເຄືອບເອເລັກໂຕຣນິກ, ການຕົກແຕ່ງ, ແລະ ການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດຕໍ່ກະແສໄຟຟ້າ.

(2) ວັດສະດຸເຊລາມິກ ແລະ ອົກໄຊດ໌

ຊິລິໂຄນໄດອອກໄຊ (SiO₂): ນຳໃຊ້ໃນການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນ (AR), ຊັ້ນເສີມແສງ, ແລະ ຟິມກັນຄວາມຮ້ອນ.

ໄທທານຽມໄດອອກໄຊ (TiO₂): ວັດສະດຸທີ່ມີດັດຊະນີການຫັກເຫສູງທີ່ມັກໃຊ້ໃນການເຄືອບການລົບກວນທາງແສງ.

ເຊີໂຄນຽມໄດອອກໄຊ (ZrO₂): ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ.

ອາລູມິນຽມອັອກໄຊດ໌ (Al₂O₃): ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີໃນດ້ານຄວາມແຂງສູງ, ມັກໃຊ້ເປັນຊັ້ນເຄືອບແຂງປ້ອງກັນ.

(3) ໄນໄຕຣດ ແລະ ຄາໄບດ໌

ໄທທານຽມໄນໄຕຣດ (TiN): ວັດສະດຸເຄືອບສີທອງທົ່ວໄປທີ່ມີຄວາມແຂງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີກວ່າ.

ໂຄຣມຽມໄນໄຕຣດ (CrN), ເຊີໂຄນຽມໄນໄຕຣດ (ZrN): ນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການເຄືອບເຄື່ອງມື ແລະ ການນຳໃຊ້ທີ່ທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່.

ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC), ໄທທານຽມຄາໄບ (TiC): ເໝາະສົມສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີຄວາມແຂງສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ.

3. ເກນການຄັດເລືອກວັດສະດຸ ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະບວນການ

ປະສິດທິພາບຂອງການເຄືອບແມ່ນຂຶ້ນກັບທັງເຕັກນິກການວາງຊັ້ນ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ເລືອກ. ປັດໄຈຫຼັກທີ່ຄວນພິຈາລະນາລວມມີ:

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງພື້ນຜິວ: ພື້ນຜິວທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ພາດສະຕິກ, ໂລຫະ ແລະ ແກ້ວ ຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄຸນສົມບັດການຍຶດຕິດຂອງຟິມສະເພາະ.

ຄວາມຕ້ອງການດ້ານໜ້າທີ່: ເລືອກວັດສະດຸເຄືອບໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ, ຄວາມນຳໄຟຟ້າ, ຫຼື ການກັ່ນຕອງທາງແສງ.

ຄວາມເໝາະສົມຂອງຂະບວນການ: ຕົວຢ່າງ, ການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນເຂົ້າກັນໄດ້ກັບໂລຫະ ແລະ ອົກໄຊດ໌ຫຼາຍກວ່າ, ໃນຂະນະທີ່ການລະເຫີຍແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບວັດສະດຸທີ່ມີຈຸດລະລາຍຕ່ຳ.

ຕົວຢ່າງ:

ໃນການເຄືອບຕົກແຕ່ງທີ່ອີງໃສ່ PVD ສຳລັບຊິ້ນສ່ວນພາຍໃນລົດຍົນ, Cr, Ti, ແລະ TiN ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນທາງເລືອກທີ່ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມແທນການເຄືອບດ້ວຍໄຟຟ້າ.

ໃນການເຄືອບແສງຕ້ານການສະທ້ອນ (AR), SiO₂ ແລະ TiO₂ ປະກອບເປັນການປະສົມປະສານວັດສະດຸພື້ນຖານ.

ການເລືອກວັດສະດຸກຳນົດຄຸນນະພາບຂອງຟິມ

ປະສິດທິພາບຂອງຟິມທີ່ເຄືອບດ້ວຍສູນຍາກາດບໍ່ພຽງແຕ່ໄດ້ຮັບອິດທິພົນຈາກອຸປະກອນ ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງໄດ້ຮັບອິດທິພົນຈາກການເລືອກວັດສະດຸຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ການເລືອກວັດສະດຸເຄືອບທີ່ຖືກຕ້ອງ ແລະ ການຈັບຄູ່ກັບເຕັກນິກການເຄືອບທີ່ເໝາະສົມແມ່ນກຸນແຈສຳຄັນໃນການບັນລຸໜ້າທີ່ຂອງຟິມທີ່ດີທີ່ສຸດ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua