1. Dulmar Guud oo ku saabsan Mabaadi'da Dahaarka Faakuumka
Tiknoolajiyada dahaarka faakuumkawaa tiknoolajiyad kaydin dusha sare ah oo ku salaysan Dhigista Uumiga Jirka (PVD) ama Dhigista Uumiga Kiimikada (CVD). Xaaladaha faakiyuumka sare, walxaha dahaarka adag ama gaaska leh waxaa loo beddelaa walxo xor ah iyada oo loo marayo kuleyl, duqeyn balaasma ah, ama falgallo kiimiko, ka dibna waxaa lagu shubaa dusha sare ee substrate-ka si loo sameeyo filim khafiif ah.
Hababka caadiga ah waxaa ka mid ah:
Dahaarka uumiga (tusaale ahaan, uumiga iska caabbinta kulaylka, uumiga shucaaca elektarooniga ah), Magnetron Sputtering, Ion Plating, Kiimikada Uumiga Deposition (CVD)
In kasta oo xulashada hab-raacu ay kala duwan tahay iyadoo ku xiran codsiga, yoolka kama dambaysta ah wuxuu weli yahay mid joogto ah: gaarista isku-dhejin sare, isku mid ahaanshaha, iyo xasilloonida filimka.
2. Qaybaha Qalabka Dahaarka Faakuumka ee Caadiga ah
Sida waafaqsan shaqada filimka iyo shuruudaha habka, agabka dahaarka faakuumka waxaa inta badan loo kala saaraa qaybaha soo socda:
(1) Qalabka Birta ah
Aluminium (Al): Si ballaaran ayaa loogu isticmaalaa dahaarka qurxinta iyo lakabyada milicsiga, sida baaquliyada milicsiga baabuurta iyo looxyada qurxinta.
Titanium (Ti): Waxaa lagu dabaqaa dahaarka adag ama sameynta filimada qurxinta buluugga iyo dahabka.
Chromium (Cr): Beddel muhiim ah oo PVD ah oo loogu talagalay electroplating-ka dhaqameed, oo loo yaqaan dhalaal sare iyo iska caabbinta daxalka.
Bir aan miridh lahayn (SUS304, SUS316, iwm.): Waxaa loo isticmaalaa dahaarka u eg birta oo leh iska caabin sare oo xirasho ah.
Naxaas (Cu), Qalin (Ag), Dahab (Au): Waxaa si caadi ah loogu isticmaalaa dahaarka elektaroonigga ah, qurxinta, iyo kan gudbiya shaqada.
(2) Qalabka Dhoobada iyo Oxide
Silicon Dioxide (SiO₂): Waxaa lagu dabaqaa dahaarka ka hortagga milicsiga (AR), lakabka kor u qaadista indhaha, iyo filimada dahaarka leh.
Titanium Dioxide (TiO₂): Waa walax leh tusmada-celceliska sare ee inta badan loo isticmaalo dahaarka faragelinta indhaha.
Zirconium Dioxide (ZrO₂): Waxay bixisaa xasillooni kuleyl oo aad u fiican iyo iska caabin sare oo xirasho.
Aluminium Oxide (Al₂O₃): Waxaa loo yaqaanaa adkeysi sare, badanaana waxaa loo isticmaalaa dahaar adag oo ilaalin ah.
(3) Nitrides iyo Carbides
Titanium Nitride (TiN): Waa walxo dahaadh dahab ah oo caadi ah oo leh adkeysi sare iyo iska caabin daxalka.
Chromium Nitride (CrN), Zirconium Nitride (ZrN): Si ballaaran ayaa loogu isticmaalaa dahaarka qalabka iyo codsiyada u adkaysta xirashada.
Silicon Carbide (SiC), Titanium Carbide (TiC): Ku habboon codsiyada adkeysiga sare iyo kuwa heerkulka sare u adkaysta.
3. Shuruudaha Xulashada Agabka iyo Iswaafajinta Habka
Waxtarka dahaarka wuxuu ku xiran yahay farsamada dhigista iyo agabka la xushay labadaba. Qodobbada muhiimka ah ee la tixgelinayo waxaa ka mid ah:
Iswaafajinta Substrate-ka: Substrate-yada kala duwan sida balaastikada, birta, iyo galaaska waxay u baahan yihiin sifooyin gaar ah oo ku dheggan filimka.
Shuruudaha Shaqada: Dooro agabka dahaarka iyadoo lagu saleynayo baahiyaha sida iska caabbinta oksaydhka, socodka hawada, ama shaandhaynta indhaha.
Hab-raaca Ku Habboon: Tusaale ahaan, magnetron sputtering wuxuu si fiican ula jaanqaadi karaa biraha iyo oksaydhyada, halka uumi-baxa uu ku habboon yahay walxaha dhaldhalaalka hooseeya.
Tusaale ahaan:
Dahaarka qurxinta ee ku salaysan PVD ee qaybaha gudaha ee baabuurta, Cr, Ti, iyo TiN waxaa si weyn loogu isticmaalaa beddelaad deegaanka u fiican oo loogu talagalay koronto-dhalinta.
Dahaarka indhaha ee ka hortagga milicsiga (AR), SiO₂ iyo TiO₂ waxay sameeyaan isku-darka walxaha aasaasiga ah.
Xulashada Agabka waxay go'aamisaa Tayada Filimka
Waxqabadka filimka faakiyuumka lagu shubo ma aha oo kaliya saameynta qalabka iyo xakamaynta habka laakiin sidoo kale waxaa si weyn u saameeya doorashada agabka. Xulashada agabka dahaarka saxda ah iyo ku-xidhka farsamada dhigista ee ku habboon ayaa fure u ah gaaritaanka shaqada filimka ugu wanaagsan.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Juun-27-2025