Idagba Epitaxial, nigbagbogbo tun tọka si bi epitaxy, jẹ ọkan ninu awọn ilana pataki julọ ni iṣelọpọ awọn ohun elo semikondokito ati awọn ẹrọ. Ohun ti a pe ni idagbasoke epitaxial wa ni awọn ipo kan ni sobusitireti gara kan lori idagba ti Layer ti ilana fiimu ọja kan, idagba ti fiimu kan-orin ni a pe ni imọ-ẹrọ epitaxial Layer epitaxial ni ibẹrẹ awọn ọdun 1960 ni ohun alumọni ẹyọ-orin tinrin fiimu lori ipilẹ ti ifarahan ti idagbasoke ti o fẹrẹ to idaji orundun kan ni bayi, eniyan ti ni anfani lati mọ awọn ipo ti awọn ipele ti awọn orisirisi awọn ipele ti awọn ipele ti awọn ipele ti awọn orisirisi awọn ipele. Imọ-ẹrọ Epitaxial ti yanju ọpọlọpọ awọn iṣoro ni awọn paati ọtọtọ semikondokito ati awọn iyika iṣọpọ, imudarasi iṣẹ ẹrọ naa gaan. Fiimu Epitaxial le ṣakoso ni deede diẹ sii sisanra ati awọn ohun-ini doping, ẹya yii ti yori si idagbasoke iyara ti awọn iyika iṣọpọ semikondokito, sinu ipele pipe diẹ sii. Silicon nikan gara nipasẹ slicing, lilọ, didan ati awọn ilana imuṣiṣẹ miiran, lati gba dì didan, o le ṣe awọn paati ọtọtọ ati awọn iyika iṣọpọ lori rẹ. Sugbon ni ọpọlọpọ awọn igba yi didan dì nikan bi a darí support fun sobusitireti, ninu eyi ti o jẹ pataki lati akọkọ dagba kan Layer ti nikan-kirisita fiimu pẹlu awọn yẹ iru ti ifọnọhan ati resistivity, ati ki o ọtọ irinše tabi ese iyika produced ni a nikan-gara fiimu. Ọna yii ni a lo, fun apẹẹrẹ, ni iṣelọpọ ti ohun alumọni giga-igbohunsafẹfẹ giga-agbara transistors, ipinnu ija laarin foliteji didenukole ati resistance resistance. Olugba ti transistor nilo foliteji didenukole giga, eyiti o pinnu nipasẹ atako ti pn junction ti ohun alumọni wafer. Lati le pade ibeere yii, awọn ohun elo resistance giga nilo. Eniyan ninu awọn darale doped n-Iru kekere-resistance ohun elo lori epitaxial orisirisi si kan mejila microns nipọn sere doped ga-resistance n-Iru Layer, transistor gbóògì ni epitaxial Layer, eyi ti o solves awọn ga didenukole foliteji ti a beere nipa awọn ga resistivity ati kekere-odè jara resistance ti a beere nipa awọn kekere sobusitireti resistivity ti ilodi laarin.
Idagba epitaxial gaasi-fase jẹ ohun elo akọkọ ni aaye semikondokito ti imọ-ẹrọ idagbasoke epitaxial ti o dagba diẹ sii, eyiti o ṣe ipa pataki ninu idagbasoke ti imọ-jinlẹ semikondokito, ṣe idasi pupọ si didara awọn ohun elo semikondokito ati awọn ẹrọ ati ilọsiwaju iṣẹ wọn. Ni bayi, igbaradi ti semikondokito nikan fiimu epitaxial crystal jẹ ọna ti o ṣe pataki julọ ti ifisilẹ eeru kemikali. Ohun ti a npe ni ifasilẹ orule kemikali, eyini ni, lilo awọn nkan gaseous lori aaye ti o lagbara ti iṣeduro kemikali, ilana ti ipilẹṣẹ awọn ohun idogo ti o lagbara. Imọ-ẹrọ CVD le dagba awọn fiimu ti o ni ẹyọkan-giga, lati gba iru doping ti a beere ati sisanra epitaxial, rọrun lati mọ iṣelọpọ ibi-pupọ, ati nitorinaa ti lo pupọ ni ile-iṣẹ. Ni ile-iṣẹ, wafer epitaxial ti a pese sile nipasẹ CVD nigbagbogbo ni ọkan tabi diẹ sii awọn ipele ti a sin, eyiti o le ṣee lo lati ṣakoso ọna ẹrọ ati pinpin doping nipasẹ itankale tabi ion gbin; awọn ohun-ini ti ara ti CVD epitaxial Layer yatọ si awọn ohun elo olopobobo, ati atẹgun ati akoonu erogba ti Layer epitaxial jẹ kekere pupọ, eyiti o jẹ anfani rẹ. Sibẹsibẹ, CVD epitaxial Layer jẹ rọrun lati ṣe agbekalẹ ara-doping, ni awọn ohun elo ti o wulo nilo lati ṣe awọn igbese kan lati dinku ipele epitaxial ti ara-doping, imọ-ẹrọ CVD tun wa ni diẹ ninu awọn aaye ti ilana ilana imudara, nilo lati ṣe diẹ sii ni ijinle iwadi, ki o tẹsiwaju lati gba idagbasoke ti imọ-ẹrọ CVD.
Ilana idagbasoke CVD jẹ eka pupọ, ninu iṣesi kemikali nigbagbogbo pẹlu ọpọlọpọ awọn paati ati awọn nkan, o le ṣe agbejade nọmba awọn ọja agbedemeji, ati pe ọpọlọpọ awọn oniyipada ominira wa, bii iwọn otutu, titẹ, oṣuwọn sisan gaasi, ati bẹbẹ lọ, ilana epitaxial ni nọmba ti ẹhin ati siwaju ni itẹlera, ara wọn lati dagbasoke ati ilọsiwaju. Ilana epitaxial ni ọpọlọpọ awọn ti o tẹle, ti n pọ si ati pipe awọn igbesẹ. Lati ṣe itupalẹ ilana ati ilana ti idagbasoke epitaxial CVD, ni akọkọ, lati ṣalaye solubility ti awọn nkan ifaseyin ni ipele gaasi, iwọntunwọnsi titẹ apakan ti awọn gaasi pupọ, ko o kainetic ati awọn ilana thermodynamic; lẹhinna lati ni oye awọn gaasi ifaseyin lati ipele gaasi si oju ti gbigbe gbigbe sobusitireti, dida Layer ala ti sisan gaasi ati dada ti sobusitireti, idagba ti arin, ati ihuwasi dada, itankale ati ijira, ati nitorinaa nikẹhin ṣe ipilẹṣẹ fiimu ti o fẹ. Ninu ilana idagbasoke ti CVD, idagbasoke ati ilọsiwaju ti riakito ṣe ipa pataki, eyiti o pinnu ni pataki didara ti Layer epitaxial. Imọ-ara ti oju-ara ti Layer epitaxial, awọn abawọn lattice, pinpin ati iṣakoso ti awọn aimọ, sisanra ati iṣọkan ti Layer epitaxial taara ni ipa lori iṣẹ ẹrọ ati ikore.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: May-04-2024