የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ

ኤፒታክሲያል እድገት፣ ብዙውን ጊዜ ኤፒታክሲካል ተብሎም የሚጠራው፣ የሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶችን እና መሳሪያዎችን በማምረት ረገድ በጣም አስፈላጊ ከሆኑ ሂደቶች አንዱ ነው። ኤፒታክሲያል እድገት የሚባለው በተወሰኑ ሁኔታዎች ውስጥ በአንድ ክሪስታል ንጣፍ ውስጥ በአንድ የምርት ፊልም ሂደት ንብርብር እድገት ላይ ነው፣ የነጠላ-ክሪስታል ፊልም እድገት ኤፒታክሲያል ንብርብር ኤፒታክሲያል ቴክኖሎጂ አሁን ወደ ግማሽ ምዕተ ዓመት ገደማ እድገት ላይ በመመስረት በሲሊኮን ነጠላ-ክሪስታል ቀጭን ፊልም ጥናት ውስጥ በ1960ዎቹ መጀመሪያ ላይ ነው። ሰዎች በተወሰኑ የኤፒታክሲያል እድገት ሁኔታዎች ውስጥ የተለያዩ ሴሚኮንዳክተር ፊልሞችን እውን ማድረግ ችለዋል። ኤፒታክሲያል ቴክኖሎጂ በሴሚኮንዳክተር ዲስከቨር ክፍሎች እና በተቀናጁ ወረዳዎች ውስጥ ብዙ ችግሮችን ፈትቷል፣ የመሳሪያውን አፈጻጸም በእጅጉ ያሻሽላል። ኤፒታክሲያል ፊልም ውፍረቱን እና የዶፒንግ ባህሪያቱን በበለጠ በትክክል መቆጣጠር ይችላል፣ ይህ ባህሪ የሴሚኮንዳክተር የተቀናጁ ወረዳዎችን ፈጣን እድገት ወደ ይበልጥ ፍጹም ደረጃ አድርሷል። ሲሊኮን ነጠላ ክሪስታል በመቁረጥ፣ በመፍጨት፣ በማጥራት እና በሌሎች የማቀነባበሪያ ቴክኒኮች፣ የተወለወለ ሉህ ለማግኘት፣ በላዩ ላይ የተከፋፈሉ ክፍሎችን እና የተቀናጁ ወረዳዎችን መስራት ይችላሉ። ነገር ግን በብዙ አጋጣሚዎች ይህ የተወለወለ ሉህ ለንጥረ-ነገር ሜካኒካል ድጋፍ ብቻ ነው፣ በዚህ ውስጥ መጀመሪያ ተገቢውን የኮንክሪት እና የመቋቋም አይነት ያለው ነጠላ-ክሪስታል ፊልም ንብርብር ማሳደግ አስፈላጊ ሲሆን ከዚያም በነጠላ-ክሪስታል ፊልም ውስጥ የሚፈጠሩ የተከፋፈሉ ክፍሎች ወይም የተቀናጁ ወረዳዎች። ይህ ዘዴ ለምሳሌ በሲሊኮን ከፍተኛ-ድግግሞሽ ከፍተኛ-ኃይል ትራንዚስተሮች ምርት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል፣ ይህም በመበላሸት ቮልቴጅ እና በተከታታይ መቋቋም መካከል ያለውን ግጭት ይፈታል። የትራንዚስተሩ ሰብሳቢ ከፍተኛ የብልሽት ቮልቴጅ ይፈልጋል፣ ይህም የሚወሰነው በሲሊኮን ዋፈር የ pn መጋጠሚያ ተቃውሞ ነው። ይህንን መስፈርት ለማሟላት ከፍተኛ የመቋቋም ቁሳቁሶች ያስፈልጋሉ። በኤፒታክሲያል ላይ በብዙ እስከ አስራ ሁለት ማይክሮን ውፍረት ባለው ቀላል መጠን ያለው ከፍተኛ የመቋቋም n-አይነት ንብርብር ላይ በከፍተኛ መጠን የተለከፉ n-አይነት ዝቅተኛ የመቋቋም ቁሳቁሶች ውስጥ ያሉ ሰዎች፣ በኤፒታክሲያል ንብርብር ውስጥ ትራንዚስተር ምርት፣ ይህም በከፍተኛ የመቋቋም እና ዝቅተኛ የመሰብሰቢያ ተከታታይ መቋቋም የሚያስፈልገውን ከፍተኛ የመበላሸት ቮልቴጅ ይፈታል።

የጋዝ-ደረጃ ኤፒታክሲያል እድገት በሴሚኮንዳክተር መስክ ውስጥ በበሰለ የኤፒታክሲያል እድገት ቴክኖሎጂ ውስጥ የመጀመሪያው አተገባበር ሲሆን ይህም በሴሚኮንዳክተር ሳይንስ እድገት ውስጥ ትልቅ ሚና የሚጫወት ሲሆን ይህም ለሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች እና መሳሪያዎች ጥራት እና ለአፈፃፀም ማሻሻያቸው ከፍተኛ አስተዋጽኦ ያደርጋል። በአሁኑ ጊዜ የሴሚኮንዳክተር ነጠላ ክሪስታል ኤፒታክሲያል ፊልም ዝግጅት የኬሚካል ትነት ክምችት በጣም አስፈላጊው ዘዴ ነው። የኬሚካል ትነት ክምችት ተብሎ የሚጠራው፣ ማለትም በኬሚካላዊ ምላሽ ጠንካራ ወለል ላይ የጋዝ ንጥረ ነገሮችን መጠቀም፣ ጠንካራ ክምችቶችን የማመንጨት ሂደት። የሲቪዲ ቴክኖሎጂ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ነጠላ-ክሪስታል ፊልሞችን ማሳደግ ይችላል፣ አስፈላጊውን የዶፒንግ አይነት እና የኤፒታክሲያል ውፍረት ለማግኘት፣ የጅምላ ምርትን በቀላሉ ለማሳካት፣ እና ስለዚህ በኢንዱስትሪ ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ውሏል። በኢንዱስትሪ ውስጥ፣ በሲቪዲ የተዘጋጀው ኤፒታክሲያል ዋፈር ብዙውን ጊዜ አንድ ወይም ከዚያ በላይ የተቀበሩ ንብርብሮች አሉት፣ ይህም የመሳሪያውን መዋቅር እና የዶፒንግ ስርጭትን በስርጭት ወይም በአዮን ተከላ ለመቆጣጠር ሊያገለግል ይችላል፤ የሲቪዲ ኤፒታክሲያል ንብርብር አካላዊ ባህሪያት ከጅምላ ቁሳቁስ የተለዩ ናቸው፣ እና የኤፒታክሲያል ንብርብር የኦክስጅን እና የካርቦን ይዘት በአጠቃላይ በጣም ዝቅተኛ ነው፣ ይህም ጥቅሙ ነው። ይሁን እንጂ የሲቪዲ ኤፒታክሲያል ንብርብር ራስን ማከም ቀላል ነው፣ በተግባራዊ አፕሊኬሽኖች ውስጥ የራስ-ዶፒንግ ኤፒታክሲያል ንብርብርን ለመቀነስ የተወሰኑ እርምጃዎችን መውሰድ ያስፈልጋል፣ የሲቪዲ ቴክኖሎጂ አሁንም በአንዳንድ ተጨባጭ የሂደት ሁኔታዎች ውስጥ ነው፣ የበለጠ ጥልቅ ምርምር ማድረግ ያስፈልገዋል፣ ስለዚህ የሲቪዲ ቴክኖሎጂን ማዳበሩን ይቀጥላል።

የሲቪዲ የእድገት ዘዴ በጣም ውስብስብ ነው፣ በኬሚካላዊ ግብረመልስ ውስጥ ብዙውን ጊዜ የተለያዩ ክፍሎችን እና ንጥረ ነገሮችን ያካትታል፣ በርካታ መካከለኛ ምርቶችን ማምረት ይችላል፣ እና እንደ የሙቀት መጠን፣ ግፊት፣ የጋዝ ፍሰት መጠን፣ ወዘተ ያሉ ብዙ ገለልተኛ ተለዋዋጮች አሉ፣ የኤፒታክሲያል ሂደት በተከታታይ በርካታ ወደኋላ እና ወደ ፊት አለው፣ እርስ በእርስ ለማዳበር እና ለማሻሻል። የኤፒታክሲያል ሂደቱ ብዙ ተከታታይ፣ እርስ በእርስ የሚሰፋ እና ፍጹም ደረጃዎች አሉት። የሲቪዲ ኤፒታክሲያል እድገትን ሂደት እና ዘዴ ለመተንተን፣ በመጀመሪያ ደረጃ፣ በጋዝ ደረጃ ውስጥ ያሉ ምላሽ ሰጪ ንጥረ ነገሮችን የመሟሟት አቅም፣ የተለያዩ ጋዞችን ከፊል ግፊት ሚዛን፣ ግልጽ የኪነቲክ እና የቴርሞዳይናሚክ ሂደቶችን ግልጽ ለማድረግ፤ ከዚያም ከጋዝ ደረጃ እስከ የንዑስ ክፍል የጅምላ ትራንስፖርት ወለል ድረስ ምላሽ ሰጪ ጋዞችን ለመረዳት፣ የጋዝ ፍሰት የድንበር ንብርብር እና የንዑስ ክፍል ወለል መፈጠር፣ የኒውክሊየስ እድገት፣ እንዲሁም የገጽታ ምላሽ፣ ስርጭት እና ፍልሰትን ለመረዳት እና በመጨረሻም የተፈለገውን ፊልም ያመነጫል። በሲቪዲ የእድገት ሂደት ውስጥ የሬአክተሩ እድገት እና እድገት ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ፣ ይህም የኤፒታክሲያል ንብርብር ጥራት በአብዛኛው ይወስናል። የኤፒታክሲያል ንብርብር ወለል ሞርፎሎጂ፣ የላቲስ ጉድለቶች፣ የቆሻሻ ስርጭት እና ቁጥጥር፣ የኤፒታክሲያል ንብርብር ውፍረት እና ወጥነት በቀጥታ የመሳሪያውን አፈፃፀም እና ምርት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ