Hoʻokahe ʻana o ka mahu kemika

ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial, i kapa pinepine ʻia ʻo epitaxy, ʻo ia kekahi o nā kaʻina hana koʻikoʻi loa i ka hana ʻana o nā mea semiconductor a me nā mea hana. ʻO ka mea i kapa ʻia ʻo ka ulu ʻana o ka epitaxial ma kekahi mau kūlana i loko o ka substrate kristal hoʻokahi ma ka ulu ʻana o kahi papa o ke kaʻina hana kiʻiʻoniʻoni huahana hoʻokahi, ʻo ka ulu ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni kristal hoʻokahi i kapa ʻia ʻo ka ʻenehana epitaxial papa epitaxial i ka hoʻomaka ʻana o nā makahiki 1960 i ka noiʻi kiʻiʻoniʻoni lahilahi kristal hoʻokahi silicon ma ke kumu o ka puka ʻana o ka hoʻomohala ʻana o kahi kokoke i ka hapalua kenekulia i kēia manawa, ua hiki i ka poʻe ke hoʻomaopopo i nā ʻano kiʻiʻoniʻoni semiconductor ma lalo o kekahi mau kūlana o ka ulu ʻana o ka epitaxial. Ua hoʻoponopono ka ʻenehana Epitaxial i nā pilikia he nui i nā ʻāpana semiconductor discrete a me nā kaapuni hoʻohui, e hoʻomaikaʻi nui ana i ka hana o ka mea hana. Hiki i ka kiʻiʻoniʻoni Epitaxial ke hoʻomalu pono i kona mānoanoa a me nā waiwai doping, ua alakaʻi kēia hiʻohiʻona i ka hoʻomohala wikiwiki ʻana o nā kaapuni hoʻohui semiconductor, i loko o kahi kahua ʻoi aku ka maikaʻi. ʻO ka kristal hoʻokahi Silicon ma o ka ʻoki ʻana, ka wili ʻana, ka polishing a me nā ʻano hana ʻē aʻe, no ka loaʻa ʻana o ka pepa poli, hiki iā ʻoe ke hana i nā ʻāpana discrete a me nā kaapuni hoʻohui ma luna. Akā i nā manawa he nui, ʻo kēia pepa i hoʻopili ʻia wale nō ma ke ʻano he kākoʻo mechanical no ka substrate, kahi e pono ai e ulu mua i kahi papa o ka kiʻiʻoniʻoni kristal hoʻokahi me ke ʻano kūpono o ka conductivity a me ka resistivity, a laila nā ʻāpana discrete a i ʻole nā ​​​​​​kaapuni i hoʻohui ʻia i hana ʻia i loko o kahi kiʻiʻoniʻoni kristal hoʻokahi. Hoʻohana ʻia kēia ʻano hana, no ka laʻana, i ka hana ʻana o nā transistors mana kiʻekiʻe kiʻekiʻe silicon, e hoʻoponopono ana i ka hakakā ma waena o ka volta breakdown a me ke kū'ē moʻo. Pono ka mea hōʻiliʻili o ka transistor i kahi volta breakdown kiʻekiʻe, i hoʻoholo ʻia e ka resistivity o ka hui pn o ka wafer silicon. I mea e hoʻokō ai i kēia koi, pono nā mea kū'ē kiʻekiʻe. ʻO ka poʻe i loko o nā mea kū'ē haʻahaʻa n-type i hoʻopaʻa nui ʻia ma ka epitaxial he mau a he ʻumikūmālua microns mānoanoa i hoʻopaʻa māmā ʻia i ka papa n-type kiʻekiʻe, ka hana ʻana o ka transistor i loko o ka papa epitaxial, kahi e hoʻoponopono ai i ka volta breakdown kiʻekiʻe e pono ai ka resistivity kiʻekiʻe a me ke kū'ē moʻo hōʻiliʻili haʻahaʻa e pono ai ka resistivity substrate haʻahaʻa o ka kū'ē ma waena.

ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial gas-phase ka hoʻohana mua loa ʻana ma ke kahua semiconductor o kahi ʻenehana ulu epitaxial ʻoi aku ka makua, kahi e hoʻokani nei i kahi kuleana koʻikoʻi i ka hoʻomohala ʻana i ka ʻepekema semiconductor, e hāʻawi nui ana i ka maikaʻi o nā mea semiconductor a me nā mea hana a me kā lākou hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana. I kēia manawa, ʻo ka hoʻomākaukau ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni epitaxial kristal hoʻokahi semiconductor ke ʻano nui loa o ka waiho ʻana o ka mahu kemika. ʻO ka mea i kapa ʻia ʻo ka waiho ʻana o ka mahu kemika, ʻo ia hoʻi, ka hoʻohana ʻana i nā mea kinoea ma luna o ka ʻili paʻa o ka hopena kemika, ke kaʻina hana o ka hana ʻana i nā waihona paʻa. Hiki i ka ʻenehana CVD ke ulu i nā kiʻiʻoniʻoni kristal hoʻokahi kiʻekiʻe, e loaʻa ai ke ʻano doping e pono ai a me ka mānoanoa epitaxial, maʻalahi ke hoʻomaopopo i ka hana nui, a no laila ua hoʻohana nui ʻia i ka ʻoihana. I ka ʻoihana, ʻo ka wafer epitaxial i hoʻomākaukau ʻia e CVD pinepine he hoʻokahi a ʻoi aku paha nā papa i kanu ʻia, hiki ke hoʻohana ʻia e kāohi i ke ʻano o ka mea hana a me ka hoʻolaha doping ma o ka diffusion a i ʻole ka implantation ion; ʻokoʻa nā waiwai kino o ka papa epitaxial CVD mai nā mea nui, a ʻo ka nui o ka oxygen a me ke kalapona o ka papa epitaxial he haʻahaʻa loa ia, ʻo ia kona pono. Eia nō naʻe, maʻalahi ka papa epitaxial CVD e hana i ka doping ponoʻī, i nā noi hana pono e pono ai ke hana i kekahi mau hana e hōʻemi i ka papa epitaxial o ka doping ponoʻī, aia nō ka ʻenehana CVD i kekahi mau ʻano o ke kaʻina hana empirical, pono e hana i ka noiʻi hohonu hou aku, i hoʻomau ʻia ai ka hoʻomohala ʻana o ka ʻenehana CVD.

He paʻakikī loa ke ʻano o ka ulu ʻana o CVD, i loko o ka hopena kemika e komo pinepine ana i nā ʻano mea like ʻole a me nā mea, hiki ke hana i nā huahana waena, a he nui nā loli kūʻokoʻa, e like me ka mahana, ke kaomi, ka nui o ke kahe ʻana o ke kinoea, a pēlā aku, he nui nā hoʻololi kūʻokoʻa o ke kaʻina hana epitaxial, e hoʻomohala a hoʻomaikaʻi kekahi i kekahi. He nui nā ʻanuʻu hoʻomau, hoʻonui a hoʻomaikaʻi like ke kaʻina hana epitaxial. No ka nānā ʻana i ke kaʻina hana a me ke ʻano o ka ulu ʻana o CVD epitaxial, ʻo ka mea mua, e wehewehe i ka solubility o nā mea reactive i loko o ka pae kinoea, ke kaomi hapa kaulike o nā kinoea like ʻole, nā kaʻina hana kinetic a me thermodynamic maopopo; a laila e hoʻomaopopo i nā kinoea reactive mai ka pae kinoea a hiki i ka ʻili o ka substrate mass transport, ka hoʻokumu ʻana o ka papa palena o ke kahe kinoea a me ka ʻili o ka substrate, ka ulu ʻana o ka nucleus, a me ka hopena o ka ʻili, ka hoʻolaha a me ka neʻe ʻana, a pēlā e hana ai i ke kiʻiʻoniʻoni i makemake ʻia. I ke kaʻina hana ulu o CVD, he kuleana koʻikoʻi ka hoʻomohala ʻana a me ka holomua o ka reactor, kahi e hoʻoholo nui ai i ka maikaʻi o ka papa epitaxial. ʻO ke ʻano o ka ʻili o ka papa epitaxial, nā hemahema lattice, ka hoʻolaha ʻana a me ka kaohi ʻana o nā haumia, ka mānoanoa a me ke kūlike o ka papa epitaxial e hoʻopili pololei ana i ka hana a me ka hua o ka hāmeʻa.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua