Ìṣàyẹ̀wò Ìyọkúrò Àwọ̀ nínú Àwọn Ìlànà Ìyọkúrò Ẹ̀rọ Afẹ́fẹ́

Ìparẹ́ ìbòrí, tí a tún mọ̀ sí ìkùnà ìfàsẹ́yìn tàbí fífẹ́, jẹ́ ọ̀ràn dídára pàtàkì kan níawọn ilana gbigbejade igbaleÌṣẹ̀lẹ̀ yìí máa ń ṣẹlẹ̀ nígbà tí fíìmù tí a fi pamọ́ bá ya kúrò lára ​​ohun èlò tí ó wà nínú rẹ̀, tí ó sì ba iṣẹ́ ṣíṣe àti ìdúróṣinṣin ìṣètò jẹ́. Òye pípéye nípa àwọn okùnfà rẹ̀ nílò àyẹ̀wò onípele lórí àwọn ìwọ̀n pàtàkì mẹ́rin.

1. Àìtó ìpèsè ojú ilẹ̀

Agbára ojú ilẹ̀ tí kò tó: Àwọn ohun èlò tí ó ní agbára ojú ilẹ̀ tí kò tó (fún àpẹẹrẹ, PP, PTFE) kò gbà kí omi rọ̀ dáadáa, èyí tí ó ń dènà ìsopọ̀ ojú ilẹ̀ tí ó gbéṣẹ́. Agbára ojú ilẹ̀ tí ó wà lábẹ́ 40 mN/m sábà máa ń mú kí plasma ṣiṣẹ́ tàbí kí ó mú kẹ́míkà jáde.

Wíwà Àìlera: Àwọn ohun tí ó ṣẹ́kù tí a fi ń tú jáde, epo, tàbí ọrinrin tí a fi sínú omi máa ń ṣẹ̀dá àwọn ìpele ààlà tí kò lágbára, tí ó ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí ó lè ba agbára ìdè mọ́ra jẹ́.

Ìrísí ojú ilẹ̀ tí kò dára: Àwọn ojú ilẹ̀ tí ó mọ́ tónítóní kò ní àwọn ibi tí a ti sopọ̀ mọ́ ẹ̀rọ, nígbàtí àwọn ojú ilẹ̀ tí ó le koko jù lè bo ìṣàn ìṣàn tí ó ń jáde kí ó sì ṣẹ̀dá àwọn ojú ibi tí a ti ń sopọ̀ mọ́ra.

2. Àwọn Ọ̀nà Ìkùnà Tó Níí Ṣe Pẹ̀lú Ìlànà

Ìwà àìlágbára tí kò dára: Ìfúnpá ìpìlẹ̀ tí ó ju 5×10⁻⁵ Torr ń jẹ́ kí a fi gaasi tí ó kù sínú ara rẹ̀, èyí tí ó ń yọrí sí àwọn ìsopọ̀ tí ó ti di oxidized àti ìdínkù nínú ìsopọ̀mọ́ra.

Ìtọ́jú Plasma tí kò tó: Ìmúṣiṣẹ́ plasma tí a kò lò tó (ìwọ̀n agbára kékeré/àkókò kúkúrú) kò lè mú àwọn ẹgbẹ́ iṣẹ́ ojú ilẹ̀ tí ó yẹ wá fún ìsopọ̀ kẹ́míkà.

Ìmọ̀-ẹ̀rọ Ìbáṣepọ̀ Tí Kò Tọ́: Àìsí àwọn ìpele àárín tí ń gbé ìfaramọ́ra lárugẹ (fún àpẹẹrẹ, Cr, Ti, tàbí SiOₓ fún àwọn ètò irin-polymer) ń dènà ìyípadà díẹ̀díẹ̀ ti àwọn ohun-ìní ohun-ìní.

3. Àwọn Ìṣòro Ìbáramu Ohun Èlò

Àìbáramu Ìfàsẹ́yìn Ooru: Àwọn ìyàtọ̀ CTE tí ó ju 5 ppm/°C láàrín ìbòrí àti ohun èlò ìṣàlẹ̀ ló máa ń fa àwọn ìṣòro ojú ní àsìkò ìyípo ooru, èyí sì máa ń mú kí ìfàsẹ́yìn tí ó ń fa àárẹ̀ pọ̀ sí i.

Àìbáramu Kẹ́míkà: Àìsí àwọn ọjà ìhùwàpadà ojú (fún àpẹẹrẹ, ìṣẹ̀dá káàbídì nínú àwọn ètò irin-seramiki) ń yọrí sí ìsopọ̀ ara lásán pẹ̀lú agbára díẹ̀.

4. Àwọn Ìrúfin Ààlà Ìfipamọ́

Foliteji Bias ti a ko ṣe iṣapeye: Ibajẹ substrate ti ko tọ kuna lati pese bombardment ion to peye fun idapọ wiwo ati iran abawọn.

Àbùkù Tí Ìwọ̀n Ń Fa: Ìwọ̀n ìfipamọ́ tó pọ̀ jù (>5 nm/s) máa ń fa ìdàgbàsókè ọ̀wọ̀n pẹ̀lú àwọn ààlà ihò, èyí sì máa ń dín agbára ìsopọ̀ mọ́ra kù.

Àṣìṣe Ìṣàkóso Ìwọ̀n Òtútù: Ìyàtọ̀ ìgbóná tí ó ju 15% lọ láti ibi tí ó yẹ ní ipa búburú lórí ìwọ̀n nucleation àti ìtànkálẹ̀ ojú.

Ọ̀nà Ìdènà

Ṣe àgbékalẹ̀ àyẹ̀wò plasma ní àkókò gidi (OES, Langmuir probes) láti fìdí ìṣiṣẹ́ ojú ilẹ̀ múlẹ̀

Ṣe apẹẹrẹ awọn agbedemeji ti a ṣe iwọn nipa lilo awọn ifisilẹ ti a ṣe atunṣe ti a ṣe akojọpọ

Ṣetọju awọn ilana iṣakoso idoti ti o muna (Ile-iṣẹ ISO ti o wa ni yara mimọ 6+)

Lo ibojuwo kuotisi kuotisi in-situ fun iṣakoso oṣuwọn/sisanra

Ṣètò ìṣàkóso ìlànà ìṣirò fún àwọn pàrámítà pàtàkì (títẹ̀, ìfàsẹ́yìn, ìwọ̀n otútù)

Ìparí
Ìdènà ìbòrí wá láti inú àwọn ìkùnà ìṣọ̀kan láàárín ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpele iṣẹ́ dípò àwọn àṣìṣe paramita tí a yà sọ́tọ̀. Ọgbọ́n ìdènà tó lágbára nílò ìṣatúnṣe ìpèsè substrate, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀, àti ìyípadà ìdènà. Nípasẹ̀ ìṣàkóso oníṣọ̀kan ti kemistri interfacial àti ìṣàkóso wahala, àwọn ìlànà ìdènà ìgbálẹ̀ òde òní le ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ ìdènà tó dúró ṣinṣin ju 50 MPa lọ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn àpapọ̀ ohun èlò.

—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ ẹrọ ti a fi bo igbaleolupese Zhenhua Vacuum