Tha dì-mhilleadh còmhdach, ris an canar cuideachd fàilligeadh greamachaidh no rùsgadh, na adhbhar dragh càileachd èiginneach ann anpròiseasan tasgadh falamhTha an rud seo a’ tachairt nuair a bhios am film a chaidh a thasgadh a’ dealachadh bhon t-substrate, a’ cur bacadh air coileanadh gnìomhach agus ionracas structarail. Tha feum air sgrùdadh siostamach thar ceithir prìomh thomhasan gus tuigse iomlan fhaighinn air na bun-adhbharan aige.
1. Easbhaidhean Ullachaidh Uachdar an t-Substrait
Lùth Uachdar Neo-iomchaidh: Bidh bun-stuthan le lùth uachdar ìosal (me, PP, PTFE) a’ seasamh an aghaidh fliuchadh ceart, a’ cur casg air ceangal eadar-aghaidh èifeachdach. Mar as trice bidh feum air gnìomhachadh plasma no prìomhadh ceimigeach airson lùth uachdar fo 40 mN/m.
Làthaireachd Thruailleadh: Bidh riochdairean fuigheall, olan, no taiseachd a tha air a ghabhail a-steach a’ cruthachadh sreathan crìche lag, ag obair mar thruailleadh eadar-aghaidh a chuireas bacadh air neart greamachaidh.
Cruinn-eòlas Uachdar Neo-iomchaidh: Chan eil làraichean eadar-ghlasaidh meacanaigeach aig uachdaran ro rèidh, agus faodaidh uachdaran ro gharbh sgàil a thoirt air sruthadh tasgaidh agus puingean dùmhlachd cuideam a chruthachadh.
2. Dòighean-obrach fàilligeadh co-cheangailte ri pròiseas
Droch Shlàinte Falamh: Le cuideam bunaiteach nas àirde na 5 × 10⁻⁵ Torr, faodar gas fuigheallach a thoirt a-steach, agus mar thoradh air sin bidh eadar-aghaidhean ocsaideichte agus èifeachdas ceangail nas lugha.
Làimhseachadh Plasma Neo-iomchaidh: Mura tèid buidhnean gnìomh uachdar iomchaidh a chruthachadh airson ceangal ceimigeach le gnìomhachadh plasma le fo-dòs (dùmhlachd cumhachd ìosal/ùine ghoirid).
Innleadaireachd Eadar-aghaidh Cheàrr: Tha dìth eadar-fhilleadh a bhrosnaicheas greamachadh (me, Cr, Ti, no SiOₓ airson siostaman meatailt-polymer) a’ cur casg air gluasad mean air mhean ann an feartan stuthan.
3. Cùisean Co-chòrdalachd Stuthan
Neo-cho-fhreagarrachd Leudachadh Teirmeach: Bidh eadar-dhealachaidhean CTE >5 ppm/°C eadar an còmhdach agus an t-substrate a’ gineadh cuideaman eadar-aghaidh rè cearcall teirmeach, ag adhartachadh dì-mhalachadh air adhbhrachadh le sgìths.
Neo-fhreagarrachd Cheimigeach: Tha dìth thoraidhean ath-bhualadh eadar-aghaidh (me, cruthachadh carbide ann an siostaman meatailt-ceramach) ag adhbhrachadh ceangal corporra gu tur le neart cuibhrichte.
4. Briseadh Paramadair Tasgaidh
Bholtachd Claonaidh Neo-optamaichte: Chan eil claonadh fo-strat ceart a’ toirt seachad bomadh ian iomchaidh airson measgachadh eadar-aghaidh agus gineadh lochdan.
Lochtan air an adhbhrachadh le ìre: Bidh ìrean tasgaidh ro àrd (>5 nm/s) ag adhbhrachadh fàs colbhach le crìochan porous, a’ lughdachadh neart co-leanailteach.
Mearachdan ann an Riaghladh Teòthachd: Bidh buaidh àicheil aig gluasadan teòthachd an t-substrate >15% bhon raon as fheàrr air dùmhlachd niùclasach agus sgaoileadh eadar-aghaidheach.
Modh-obrach Casgach
Cuir breithneachadh plasma fìor-ùine an gnìomh (OES, proban Langmuir) gus dearbhadh a dhèanamh air gnìomhachadh uachdar
Dealbhaich eadar-fhilleadh ìreichte a’ cleachdadh tasgadh atharraichte a rèir co-dhèanamh
Cùm protocolaidhean teann airson smachd a chumail air truailleadh (Clas ISO seòmar-glan 6+)
Cleachd sgrùdadh criostail grian-chlach in-situ airson smachd a chumail air ìre/tighead
Stèidhich smachd pròiseas staitistigeil airson paramadairean èiginneach (cuideam, claonadh, teòthachd)
Co-dhùnadh
Tha dì-laminachadh còmhdach a’ tighinn bho fhàilligidhean sineirgisteach thar iomadh ìre pròiseas seach mearachdan paramadair iomallach. Feumaidh ro-innleachd làidir greamachaidh leasachadh aonaichte air ullachadh fo-strat, innleadaireachd eadar-aghaidh, agus daineamaigs tasgaidh. Tro smachd siostamach air ceimigeachd eadar-aghaidh agus riaghladh cuideam, faodaidh pròiseasan tasgaidh falamh ùr-nodha coileanadh greamachaidh cunbhalach a choileanadh a tha nas àirde na 50 MPa airson a’ mhòr-chuid de choimeasgaidhean stuthan.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach falamhneach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 11 Dàmhair 2025