ۋاكۇئۇم چۆكتۈرۈش جەريانلىرىدا قاپلاش قېپىنىڭ ئايرىلىشىنى تەھلىل قىلىش

قاپلاشنىڭ قېپىنىڭ يوقىلىشى، يەنە چاپلىشىش مەغلۇبىيىتى ياكى پوستىنىڭ سويۇلۇشى دەپمۇ ئاتىلىدۇ، بۇ مەسىلە ئىنتايىن مۇھىم سۈپەت مەسىلىسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.ۋاكۇئۇم چۆكمە جەريانلىرىبۇ ھادىسە چۆكمە پەردە ئاساسىي قاتلامدىن ئايرىلىپ، ئىقتىدار ئىقتىدارى ۋە قۇرۇلمىنىڭ پۈتۈنلۈكىگە تەسىر كۆرسەتكەندە يۈز بېرىدۇ. بۇنىڭ ئاساسلىق سەۋەبىنى ئومۇميۈزلۈك چۈشىنىش ئۈچۈن تۆت ئاچقۇچلۇق ئۆلچەم بويىچە سىستېمىلىق تەكشۈرۈش تەلەپ قىلىنىدۇ.

1. ئاساسىي قەۋەتنىڭ يۈزەكى تەييارلاش جەھەتتىكى كەمتۈكلۈكلىرى

يۈزە ئېنېرگىيەسىنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى: يۈزە ئېنېرگىيەسى تۆۋەن بولغان ئاساسىي ماددىلار (مەسىلەن، PP، PTFE) مۇۋاپىق ھۆللىنىشكە قارشى تۇرۇپ، يۈزە ئارا باغلىنىشنىڭ ئۈنۈملۈك بولۇشىغا توسقۇنلۇق قىلىدۇ. يۈزە ئېنېرگىيەسى 40 mN/m دىن تۆۋەن بولسا، ئادەتتە پلازما ئاكتىپلىشىشى ياكى خىمىيىلىك ئاساس سېلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.

بۇلغانمىلارنىڭ مەۋجۇتلۇقى: قالدۇق قويۇپ بېرىش دورىلىرى، مايلار ياكى سۈمۈرۈلگەن نەملىكلەر ئاجىز چېگرا قەۋىتىنى ھاسىل قىلىپ، يېپىشقاقلىق كۈچىنى تۆۋەنلىتىدىغان يۈزەكى بۇلغانمىلار رولىنى ئوينايدۇ.

يۈزەكى رېژىۋىنىڭ خاتا بولۇشى: ئارتۇقچە سىلىق يۈزلەردە مېخانىكىلىق ئۆزئارا باغلىنىش ئورنى يوق، ئارتۇقچە قوپال يۈزلەر بولسا چۆكمە ئېقىمىغا كۆلەڭگە چۈشۈپ، بېسىمنىڭ مەركەزلىشىش نۇقتىلىرىنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن.

2. جەريانغا مۇناسىۋەتلىك مەغلۇبىيەت مېخانىزمى

ۋاكۇئۇم پۈتۈنلۈكى ناچار: ئاساسىي بېسىم 5×10⁻⁵ Torr دىن ئېشىپ كەتسە، قالدۇق گازنىڭ قوشۇلۇپ كېتىشىگە يول قويۇپ، ئوكسىدلىنىش يۈزلىرىنىڭ پەيدا بولۇشى ۋە باغلىنىش ئۈنۈمىنىڭ تۆۋەنلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

پلازما بىلەن داۋالاش يېتەرلىك بولماسلىق: پلازما ئاكتىپلىقىنىڭ مىقدارى يېتەرلىك بولماسلىق (تۆۋەن قۇۋۋەت زىچلىقى / قىسقا ۋاقىت) خىمىيىلىك باغلىنىش ئۈچۈن يېتەرلىك يۈزەكى فۇنكسىيە گۇرۇپپىلىرىنى ھاسىل قىلالمايدۇ.

خاتا ئۇلىنىش ئىنژېنېرلىقى: يېپىشقاقلىقنى ئىلگىرى سۈرىدىغان ئارىلىق قەۋەتلەرنىڭ (مەسىلەن، مېتال-پولىمېر سىستېمىلىرى ئۈچۈن Cr، Ti ياكى SiOₓ) يوقلۇقى ماتېرىيال خۇسۇسىيىتىنىڭ تەدرىجىي ئۆزگىرىشىگە توسقۇنلۇق قىلىدۇ.

3. ماتېرىيال ماسلىشىشچانلىقى مەسىلىلىرى

ئىسسىقلىق كېڭىيىش ماس كەلمەسلىكى: قاپلاش بىلەن ئاساسىي قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى CTE پەرقى >5 ppm/°C بولۇپ، ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى جەريانىدا يۈز ئارا بېسىمنى پەيدا قىلىپ، چارچاش سەۋەبىدىن يۈزنىڭ قېپىنىڭ كېڭىيىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.

خىمىيىلىك ماس كەلمەسلىك: يۈزلەر ئارا رېئاكسىيە مەھسۇلاتلىرىنىڭ كەمچىل بولۇشى (مەسىلەن، مېتال-كېرامىك سىستېمىلاردا كاربىد شەكىللىنىشى) چەكلىك كۈچلۈكلۈك بىلەن پەقەت فىزىكىلىق باغلىنىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

4. چۆكمە پارامېتىرىنىڭ بۇزۇلۇشى

ئەلالاشتۇرۇلمىغان يانتۇلۇق توك بېسىمى: خاتا ئاساسنىڭ يانتۇلۇقى يۈزەكى ئارىلاشتۇرۇش ۋە نۇقسان پەيدا قىلىش ئۈچۈن يېتەرلىك ئىئون بومباردىمان قىلىش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلىيەلمەيدۇ.

سۈرئەت سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان نۇقسانلار: ھەددىدىن زىيادە چۆكمە سۈرئىتى (>5 nm/s) تۈۋرۈك شەكىللىك ئۆسۈشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چېگراسى كەڭ بولۇپ، بىرىكمە كۈچىنى تۆۋەنلىتىدۇ.

تېمپېراتۇرا باشقۇرۇش خاتالىقلىرى: ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنىڭ ئەڭ ياخشى دائىرىدىن %15 تىن ئېشىپ كېتىشى يادرو زىچلىقى ۋە يۈز ئارا تارقىلىشىغا سەلبىي تەسىر كۆرسىتىدۇ.

ئالدىنى ئېلىش ئۇسۇلى

يۈزەكى ئاكتىپلىشىشنى جەزملەشتۈرۈش ئۈچۈن ھەقىقىي ۋاقىتلىق پلازما دىئاگنوز قويۇش (OES، لاڭمۇئىر زوندلىرى) نى يولغا قويۇڭ

تەركىب جەھەتتىن مودۇلياتسىيەلەنگەن چۆكمە ئارقىلىق دەرىجە ئارىلىق قەۋەتلەرنى لايىھىلەش

قاتتىق بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش قائىدىلىرىنى ساقلاڭ (تازا ئۆي ISO 6+ دەرىجىلىك)

سۈرئەت/قالىنلىقنى كونترول قىلىش ئۈچۈن ئورنىدا كۋارتس كرىستال كۆزىتىش ئۇسۇلىنى ئىشلىتىڭ

مۇھىم پارامېتىرلار (بېسىم، ئېغىش، تېمپېراتۇرا) ئۈچۈن ستاتىستىكىلىق جەريان كونتروللۇقىنى ئورنىتىش

خۇلاسە
قاپلاشنىڭ پارچىلىنىشى ئايرىم پارامېتىر خاتالىقىدىن ئەمەس، بەلكى كۆپ خىل جەريان باسقۇچلىرىدىكى بىرىكمە مەغلۇبىيەتلەردىن كېلىپ چىقىدۇ. كۈچلۈك يېپىشتۇرۇش ئىستراتېگىيىسى ئاساس ماتېرىيال تەييارلاش، يۈز يۈزى قۇرۇلۇشى ۋە چۆكمە دىنامىكىسىنى بىر گەۋدىلەشتۈرۈپ ئەلالاشتۇرۇشنى تەلەپ قىلىدۇ. يۈز يۈزى خىمىيىۋى ۋە بېسىمنى باشقۇرۇشنى سىستېمىلىق كونترول قىلىش ئارقىلىق، زامانىۋى ۋاكۇئۇم چۆكمە جەريانلىرى كۆپىنچە ماتېرىيال بىرىكمىلىرى ئۈچۈن 50 MPa دىن ئېشىپ كېتىدىغان مۇقىم يېپىشتۇرۇش ئۈنۈمىگە ئېرىشەلەيدۇ.

—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ