Ho qhaqha ha lesela ka ho koahela, ho tsejoang hape e le ho hloleha ha ho khomarela kapa ho peeling, ho emela bothata ba bohlokoa ba boleng homekhoa ea ho boloka vacuumKetsahalo ena e etsahala ha filimi e kentsweng e arohana le substrate, e leng se behang tshebetso ya tshebetso le botshepehi ba sebopeho kotsing. Kutlwisiso e felletseng ya lisosa tsa yona tsa motheo e hloka tlhahlobo e hlophisehileng ho pholletsa le mahlakore a mane a bohlokwa.
1. Mefokolo ea ho Lokisetsa Sebaka se ka Tlase
Matla a Bokaholimo a sa Lekaneng: Li-substrate tse nang le matla a tlase a bokaholimo (mohlala, PP, PTFE) li hanela ho kolobisoa hantle, li thibela ho hokahana ho sebetsang hantle ha li-interfacial. Matla a bokaholimo a ka tlase ho 40 mN/m hangata a hloka ho kengoa tšebetsong ha plasma kapa ho hlongoa ha lik'hemik'hale.
Boteng ba Ditshila: Dintho tse ntshang dintho tse setseng, oli, kapa mongobo o monyetsweng di etsa meedi e fokolang, e sebetsang e le ditshila tse kopanyang difahle tse fokotsang matla a ho kgomarela.
Sebaka se sa Lokang sa Bokaholimo: Libaka tse boreleli haholo ha li na libaka tsa ho hokela tsa mechine, athe libaka tse thata haholo li ka fifatsa phallo ea ho bokellana ha lintho 'me tsa baka lintlha tsa khatello ea maikutlo.
2. Mekhoa ea ho Hlōleha e Amanang le Ts'ebetso
Botšepehi bo Fosahetseng ba Vacuum: Khatello ea motheo e fetang 5×10⁻⁵ Torr e lumella ho kenngoa ha khase e setseng, e leng se lebisang ho li-interface tse nang le oxidized le ho fokotseha ha bokhoni ba ho kopanya.
Kalafo e sa Lekaneng ea Plasma: Ho kenngoa tšebetsong ha plasma ka tekanyo e fokolang (botenya ba matla a tlase/nako e khutšoanyane) ho hlōleha ho hlahisa lihlopha tse lekaneng tsa ts'ebetso ea bokaholimo bakeng sa ho kopana ha lik'hemik'hale.
Boenjiniere bo Fosahetseng ba Sebopeho sa Sebopeho: Ho ba sieo ha mealo e hohelang ho khomarela (mohlala, Cr, Ti, kapa SiOₓ bakeng sa litsamaiso tsa tšepe-polymer) ho thibela phetoho e butle-butle ea thepa ea thepa.
3. Mathata a ho Tsamaellana ha Lintho
Ho se tshwane ha Katoloso ya Thermal: Dipharologanyo tsa CTE >5 ppm/°C pakeng tsa ho kwahela le substrate di hlahisa kgatello ya interfacial nakong ya potoloho ya mocheso, e leng se kgothaletsang ho kgaohana ho bakwang ke mokhathala.
Ho se Tsamaelane ha Dikhemikhale: Ho hloka dihlahiswa tsa karabelo ya difacial (mohlala, ho thehwa ha khabide ditsamaisong tsa tshepe le ceramic) ho fella ka ho kopana ha mmele feela ka matla a fokolang.
4. Litlolo tsa Paramethara ea Deposition
Voltage ea Leeme e sa Lokisoang: Leeme le fosahetseng la substrate le hlōleha ho fana ka li-ion tse lekaneng bakeng sa ho kopanya sebopeho le ho hlahisa liphoso.
Liphoso tse Bakiloeng ke Sekhahla: Sekhahla se feteletseng sa ho bokellana ha lintho (>5 nm/s) se baka kholo ea likholomo ka meeli e nang le masoba, e fokotsang matla a ho kopana.
Liphoso tsa Taolo ea Mocheso: Ho kheloha ha mocheso oa substrate >15% ho tloha sebakeng se setle ho ama hampe ho ba le nucleation le ho hasana ha interfacial.
Mokhoa oa Thibelo
Kenya tšebetsong tlhahlobo ea plasma ea nako ea sebele (OES, li-probe tsa Langmuir) ho netefatsa ts'ebetso ea bokaholimo
Rala mekhahlelo e arotsoeng ka lihlopha u sebelisa mokhoa oa ho beha lintho ka mokhoa o hlophisitsoeng
Boloka melaoana e tiileng ea taolo ea tšilafalo (kamore ea ho hloekisa ea ISO Sehlopha sa 6+)
Sebelisa tlhokomelo ea kristale ea quartz e fumanehang sebakeng se itseng bakeng sa taolo ea sekhahla/botenya
Theha taolo ea ts'ebetso ea lipalo-palo bakeng sa liparamente tsa bohlokoa (khatello, leeme, mocheso)
Qetello
Ho arohana ha ho koahela ho bakoa ke ho hloleha ha tšebelisano-'moho ho pholletsa le mekhahlelo e mengata ea ts'ebetso ho fapana le liphoso tse ikhethileng tsa li-parameter. Leano le matla la ho khomarela le hloka ntlafatso e kopaneng ea ho lokisa substrate, boenjiniere ba sebopeho, le matla a ho beha. Ka taolo e hlophisitsoeng ea k'hemistri ea interfacial le taolo ea khatello ea maikutlo, lits'ebetso tsa sejoale-joale tsa ho beha vacuum li ka fihlela ts'ebetso e tsitsitseng ea ho khomarela e fetang 50 MPa bakeng sa metsoako e mengata ea thepa.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Mphalane-11-2025