O le delamination o le ufiufi, e taʻua foʻi o le adhesion failure poʻo le peeling, o se popolega taua tele lea i le lelei o le vali.faiga o le teuina o le vacuum. E tupu lenei mea pe a vavae ese le ata tifaga ua teuina mai le mea e faʻapipiʻi ai, ma faʻaleagaina ai le faʻatinoga o galuega ma le tulaga lelei o le fausaga. O se malamalamaga atoatoa i ona mafuaʻaga autū e manaʻomia ai se suʻesuʻega faʻapitoa i itu taua e fa.
1. Le lava o le sauniuniga o le fogaeleele
Le Lava le Malosiaga o Luga: O mea e maualalo le malosi o le luga (e pei o le PP, PTFE) e tete'e i le susu lelei, ma taofia ai le pipii lelei o le va o itu. O le malosi o le luga i lalo ifo o le 40 mN/m e masani ona mana'omia ai le fa'agaoioiga o le plasma po'o le fa'asusuina i vaila'au.
O Mea Fa'aleagaina: O mea e toe fa'asa'oloto ai mea, suāu'u, po'o le susu e mitiia e fa'atupuina ai ni vaega vaivai i tuaoi, e fai ma mea fa'aleagaina i le va o itu e fa'aleagaina ai le malosi o le pipii.
O le Foliga Lē Talafeagai o le Foliga o le Eleele: O fogāeleele lamolemole e leai ni nofoaga e fesoota'i ai fa'amekanika, ae o fogāeleele e matuā pā'ō'ō e ono fa'alavelaveina ai le tafe o le vai ma mafua ai ona fa'atupula'ia le atuatuvale.
2. Faiga e Fa'atino ai le Fa'aletonu e Fesoota'i ma le Fa'agasologa
Le Lelei o le Sa'o o le Vacuum: O le mamafa o le faavae e sili atu i le 5×10⁻⁵ Torr e mafai ai ona fa'aputuina le kasa o totoe, ma o'o atu ai i le fa'aleagaina o vaega ma fa'aitiitia ai le lelei o le fa'apipi'i.
Le Lava le Togafitiga i le Plasma: O le fa'agaoioiga o le plasma i le le lava o le fa'aaogaina (maualalo le mamafa o le malosi/pu'upu'u le umi) e le mafai ai ona fa'atupuina ni vaega galue talafeagai mo le fa'apipi'iina o vaila'au.
Inisinia o le Fesootaiga Sese: O le leai o ni vaega e fa'alauiloa ai le pipii (e pei o le Cr, Ti, po'o le SiOₓ mo faiga u'amea-polymer) e taofia ai le suiga malie o meatotino o meafaitino.
3. Fa'afitauli o le Fegalegaleaiga o Meafaitino
E lē fetaui le Fa'alauteleina o le Vevela: O eseesega o le CTE >5 ppm/°C i le va o le ufiufi ma le mea e fa'apipi'i ai e mafua ai le atuatuvale i le va o foliga i le taimi o le fa'asolosolo o le vevela, ma fa'ateleina ai le vaeluaina ona o le vaivai.
Lē Fetaui o Vailaau Fa'akemikolo: O le leai o ni oloa o le tali atu i le va o itu (e pei o le fausiaina o le carbide i totonu o faiga u'amea-seramika) e mafua ai le pipii fa'aletino ma le malosi fa'atapula'aina.
4. Soliga o Fa'ailoga o le Fa'aputuga
Voltage Fa'aitu'au e Le'i Fa'aleleia: O le fa'aitu'au sese o le substrate e le mafai ai ona tu'uina atu le fa'alavelaveina talafeagai o le ion mo le fa'afefiloi o le interface ma le gaosiga o fa'aletonu.
Fa'aletonu e mafua mai i le fua fa'atatau: O le tele o le fua fa'atatau o le fa'aputuina (>5 nm/s) e mafua ai le tuputupu a'e o le koluma ma tuaoi porous, ma fa'aitiitia ai le malosi fa'apipi'i.
Sese i le Puleaina o le Vevela: O le eseesega o le vevela o le substrate >15% mai le tulaga lelei e aʻafia ai le tele o nucleation ma le interfacial diffusion.
Metotia Puipuiga
Fa'atino su'esu'ega plasma i le taimi moni (OES, Langmuir probes) e fa'amaonia ai le fa'agaoioiga o luga
Fuafua ni vaega fa'avasega e fa'aaoga ai le fa'aputuga fa'atonutonuina o le tu'ufa'atasiga
Tausia tulafono fa'atonutonu malolosi o le puleaina o mea leaga (cleanroom ISO Vasega 6+)
Faaaoga le mata'ituina o le tioata kuata i totonu mo le puleaina o le fua faatatau/mafiafia
Fa'atuina le puleaina o fa'agasologa fa'amaumauga mo fa'atulagaga taua (mamafa, fa'aituau, vevela)
Faaiuga
E mafua mai le fa'aleagaina o le ufiufi i le tele o la'asaga o le fa'agasologa nai lo mea sese tu'ufua. O se fuafuaga malosi o le pipii e mana'omia ai le fa'aleleia atili o le sauniuniga o le substrate, inisinia o le interface, ma le fa'agasologa o le deposition. E ala i le pulea fa'apitoa o le kemisi o le interfacial ma le pulega o le atuatuvale, e mafai e faiga fa'aonaponei o le vacuum deposition ona ausia le fa'atinoga tutusa o le pipii e sili atu i le 50 MPa mo le tele o tu'ufa'atasiga o meafaitino.
—O lenei tusiga na lomia e meafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Oke-11-2025