Mkpuchi mkpuchi, nke a makwaara dị ka ọdịda ma ọ bụ peeling, na-anọchite anya nsogbu dị oke mkpa na mma.usoro ntinye ihe mkpofu ikukuIhe a na-eme mgbe ihe nkiri e tinyere n'ime ya kewapụrụ onwe ya na ihe ndị dị n'ime ya, na-emebi arụmọrụ ọrụ na iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe owuwu ya. Nghọta zuru oke nke ihe kpatara ya chọrọ nyocha usoro n'akụkụ anọ dị mkpa.
1. Enweghị Nkwadebe Elu Ala nke Substrate
Ike Elu Ezughi Ezu: Ihe ndị dị n'elu ala dị ala (dịka ọmụmaatụ, PP, PTFE) na-eguzogide mmiri mmiri nke ọma, na-egbochi njikọ dị irè n'etiti ihu. Ike elu dị n'okpuru 40 mN/m na-achọkarị ka plasma rụọ ọrụ ma ọ bụ mepụta kemịkalụ.
Ọnụnọ nke ihe ruru unyi: Ihe ndị fọdụrụ na-ewepụta ihe, mmanụ, ma ọ bụ mmiri mmiri a mịkọrọ na-emepụta akwa ókè na-adịghị ike, na-arụ ọrụ dị ka ihe ruru unyi n'etiti ihu nke na-emebi ike njikọta.
Ọdịdị Elu Na-adịghị Mma: Elu dị nro nke ukwuu enweghị ebe njikọ igwe, ebe elu dị oke njọ nwere ike igbochi mgbasa nke ihe ndị na-etinye n'ime ala ma mepụta ebe nrụgide na-arị elu.
2. Usoro ọdịda metụtara usoro
Nkwụsi Ike Na-adịghị Mma: Nrụgide ntọala gafere 5×10⁻⁵ Torr na-enye ohere ka gas fọdụrụnụ banye n'ime ya, na-eduga na njikọ oxidized na mbelata arụmọrụ njikọ.
Ọgwụgwọ Plasma Ezughi Ezu: Mmelite plasma nke a na-enye obere dose (ike dị ala/oge dị mkpirikpi) anaghị emepụta otu ọrụ zuru oke maka njikọta kemịkalụ.
Injinịa Njikọta Na-ezighi Ezi: Enweghị akwa ndị na-akwalite njikọta (dịka ọmụmaatụ, Cr, Ti, ma ọ bụ SiOₓ maka sistemụ metal-polymer) na-egbochi mgbanwe nwayọ nwayọ nke ihe onwunwe.
3. Nsogbu Ndakọrịta Ihe
Ndakọrịta nke Mgbasa Okpomọkụ: Ọdịiche CTE >5 ppm/°C n'etiti mkpuchi na ihe ndị dị n'okpuru na-emepụta nrụgide n'etiti ihu n'oge ịgbagharị okpomọkụ, na-akwalite delamination nke ike ọgwụgwụ na-akpata.
Enweghị Nkwekọ Kemịkalụ: Enweghị ngwaahịa mmeghachi omume n'etiti ihu (dịka ọmụmaatụ, nhazi carbide na sistemụ metal-seramiiki) na-eme ka njikọ anụ ahụ dị naanị na ike pere mpe.
4. Mmebi nke Paramita Mwepụ
Voltaji Bias nke A Na-anaghị Emezi: Mbibi substrate na-ezighi ezi anaghị enye ion bombardment zuru oke maka ngwakọta interface na mmepụta ntụpọ.
Mmebi Ndị Na-akpata Ọnụọgụ: Oke ọnụego nkwụnye (>5 nm/s) na-akpata uto kọlụm nwere ókèala oghere, na-ebelata ike njikọ.
Njehie Njikwa Okpomọkụ: Mgbanwe okpomọkụ dị n'okpuru ihe karịrị 15% site na oke kachasị mma na-emetụta njupụta nucleation na mgbasa ihu n'ụzọ na-adịghị mma.
Usoro Mgbochi
Mee nchọpụta plasma n'oge a na-eme ihe (OES, Langmuir probes) iji gosi na ọrụ elu dị mma.
Mepụta nhazi etiti dị iche iche site na iji ihe nkwụnye agbanwere nke e ji nhazi mee
Debe usoro njikwa mmetọ siri ike (ụlọ nchekwa ISO Klas 6+)
Jiri nlekota kristal quartz dị n'ime ụlọ maka njikwa ọnụego/ọkpụrụkpụ
Mepụta njikwa usoro ọnụọgụgụ maka paramita dị oke mkpa (nrụgide, echiche ọjọọ, okpomọkụ)
Mmechi
Mkpuchi nkewa na-esite na ọdịda synergistic n'ọtụtụ usoro kama njehie paramita dịpụrụ adịpụ. Atụmatụ nrachi siri ike chọrọ nhazi nke ihe ndị dị n'okpuru ala, injinia njikọ, na usoro nrachi. Site na njikwa usoro nke kemistri interfacial na njikwa nrụgide, usoro nrachi oghere ọgbara ọhụrụ nwere ike nweta arụmọrụ nrachi na-aga n'ihu karịa 50 MPa maka ọtụtụ ngwakọta ihe.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Ọktoba-11-2025