د پوښونو ډیلامینیشن، چې د چپکولو ناکامي یا پوستکي کولو په نوم هم پیژندل کیږي، د کیفیت یوه مهمه اندیښنه استازیتوب کويد خلا د جمع کولو پروسې. دا پدیده هغه وخت رامنځته کیږي کله چې زیرمه شوی فلم د سبسټریټ څخه جلا شي، چې د فعالیت فعالیت او ساختماني بشپړتیا دواړه له خطر سره مخ کوي. د دې د اصلي لاملونو جامع پوهاوی په څلورو کلیدي ابعادو کې سیستماتیک ازموینې ته اړتیا لري.
۱. د سبسټریټ سطحې چمتووالي نیمګړتیاوې
د سطحې ناکافي انرژي: د سطحې ټیټې انرژۍ سبسټریټس (د مثال په توګه، PP، PTFE) د مناسب لوندیدو په وړاندې مقاومت کوي، د اغیزمن بین الافغاني اړیکې مخه نیسي. د سطحې انرژي چې د 40 mN/m څخه کم وي معمولا د پلازما فعالولو یا کیمیاوي پریمینګ ته اړتیا لري.
د ککړتیا شتون: د پاتې شونو خوشې کولو اجنټان، غوړي، یا جذب شوي رطوبت کمزوري سرحدي طبقې رامینځته کوي، د مخ د ککړتیاو په توګه عمل کوي چې د چپکولو ځواک سره موافقت کوي.
د سطحې ناسمه توپوګرافي: ډیرې نرمې سطحې میخانیکي تړل شوي ځایونه نلري، پداسې حال کې چې ډیرې ناهموارې سطحې ممکن د زیرمو جریان سیوري کړي او د فشار غلظت ټکي رامینځته کړي.
۲. د پروسې پورې اړوند د ناکامۍ میکانیزمونه
کمزوری ویکیوم بشپړتیا: د 5×10⁻⁵ تور څخه ډیر د اساس فشار د پاتې ګازو یوځای کولو ته اجازه ورکوي، چې د اکسیډیز شوي انٹرفیسونو او د تړلو موثریت کمولو لامل کیږي.
د پلازما ناکافي درملنه: د پلازما کم خوراک فعالول (د بریښنا ټیټ کثافت/لنډه موده) د کیمیاوي اړیکو لپاره د سطحې مناسب فعال ګروپونه رامینځته کولو کې پاتې راځي.
د انٹرفیس ناسم انجینري: د چپکونکي پرتونو نشتوالی (د مثال په توګه، د فلزي-پولیمر سیسټمونو لپاره Cr، Ti، یا SiOₓ) د موادو د ملکیتونو تدریجي لیږد مخه نیسي.
۳. د موادو د مطابقت مسلې
د تودوخې پراخوالي بې مطابقت: د کوټینګ او سبسټریټ ترمنځ د CTE توپیرونه د 5 ppm/°C څخه ډیر د تودوخې سایکل چلولو په جریان کې د مخ فشار رامینځته کوي، چې د ستړیا له امله رامینځته شوي ډیلامینیشن ته وده ورکوي.
کیمیاوي نه مطابقت: د بین الافغاني تعامل محصولاتو نشتوالی (د مثال په توګه، په فلزي-سیرامیک سیسټمونو کې د کاربایډ جوړښت) د محدود ځواک سره په بشپړ ډول فزیکي اړیکې رامینځته کوي.
۴. د جمع کولو پیرامیټر سرغړونه
غیر مطلوب تعصب ولتاژ: د سبسټریټ ناسم تعصب د انٹرفیس مخلوط کولو او نیمګړتیا تولید لپاره کافي ایون بمباري چمتو کولو کې پاتې راځي.
د اندازې له امله رامنځته شوي نیمګړتیاوې: د زیرمو ډیر نرخونه (> 5 nm/s) د سوري سرحدونو سره د ستنې ودې لامل کیږي، چې د همغږۍ ځواک کموي.
د تودوخې مدیریت تېروتنې: د غوره حد څخه د 15٪ څخه ډیر د سبسټریټ تودوخې انحراف د نیوکلیشن کثافت او د مخ انحراف باندې منفي اغیزه کوي.
د مخنیوي میتودولوژي
د سطحې فعالولو تایید لپاره د ریښتیني وخت پلازما تشخیصات (OES، لانګمویر پروبونه) پلي کړئ
د جوړښتي تعدیل شوي زیرمو په کارولو سره درجه بندي شوي پرتونه ډیزاین کړئ
د ککړتیا کنټرول سخت پروتوکولونه وساتئ (د پاک خونې ISO ټولګي 6+)
د اندازې/ضخامت کنټرول لپاره د کوارټز کرسټال د څارنې څخه کار واخلئ
د مهمو پیرامیټرو (فشار، تعصب، تودوخې) لپاره د احصایوي پروسې کنټرول رامینځته کړئ.
پایله
د کوټینګ ډیلامینیشن د جلا شوي پیرامیټر غلطیو پرځای د ډیری پروسې مرحلو کې د همغږۍ ناکامیو څخه رامینځته کیږي. د قوي چپکولو ستراتیژي د سبسټریټ چمتووالي، انٹرفیس انجینرۍ، او د جمع کولو متحرکاتو مدغم اصلاح ته اړتیا لري. د انټرفیشیل کیمیا او فشار مدیریت سیستماتیک کنټرول له لارې، عصري ویکیوم جمع کولو پروسې کولی شي د ډیری موادو ترکیبونو لپاره د 50 MPa څخه ډیر دوامداره چپکولو فعالیت ترلاسه کړي.
— دا مقاله د لخوا خپره شوې ده د ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: اکتوبر-۱۱-۲۰۲۵